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1.
(ubicado en la parte posterior del mismo) y el de la bomba de vaco (imagen) estn encendidos.
INGENIRA EN NANOTECNOLOGA
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Variacin de voltaje
OPERACIN a. Encender la bomba de vaco. b. Esperar a que la presin este por debajo de los 0.070 Torr. Se deja a criterio. Nota: si el vaco no llega al mnimo de la presin recomendada favor de apagar, acomodar y limpiar el cilindro de vidrio. c. Comprobar que el voltaje es el deseado. En caso de querer cambiar el valor, presione el botn para la variacin del voltaje, y enseguida aparecer la ventana de a continuacin.
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d. Introducir el valor deseado de mAmps y confirmar en enter. e. Ajustado el amperaje y el vaco, encienda la vlvula de gas y la rotacin. f. Esperar que el vaco llegue nuevamente al valor deseado. g. Una vez estabilizado el vaco, encender el sputtering. Nota: apreciar cuando est trabajando el equipo correctamente el desprendimiento inico dentro de la cmara como un plasma de color violeta de la tarjeta a la muestra.
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