Intituto Politcnico Nacional

Escuela Superior de Ingeniera Mecnica Elctrica

Ingeniera en Comunicaciones y Electrnica

Materia:
Dispositivos
Grupo: 5CM7

Profesor:
Urbano Castelan Jose Antonio

Alumno:
Arellano Arciniega Arturo

Boleta: 2013301854







MEMS
Qu son los MEMS?
Los Microelectromechanical Systems, MEMS por sus siglas en ingles son una tecnologa
que, en su forma ms general puede ser definida como elementos mecnicos y electro-
mecnicos (por ejemplo dispositivos o estructuras) miniaturizados que se realizan con
tcnicas de micro-fabricacin.
Las dimensiones fsicas crticas de los dispositivos MEMS pueden variar desde muy por
debajo de una micra, hasta varios milmetros.
Asimismo, los tipos de dispositivos de MEMS pueden variar de estructuras relativamente
simples que no tienen elementos mviles, a los sistemas electromecnicos extremadamente
complejos con mltiples elementos mviles bajo el control de la microelectrnica integrada.
Productos comerciales diseados con tecnologa MEMS


Automotriz
Bolsas de aire
BMW X5
Equipo Mdico
Monitor de presion sangunea (invasivo y no invasivo)
Nanobomba de insulina Debiotech
Telefonos Celulares
Nokia 3230
Nokia N95
El verdadero potencial de los MEMS se aprecia una vez que estos sensores
miniaturizados, actuadores, y todas las estructuras se pueden combinar en un sustrato de
silicio comn, junto con los circuitos integrados (microelectrnica). Mientras que los
componentes electrnicos se fabrican usando secuencias de procesos de los circuitos
integrados (IC por ejemplo, CMOS, Bipolar, BICMOS), los componentes micro-mecnicos
son fabricados utilizando procesos de "micro-mecanizado", proceso en el cual se van
grabando de manera selectiva partes de una oblea de silicio para agregar nuevas capas
estructrales que formen los dispositivos mecnicos y electromecnicos
Fuente: MEMS and Nanotechnology Exchange Homepage.