Instructivo para deposicin de Pelculas delgadas utilizando el Sistema Evaporador del laboratorio

de Pelculas delgadas.

Campana o cmara

Reostato

Bomba
de
difusin

Bomba
mecnic
a

i/o bombas mecnica y de difusin

2 bombas:
Rotatoria: ~10-2torr
Difusin: ~10-5 torr

Figura 1. Sistema evaporador y sus componentes

principales

3 vlvulas:

a) comunica la campana con el exterior.

b) comunica la bomba de difusin con la campana.
c) define si la bomba mecnica acta sobre la campana (derecha) o sobre la bomba de difusn
(izquierda).

Proceso:
1. Hacer vaco sobre la campana.
a cerrada
b derecha
c derecha
2. Prender sensor. Al pasar el 10-1 ya existe pre-vaco sobre la campana.
3. Hacer pre-vaco a la bomba de difusin moviendo c a la izquierda.
4. Accionar sistema de enfriamiento.
5. Regresar c a la cmara (derecha).
6. Encender la bomba de difusin.

Esperar cerca de 10 min a que se evapore el aceite. Al tacto se debe sentir caliente la base de la
bomba de difusin.
En este momento la bomba mecnica est actuando en la campana.
7. Mover el pre-vaco a la bomba de difusin, c a la izquierda para hacer vaco sobre la de difusin.
Se pierde un poco el pre-vaco y se comienza a hacer pre-vaco en la bomba de difusin. Esperar
10 min.
8. Hacer vaco de difusin en la cmara, para lo cual hay que mover b lentamente a la izquierda. El
vaco se pierde un poco. Esperar ~30 min a que el vaco sea de 10 -5 - 10-6 Torr.
9. Evaporar:
a. Asegurarse de que el restato marque off y se encuentre en cero.
b. Conectar la clavija de uso rudo.
c. Conectar el restato a la corriente.
d. Encender.
e. Subir voltaje lentamente.
f. Apagar y desconectar.
10. Aqu se puede apagar el sistema o reiniciar el ciclo
10.a Para apagar:
Se cierra b (izquierda) y se abre a.
Retirar vidrio y muestra.
Colocar vidrio.
Cerrar a.
Se hace pre-vaco a la bomba de difusin (c a la izquierda).
Se apaga la bomba de difusin
Esperar 2 hrs (a que se enfre la bomba de difusn).
Mover c a la derecha.
Apagar bomba mecnica.
Cerrar agua.
10.b Para hacer otro ciclo:
Cerrar b (izquierda) y abrir a.
Retirar vidrio y hacer los cambios necesarios.
Colocar vidrio.
Cerrar a, i.e. cerrar acceso de aire.
c a la derecha para hacer pre-vaco.
c a la izquierda para que la bomba mecnica acte sobre la de difusin, esperar a que se
estabilice (5 min).
Abrir lentamente b, esperar 10-15 min.
11.Repetir 10.b o pasar a 10.a.

Figura 2. Grfica de presin vs. diversas variables.