BAB I

PENDAHULUAN
A.

Latar Belakang Masalah

Perkembangan ilmu pengetahuan dan teknologi sangat pesat. Hal ini dapat dilihat

dari banyaknya alat teknologi yang diciptakan untuk mempermudah pekerjaan manusia.
Dalam pengkarakteristikan bahan ditemukannya alat seperti mikroskop, XRD, SEM, dan lain
sebagainya. Salah satu alat yang akan dibahas dalam makalah ini adalah SEM (Scanning
Electrone Microcopy) yakni Mikroskop Pemindai Elektron.
Mikroskop Pemindai Elektron Merupakan Mikroskop yang menggunakan hamburan
elektron dalam membentuk bayangan Elektron berinteraksi dengan atom-atom yang
membentuk sampel menghasilkan sinyal yang berisi informasi tentang topografi permukaan
sampel, komposisi dan sifat-sifat lain seperti konduktivitas listrik. Sehinga sangat cocok
untuk mengkarakteristikan suatu bahan.
Mikroskop Pemindai Elektron memiliki beberapa komponen yang lebih kompleks
jika dibandingkan dengan mikroskop pada umumnya dimana memiliki tata cara penggunaan
yang berbeda serta perlakuan sampel yang agak berbeda pula sebelum dilakukan pemindaian
menggunakan mikroskop ini.
B.

Tujuan
Adapun tujuan dari penulisan makalah ini yaitu untuk mengetahui dan memahami

salah satu pengkarakteristikan bahan, dalam kasus ini menggunakan Scanning Elektron
Microscopy (SEM), meliputi Komponen komponen, tata cara penggunaannya dan perlakuan
untuk menggunakan mikroskop ini.
C.

Metode Penulisan
Penulis mempergunakan metode observasi dan kepustakaan. Cara-cara yang

digunakan pada penelitian ini adalah :

Studi Pustaka
Dalam metode ini penulis membaca buku-buku yang berkaitan denga penulisan makalah ini
yang diperoleh dari internet dan sumber literature lainya.

BAB II
PEMBAHASAN
Mikroskop Pemindai Elektron
Mikroskop Pemindai Elektron (SEM) adalah jenis mikroskop elektron yang gambar
permukaan sampel dipindai dengan menggunakan sinar elektron berenergi tinggi dalam pola
pemindai pixel. Mikroskop Pemindai Elektron (SEM) adalah microscope yang menggunakan
hamburan elektron dalam membentuk bayangan Elektron berinteraksi dengan atom-atom
yang membentuk sampel menghasilkan sinyal yang berisi informasi tentang

topografi

permukaan sampel, komposisi dan sifat-sifat lain seperti konduktivitas listrik.

Alat ini memiliki banyak keuntungannya jika dibandingkan dengan menggunakan
mikroskop cahaya. SEM menghasilkan bayangan dengan resolusi yang tinggi, yang
maksudnya adalah pada jarak yang sangat dekat tetap dapat menghasilkan perbesaran yang
maksimal tanpa memecahkan gambar. Persiapan sampel relatif mudah. Kombinasi dari
perbesaran kedalaman jarak focus, resolusi yang bagus, dan persiapan yang mudah, membuat
SEM merupakan satu dari alat-alat yang sangat penting untuk digunakan dalam penelitian
saat ini.
Beberapa persoalan yang dibahas dalam memahami tata cara penggunaan
Mikroskop Pemindai Elektron (SEM) adalah sebagai berikut;
A.

Sumber Elektron
Elektron disemburkan dari sebuah filamen, yang dibuat dari bermacam-macam

material, salah satunya adalah Tungsten hair pin gun. Filamen ini adalah sebuah loop
tungsten yang berfungsi sebagai katoda. Sebuah tegangan di berikan kepada loop, yang
menyebabkan loop menjadi panas.
Sebuah anode, yang bermuatan lebih positif daripada filament, dipasang sedemikian
rupa, sehingga keadaan demikian membuat elektron memiliki gaya yang sangat kuat. Hal ini
akan mengakibatkan elektron dipercepat menuju anoda. Sebagian elektron yang dipercepat
menerobos lubang pada anoda sebagai pancaran elektron (electron beam). Beberapa contoh
filamen antara lain : Lanthanum Hexaboride filaments and field emission guns.
2

Gambar 3 : Sumber elektron dibangkitkan dengan sumber tegangan tinggi

B.

Daya Dalam Lensa Silinder Magnetik

Sesudah "Analisis Material Berkas Cahaya elektron ", MH Loretto

C.

Jalan Berkas Cahaya Yang Melewati Kolom

Suatu berkas elektron dihasilkan dalam senapan elektron, yang terletak di bagian

atas kolom, yang digambarkan disebelah kiri. Berkas ini tertarik melalui anoda,
dikodensasikan dengan lensa kondensor, dan terfokus sebagai titik yang sangat tepat pada
sampel oleh lensa objektif. Kumparan pemindai diberi energi (dengan memvariasikan
tegangan yang dihasilkan oleh generator pemindai) dan menciptakan medan magnet yang
membelokkan berkas bolak-balik dalam pola terkontrol. Tegangan yang berbeda-beda juga
diterapkan pada kumparan di sekeliling leher tabung sinar katoda (CRT) yang menghasilkan
cahaya yang dibelokkan dengan pola bolak-balik di permukaan CRT. Pola defleksi dari
berkas elektron adalah sama dengan pola defleksi dari titik terang di CRT.

Berkas elektron yang mengenai sampel, menghasilkan elektron sekunder. Elektron ini dikumpulkan oleh
detektor sekunder atau backscatter detektor, dikonversi ke tegangan, dan diperkuat. Tegangan yang
diperkuat diterapkan pada grid dari CRT dan menyebabkan intensitas cahaya berubah ubah. Gambar yang
terbentuk terdiri dari ribuan titik-titik dengan berbagai intensitas pada permukaan CRT yang sesuai dengan
topografi sampel.

D.

Diagram Cahaya SEM

Skema ini menunjukkan lintasan cahaya untuk kondisi pemfokusan oleh dua probe-

forming lens:
1. Jarak kerja kecil (kiri), dan
4

2. Jarak kerja besar (kanan).

Kedua kondisi memiliki lensa-lensa kondensor dan tingkatan numerik yang sama.
Jika, sampel dipindah lebih jauh dari lensa, hal yang akan terjadi adalah:
1. Jarak kerja S di tambah
2. Perbesaran berkurang
3. Ukuran titik bertambah
4. Sudut hamburan alpha berkurang

Gambar 4 : Pencahayaan mikroskop electron

Pengurangan perbesaran didapati ketika pergerakan lensa dikurangi, yang gilirannya

menambah jarak lensa f dari lensa. Resolusi spesimen dikurangi dengan menambahkan jarak
kerja, sebab ukuran titik diperbesar. Sebaliknya, kedalaman medan ditingkatkan dengan
menambah jarak kerja, sebab penyebaran sudut diperkecil, lihat gambar 4.
E.

Interaksi

Walaupun semua sinyal ini terdapat pada SEM, tidak semua dari mereka yang terdeteksi dan digunakan
untuk mendapatkan informasi. Sinyal yang paling umum digunakan adalah Elektron Sekunder, yakni
Backscattered Elektron dan X-ray.

F.

Menggunakan Ruang Hampa

Ketika SEM digunakan, kolom harus selalu berada di ruang hampa. Ada banyak

alasan untuk ini. Jika sampel berada dalam lingkungan yang penuh gas, sebuah berkas
elektron tidak dapat dihasilkan atau dipertahankan karena ketidakstabilan yang tinggi dalam
berkas. Gas dapat bereaksi dengan sumber elektron, menyebabkannya terbakar, atau
menyebabkan elektron dalam berkas terionisasi, yang menghasilkan kotoran secara acak dan
menyebabkan ketidakstabilan dalam berkas. Pengiriman berkas melalui kolom optik elektron
juga akan terhambat oleh kehadiran molekul lainnya. Molekul lain yang bisa datang dari
sampel atau mikroskop itu sendiri, bisa membentuk senyawa dan mengembun pada sampel.
Ini akan menurunkan kontras dan mengaburkan detail dalam gambar.
Sebuah lingkungan vakum juga diperlukan dalam bagian dari persiapan sampel.
Salah satu contoh adalah coater menggerutu. Jika tidak di ruang vakum sebelum sampel
dilapisi, molekul gas akan mendapat jalan argon dan emas. Hal ini bisa mengakibatkan
lapisan yang tidak rata, atau tidak ada lapisan sama sekali.
G.

Konstruksi SEM
Bagan terpenting dari SEM adalah apa yang disebut sebagai kolom elektron

(electron column) yang memiliki piranti-piranti sebagai berikut:

6

1. Pembangkit elektron (electron gun) dengan filamen sebagai pengemisi elektron atau

disebut juga sumber iluminasi.

2. Sebuah sistem lensa elektromagnet yang dapat dimuati untuk dapat memfokuskan

atau mereduksi berkas elektron yang dihasilkan filamen ke diameter yang sangat
kecil.
3. Sebuah sistim. perambah (scan) untuk menggerakan berkas elektron terfokus tadi

pada permukaan sampel.

4. Satu atau lebih system deteksi untuk mengumpulkan hasil interaksi antara berkas

elektron dengan sampel dan merubahnya ke signal listrik.

5. Sebuah konektor ke pompa vakum.

Gambar 52 : Diagram antara ruang hampa dan sistem pendeteksian : 1. Ruang sampel; 2.
Pemegang sampel; 3. Bagian pendeteksi ruang vacum; 4. Lensa Obyektif; 5. Pompa pemutar; 6.
photo-multiplier blok; 7. Pengukur tekanan vacum; 8. Klep penutup; 9. Klep pintu

Sebagai tambahan, SEM memiliki beberapa piranti untuk memungkinkan konversi

signal listrik yang datang dari detector ke bentuk bayangan pada layar TV, foto, spektrum,
dll. Pada gambar 4 dapat kita lihat bahwa elektron dari filamen difokuskan dengan lensa
Kondensor sehingga bila berkas elektron ini menumbuk sampel berkas elektron tadi memiliki
diameter sekitar 2-20 nanometer. Berkas elektron ini dibuat bergerak merambah seluruh
permukaan sampel dengan rambahan zigzag oleh koil defleksi yang di dalamnya terdapat
lensa-lensa obyektif. Ukuran dari lokasi yang dirambah dapat diubah dengan cara mengatur
perbesaran (magnifikasi) yang merupakan perbandingan antara ukuran lokasi yang dirambah
7

yang terlihat di monitor terhadap lokasi pada sampel. Akibatnya, semakin kecil lokasi yang
dirambah pada sampel semakin besar perbesaran gambar pada monitor. Terakhir, gambar 5
juga menunjukkan skema detektor secara keseluruhan berdasarkan blok-blok fungsi.
H.

Elektron Sekunder
Elektron primer, yaitu elektron pengeksitasi (exciting electron) dapat berinteraksi

dengan elektron lain dalam sampel, misalnya menolaknya dengan sejumlah energi kinetik.
Jika elektron yang tertolak ini berasal dari ikatan yang lemah dan dapat ditolak atau
dikeluarkan dengan hanya beberapa eV disebut sebagai elektron sekunder. (Singkatnya,
sebuah elektron yang ditolak atau dikeluarkan dari sebuah atom dalam sampel adalah
elektron sekunder, berapapun energinya). Karena elektron sekunder ini memiliki energi kecil,
mereka dapat terlepas dari sampel dan hanya dapat dideteksi bila mereka diproduksi di
permukaan. Untuk alasan yang sama, makanya elektron sekunder ini sensitive terhadap
topografi sampel.
Oleh karena elektron sekunder memiliki kerapatan yang tinggi sebelum mereka
memperoleh kesempatan untuk menyebar, maka elektron sekunder ini memiliki resolusi
ruang (spatial) yang tinggi dibandingkan dengan signal yang lain yang mungkin timbul akibat
interaksi berkas elektron ini dengan sampel. Elektron sekunder membawa hanya sedikit
informasi tentang komposisi unsur dari sampel; namun bagaimanapun, sensitivitas topografi
dan resolusi ruang yang tinggi mereka menyebabkan elektron sekunder ini dipakai untuk
memperoleh bayangan mikroskopik.

Gambar 6 : Contoh bayangan dan energi elektron sekunder yang terpantul

Gambar 7 : Grafik energi elektron sekunder yang terpantul

Karena alasan sensitivitas topografi inilah maka bayangan yang dihasilkan dari
elektron sekunder sangat mudah diinterpretasikan secara visual karena gambar yang
dihasilkan sama dengan lokasinya. Bayangan dari perbesaran 50.000 kali yang dihasilkan
dengan elektron sekunder sebanding dengan partikel emas pada grafit pada pusat gambar
yang pada gambar 6 dan gambar 7.
I.

Elektron Terpantul
Jika elektron primer (elektron dari berkas yang datang) berinteraksi dengan inti atom

atau satu elektron dari atom sampel, elektron primer ini dapat dipantulkan ke suatu arah
dengan mengalami sedikit kehilangan energi. Sebagian dari beberapa elektron terpantul ini
dapat saja mengarah keluar sampel sehingga, setelah beberapa kali pantulan, sehingga
mereka dapat dideteksi. Elektron terpantul ini lebih energik dibandingkan dengan elektron
sekunder sehingga dapat saja masih dapat dipantulkan meskipun sudah terpendam dalam di
dalam sampel. Karena itu bila dibandingkan dengan elektron sekunder, signal elektron
terpantul tidak dapat memberikan informasi tentang topografi sampel dan juga resolusi ruang
pada sampel. Namun bagaimanapun terdapat keuntungan sebagai kompensasi antara satu
sama yang lain. Jika nomor atom dalam sampel semakin besar maka besar gaya pantulan inti
positifnya lebih besar sehingga elektron terpantul ini dapat memberikan juga informasi
tentang komposisi sampel.

Gambar 8 : (a) Hasil elektron sekunder; (b) Hasil elktron terpantul

Gambar 8 adalah foto area yang sama dari alloy Ag-Cu-Ni. Pada hasil elektron
terpantul, bagian yang terang adalah Ag dan bagian yang gelap adalah Cu-Ni. Kita dapat
membuktikannya dengan prinsip bahwa semakin tingginya nomor atom dari suatu lokasi
semakin tinggi intensitas signalnya.
J.

EDX (Energy-dispersive X-ray Spectroscopy)

Bila elektron dengan energi yang cukup besar menumbuk pada sampel, mereka

menyebabkan terjadinya emisi sinar-x yang energinya dan intensitasnya bergantung pada
komposisi elemental sampel. Dengan menggunakan fenomena ini untuk menganalisa
komposisi elemental dari volume-mikro (kasarnya satu sampai beberapa ratus kubik
mikrometer) itulah yang disebut sebagai analisis mikro. Pada EDX di mana sinar-x yang
diemisikan dikonversi dan disimpan secara elektronik dan bukan dengan difraksi kristal.
1. Karakteristik Sinar-X

Bila sebuah elektron ditolak dari kulit dalam atom oleh interaksi dengan berkas
elektron energi tinggi, hasilnya adalah ion tersebut berada pada tingkat eksitasi. Setelah
melalui proses relaksasi atau de-eksitasi, ion tereksitasi ini memancarkan energi untuk dapat
kembali ke tingkat normal yaitu keadaan dasar (ground state). Proses yang paling mungkin
10

dalam kebanyakan kasus adalah deretan transformasi yang masing-masing sebuah elektron
dari kulit luar "jatuh" ke tempat kosong di dalam kulit terdalam. Seperti yang telah kita lihat,
setiap kejatuhan menyebabkan elektron tersebut kehilangan sejumlah energi, katakan saja
beda energi antara kulit di mana elektron berasal dan kulit ke mana elektron jatuh. Energi ini
dibebaskan dalam bentuk radiasi elektromagnetik dalam kasus transisi energi tinggi yang
melibatkan kulit terdalam. Energi yang diradiasikan ini secara unik mengindikasikan atom
dari mana radiasi berasal, makanya disebut sebagai sinar-x karakteristik.
2. Nomenclature
Garis-garis ini biasanya dinamakan sesuai dengan kulit atom ke mana elektron jatuh
dan kulit dari mana elektron berasal. Misalnya, jika kulit yang kosong (tujuan) adalah kulit K
dan kulit dari mana elektron berasal adalah kulit L, maka sinar-x K diradiasikan. Jika
elektron jatuh dari kulit M yang berada dua tingkat di atas kulit K, maka sinar-x yang
diradiasikan dinamakan sinar-x K. Dalam EDX ini umumnya berhubungan dengan sinar-x
deret K, L, dan M.

Gambar 9 : Kulit atom dan tingkat-tingkat transisi

3. Intensitas Sinar-x Karakteristik

Intensitas sinar-x karakteristik yang terdeteksi tergantung pada 3 faktor. Pertama,

nomor atom dari atom teradiasi dan juga atom lingkungannya. Kedua, probabilitas
terabsorpsinya sinar-x sebelum terlepas keluar dari sampel. Ketiga, fluoresen sekunder yang
juga merupakan salah satu akibat terabsorpsinya sinar-x tersebut. Sebagai contoh, suatu sinarx karakteristik energi tinggi dari unsure A mungkin diabsorpsi oleh atom unsur B, karenanya
merangsang sebuah emisi karakteristik dari unsur kedua dari energi yang lebih rendah.
Terdapatnya unsur A dan B dalam sampel yang sama akan menaikkan intensitas dari emisi
11

karakteristik dari unsur B dan mengurangi emisi karakteristik dari unsur A. Inilah yang
disebut sebagai efek matriks (matrix effect), yaitu sebuah efek yang tergantung pada matriks
sampel, yang karenanya membutuhkan perlakuan khusus selama analisa kuantitatif.

Gambar 10 : Element mikro-volume yang berinteraksi dengan berkas electron

4. Resolusi Ruang Sinar-X

Sinar-x berjalan di dalam sampel dengan jarak yang jauh lebih jauh dibandingkan
dengan elektron dan karenanya terlepas dari kedalaman di mana elektron primer telah
tersebar secara luas. Konsekuensinya, signal sinar-x memiliki keterbatasan resolusi ruang
dibandingkan dengan signal elektron sekunder dan terpantul. Tegangan pemercepat elektron
dari kolom elektron dan nomor atom rata-rata Z dari volume sampel yang dianalisa
mempengaruhi resolusi ruang dari signal sinar-x. Gambar 10 memperlihatkan secara
kualitatif efek dari keduanya yaitu ukuran dan bentuk dari volume interaksi.
5. Analisis
Seperti kita lihat pada Gambar 11, sebuah spektrum energi dispersi biasanya
dilukiskan sebagai histogram, dengan sumbu horizontal menyatakan satuan energi dan sumbu
vertical adalah jumlah counts atau intensitas. Gambar 8 ini menunjukan sebuah spektrum
sinar-x, yang secara jelas menunjukan beberapa sifat khusus. Yang paling jelas adalah sinar-x
karakteristik dari besi, kromium, dan nikel. Untuk setiap dari element ini terlihat kedua peak
K-alpha dan K-beta peak. Ketidakrataan dari spectrum

12

ini menunjukkan fluktuasi statistik dari channel-ke-channel. Akhirnya, semua

spektrum ini bertumpang tindih dengan spektrum yang berkurang secara perlahan dari kiri ke
kanan.

Gambar 11 : Spektrum sinar-x dari beberapa unsur sebagai hasil EDX.

Analisis kualitatif adalah proses indentifikasi unsur-unsur yang ada dalam sampel.
Analisis kuantitatif bertujuan untuk menjawab berapa banyak unsur X, Y dan Z yang ada
dalam sampel. Qualitative analysis is the process of identifying which elements are present in
a sampel. Dalam rumusan yang sederhana, analisis kualitatif dilakukan dengan cara
menentukan energi dari peak yang ada dalam spektrum dan membandingkan dengan table
energi emisi sinar-x dari unsur-unsur yang sudah diketahui. Dalam peralatan modern hal ini
tidak perlu dilakukan karena komputer secara otomatis akan memberikan simbol unsur untuk
setiap peak pada spektrum.

Gambar 12 : Depth profile beberapa unsur untuk ketebalan tertentu suatu sampel

Analisa kuantitatif tidak hanya menjawab unsur apa yang ada dalam sampel tetapi
juga konsentrasi unsur tersebut. Untuk melakukan analisa kuantitatif maka perlu dilakukan
13

beberapa proses seperti: meniadakan background, dekonvolusi peak yang bertumpang tindih
dan menghitung konsentrasi unsur.
Kelebihan dari SEM adalah bahwa tidak diperlukan penyiapan sampel secara
khusus. Tebal sampel tidak masalah bagi SEM seperti halnya pada TEM. Makanya sampel
tebal dapat juga dianalisa dengan SEM asalkan dapat ditaruh di atas tatakan sampelnya.
Hampir semua bahan non-konduktor yang dianalisa dengan SEM perlu dilapisi dengan
lapisan tipis pada permukaannya dengan bahan konduktor. Lapisan ini penting untuk
meniadakan atau mereduksi muatan listrik yang tertumpuk secara cepat dibahan nonkonduktor pada saat disinari dengan berkas elektron energi tinggi. Bahan pelapisan yang
biasa dipakai adalah emas atau karbon. Bila lapisan ini tidak ada maka pada sampel nonkonduktor akan menghasilkan distorsi, kerusakan thermal dan radiasi yang dapat merusak
material sampel. Pada situasi yang ekstrim, sampel dapat memperoleh muatan yang cukup
untuk melawan berkas elektron yang jatuh padanya sehingga sampel ini bertindak sebagai
cermin.

Gambar 13 : Pelapisan permukaan sampel non-konduktor dengan emas.

K.

Preparasi Sampel
1. Teknik Pelapisan dengan Emas
Jika tujuan analisa bukan untuk memperoleh spektrum sinar-x, emas adalah bahan

pelapis yang sering digunakan untuk melapisi sampel non- konduktor. Gambar 13
memperlihatkan secara skematik apa yang disebut sebagai sputtering. Alat ini terdiri dari
power supply D.C yang diatur antara 1 sampai 3 kv, dihubungkan seperti pada gambar 13,
kutub positif ke lempengan emas dan kutub negatif ke sampel. Semua system ini ditaruh di
ruang vakum yang dihubungkan dengan pompa vakum. Bila kita masukan ke dalam vakum
gas seperti argon, atom argon ini akan menumbuk lempengan emas dan karenanya atom emas
14

terlepas dari lempengannya dan ditarik menuju sampel oleh medan listrik. Dengan demikian
sampel terlapisi dengan emas.
2. Teknik Pelapisan dengan Karbon
Pelapisan dengan emas dalam banyak kasus tidak mengijinkan kita untuk
memperoleh juga spektrum sinar-x dari sampel karena lapisan emas dapat mengabsorpsi
signal sinar-x yang keluar dari sampel. Bila kita inginkan spektrum sinar-x dari sampel nonkonduktor maka haruslah digunakan material pelapisan yang transparan terhadap sinar-x.

Gambar 14 : Teknik pelapisan dengan Karbon untuk sampel non-konduktor.

Dalam kasus ini, karbon adalah material yang sering dipakai. Gambar 14
menunjukkan secara skematik alat pelapisan dengan karbon. Alat ini terdiri dari 2 elektroda
yang dihubungkan dengan sumber tegangan A.C tegangan rendah dan intensitas tinggi di
mana batangan karbon diarahkan antara 2 elektroda tersebut. Oleh karena intensitas arus yang
tinggi maka ujung yang tajam dari batangan karbon ini secepatnya terevaporasi dan dengan
demikian sampel terlapisi dengan karbon. Batangan karbon ini dipadukan dengan sebuah
per/pegas yang selalu membuat kontak antara dua elektroda tetap terjaga. Seluruh sistem ini
juga berada dalam ruang vakum yang dihubungkan dengan pompa vakum.
L.

Beberapa Contoh Hasil SEM

Pada tabel 1 ditampilkan beberapa sampel yang telah diamati dengan menggunakan
Scanning Electron Microscopy (SEM).
Tabel 1 : Beberapa contoh hasil SEM dengan berbagai resolusi3

15

16

BAB III
PENUTUP
A.

Kesimpulan
Berdasarkan uraian diatas maka diperoleh kesimpulan sebagai berikut :
1.

Landasan teori bertumpu pada konsep sumber elektron

2. Spesimen mudah diperoleh, terutama yang berhubungan dengan persiapan untuk

melakukan uji sampel.

3. Diperlukan keahlian khusus untuk dapat mengoperasikan SEM, namun demikian

prinsip-prinsip dasar dari mikroskop sangatlah mendasar dan perlu dikuasainya

pengertian-pengertian dasar tentang elektron.
4. Diperlukan keterampilan khusus untuk melakukan percobaan dan diperlukan

keahlian tersendiri untuk mampu membaca makna dari hasil pemeriksaan di layar
monitor atau print out.
5. Hanya bisa dilakukan di tempat-tempat khusus, sebab alat ini terlalu mahal artinya

perlakuan penelitian dapat dilakukan di laboratorium-laboratorium khusus.

B.

Saran

17

Referensi :
1. http://en.wikipedia.org/wiki/Scanning_electron_microscope
2. Dr.rer.nat. Kebamoto, Prinsip dan Pemakaian SEM dan EDX, Slide presentasi
3. http://www.chem.qmul.ac.uk/surfaces/scc/scat7_2.htm
4. http://wtm.ite.pwr.wroc.pl/zue/tssede/

5. http://www.hkbu.edu.hk
6. http://mse.iastate.edu/microscopy/college.html

18