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Introduction et gnralits Microactionneurs Microcapteurs Technologies des MEMS Sources dnergie pour lembarqu
MEMS pour lembarqu FST-USMBA 2012-2013 O. Elmazria
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Micro-actionneurs lectrostatiques
Avantages: Compatibilit avec les procds des MEMS Grand dplacement (jusqu 100mm avec le principe SDA) Puissance mcanique dveloppe importante (densit dnergie 105 Jm-3) Rapidit Inconvnients: Tensions de fonctionnement leves: 5 400V Premire ralisation 1977
Principe physique
A lquilibre Q=CV. Eg=C V2, Energie fournie par le gnrateur, Ec= C V2, Energie emmagasine dans la capa. Er = Eg - Ec = C V2, Energie dissipe dans R
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q=CV=-q F V2
Force attractive
Etude nergtique:
Energie fournie par le gnrateur : CE2, Energie consomme par effet joule : 1/2CE2, Energie stocke dans la condensateur: 1/2CE2
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Micro-commutateur
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Micro-commutateur optique
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(a) Dispositif Texas Instruments micromiroirs pour la vidoprojection dimages numriques (Home Theater). (b) Vue schmatique de 2 micromiroirs et de leur mcanique dactionnement. La surface de chaque miroir est de 16 m. Les miroirs sont espacs de 1 m. Lactionnement est lectrostatique, le mouvement des miroirs peut atteindre 50 kHz. Chaque miroir provoque lallumage dun pixel de limage. Llectronique de commande est intgre. Plus de 1 300 000 miroirs constituent le dispositif.
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Dplacement latral
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Dplacement latral
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Gyroscope
Principe de fonctionnement:
Le gyroscope, capteur de vitesse angulaire, est bas sur la force de Coriolis qui dvie un objet en mouvement dans un rfrentiel en rotation. Dans lexemple ci-dessous, le rfrentiel est un disque oscillant (en bleu) qui bascule quand le dispositif entier tourne autour de laxe sensible. Le disque avec une structure en peigne est maintenu en oscillation par des forces lectrostatiques (latrales). Le basculement du disque caus par la force de Coriolis est dtect en mesurant les changements de capacit entre le disque et le substrat. Des vitesses angulaires atteignant 0.5/seconde (1 tour/min) peuvent tre dtectes avec ce type de gyro.
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Gyroscope
Le gyroscope est un capteur de vitesse angulaire qui mesure la vitesse de sa propore rotation dans lespace. Cest un capteur inertiel bas sur la force de Coriolis1. Il na donc pas besoin dun point de rfrence. Le gyroscope sera attach lobjet dont la rotation doit tre mesure. Le gyroscope est un produit trs important avec un fort potentiel de dveloppement en raison du large ventail des domaines dapplications : contrle de stabilit, navigation et vitement des collisions en aronautique et automobile mais aussi tout ce qui concerne les camscopes, les manettes de jeux, le contrle de mouvement et la stabilit des robots, des systmes hydrauliques, et des plate-forme de la machinerie lourde. Le march des gyroscopes est estim 800 M$ en 2010 et il est amen devenir la prochaine grande application des Micro-systmes (MEMS) et concerne la fois les applications grand public et industrielles.
1Force
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Micromoteur lcrostatique
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Multiplexage optique
1 2 3 4 addadd add add
...
M add
Tunable lasers
1 in 2 in 3 in 4 in 5 in 6 in
N in Wavelengthmultiplexer
...
N out
...
2 4 1 3 drop drop drop drop M drop
...
7 in
7 out
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M add
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Tunable lasers
...
...
7 in
7 out
N in Wavelengthmultiplexer
N out
...
2 1 3 drop drop drop M drop
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Leffet Casimir, est une force attractive entre deux plaques parallles conductrices et non charges. Cet effet, d aux fluctuations quantiques du vide , existe galement pour d'autres gomtries d'lectrodes[2]. Une liaison de van der Waals est une interaction lectrique de faible intensit entre atomes, molcules, ou entre une molcule et un cristal
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Micro-actionneurs pizolectriques
Les applications des actionneurs pizolectriques se rpondent dans diffrents domaines comme le micropositionnement de prcision, le contrle de forme ou la gnration, le contrle de l amortissement de vibrations. Lapparition sur le march de cramiques pizolectriques multicouches gnrant de grandes dformations sous faible tension a permis de dvelopper de nouveaux actionneurs. Ces proprits sont maintenant avantageusement utiliss dans des produits standard pour des actionneurs directs ou amplifis, des rsonateurs ultrasonors et des moteurs pizolectriques ddis des marchs trs divers comme loptique, le spatial ou linstrumentation de prcision.
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Micro-actionneurs pizolectriques
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Actionneurs thermiques
L exemple suivant montre la structure d un micromanipulateur parallle intgr sur circuit CMOS. L actionnement est assur par des micropoutres en polyimide fort coefficient de dilatation thermique. Ralisation: Departement of Electrical Engineering, Stanford University (CA).
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Principe de fonctionnement
Les AMF sont des matriaux qui, aprs dformation permanente basse temprature retrouvent leur forme initiale non dforme (mmorise) par chauffage. Cette proprit est dsigne par le terme effet mmoire de forme et est illustre sur la figure ci-dessous.
Retour la forme initial lors du chauffage Refroidissement sans changement de forme Dformation
Cest lors d un retour contrari sa forme initiale, par chauffage, que l AMF est capable de gnrer un travail mcanique et donc dentraner une charge. Cest cet effet de transduction thermomcanique que l on exploite lorsquon utilise un AMF en tant quactionneur.
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Exemples
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Exemples
Electrostatique
1.8x10 5
>10000
5~500
Pizolectrique
1.2x105
>5000
5~100
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