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SEM
Rayos X Ctodoluminiscencia
Electrones absorbidos
TEM
Electrones transmitidos
04/11/2012
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Can de electrones
0,5 30 kV -Termoinico: W o LaB6 -Emisin de campo (FE): ctodo fro o Schottky
Haz de eCan de enodo Lente magntica Al monitor Bobinas de barrido
nodo
Atrae y acelera a los electrones aplicando un voltaje positivo
Lentes magnticas
Crean un campo magntico rotacional y simtrico que acta sobre el haz de electrones.
Haz de eCan de e-
-Lente condensadora: Expande o condensa el Detector de ehaz. retrodispersados -Lente objetivo: Enfoca y determina el Platina tamao final del haz.
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Bobinas de barrido
Mueven el haz sobre la muestra en X e Y. Estn sincronizadas con el monitor en el que se registra la imagen.
Bobinas de barrido Haz de eCan de e-
Detectores de electrones
e- secundarios: -Centelleador a 10 kV que atrae a los e-. -Fotomultiplicador. -Amplificador. Imagen de topografa iluminada desde el detector.
Haz de eCan de e-
e- retrodispersados: Viajan en lnea recta. Dipolos o cuadrupolos Detector de esimtricos permiten retrodispersados obtener una imagen topogrfica adems de Platina composicional
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Volumen de interaccin
Haz de electrones incidente Electrones retrodispersados
Electrones secundarios
Volumen de interaccin
Haz de electrones incidente eeee-
ee-
Volumen de interaccin
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e-
e-
e-
e-
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Volumen de interaccin
ee-
ee-
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e- secundarios e- retrodispersados
Electrones secundarios
Se producen a partir de la emisin de los electrones de valencia de los tomos de la muestra. Como son de muy baja energa (< 50 eV) solo logran salir de la muestra los ms superficiales. Proporcionan informacin acerca de la topografa de la superficie.
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Electrones secundarios
Electrones retrodispersados
A veces llamados e- reflejados. Poseen mayor E que los secundarios, por tanto proporcionan informacin de regiones ms profundas de la muestra. Son sensibles a la composicin de la muestra: A mayor Z, mayor emisin de e- retrodispersados. Por tanto, las reas con elementos pesados aparecen brillantes en la imagen.
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Electrones retrodispersados
Preparacin de muestra
Requisito principal: La muestra debe ser conductora Se monta sobre el porta de modo que est elctricamente conectada al mismo.
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Preparacin de muestra
Si la muestra NO es conductora La superficie se recubre con una pelcula de metal: Sputtering: Au, Au-Pd, Pt, Pt-Pd Evaporacin en vaco: C, Al
Preparacin de muestra
Muestras biolgicas Protocolos habituales: -Fijacin -Deshidratacin -Secado (por punto crtico) -Montaje y recubrimiento
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