ANDR REZENDE DE FIGUEIREDO OLIVEIRA

DESENVOLVIMENTO DE UM MICROSCPIO
CONFOCAL DE VARREDURA LASER PARA
CARACTERIZAO TOPOGRFICA DE
SUPERFCIES.










UNIVERSIDADE FEDERAL DE UBERLNDIA
FACULDADE DE ENGENHARIA MECNICA
2012

ii
ANDR REZENDE DE FIGUEIREDO OLIVEIRA





DESENVOLVIMENTO DE UM MICROSCPIO CONFOCAL DE
VARREDURA LASER PARA CARACTERIZAO TOPOGRFICA DE
SUPERFCIES.





Dissertao apresentada ao Programa de Ps-
Graduao em Engenharia Mecnica da Universidade
Federal de Uberlndia, como parte dos requisitos para a
obteno do ttulo de MESTRE EM ENGENHARIA
MECNICA.

rea de Concentrao: Materiais e Processos de
Fabricao.

Orientador: Prof. Dr. Jos Daniel Biasoli de Mello

Co-Orientador: Prof. Dr. Adamo Ferreira Gomes do Monte



UBERLNDIA MG
2012
iii
ANDR REZENDE DE FIGUEIREDO OLIVEIRA




DESENVOLVIMENTO DE UM MICROSCPIO CONFOCAL DE
VARREDURA LASER PARA CARACTERIZAO TOPOGRFICA DE
SUPERFCIES.


Dissertao apresentada ao Programa de Ps-
Graduao em Engenharia Mecnica da Universidade
Federal de Uberlndia, como parte dos requisitos para a
obteno do ttulo de MESTRE EM ENGENHARIA
MECNICA.

rea de Concentrao: Materiais e Processos de
Fabricao.


BANCA EXAMINADORA:

Prof. Dr. Jos Daniel Biasoli de Mello - PPGEM UFU - (Orientador)

Prof. Dr. Adamo Ferreira Gomes do Monte - INFIS UFU (Co-orientador)

Profa. Dra. Geralda Cristina Dures de Godoy - DEMET UFMG

Profa. Dra. Henara Lillian Costa Murray - FEMEC UFU

UBERLNDIA, 23 DE ABRIL DE 2012
iv
















v























Por que educar?

A principal meta da educao criar homens que sejam capazes de fazer coisas
novas, no simplesmente repetir o que outras geraes j fizeram. Homens que sejam
criadores, inventores, descobridores. A segunda meta da educao formar mentes que
estejam em condies de criticar, verificar e no aceitar tudo que a elas se prope.

Jean William Fritz Piaget (1896 1980)
vi





























Dedico este trabalho minha
esposa Aline e aos meus filhos
Anna Luiza e Andr Filho,
minhas fontes de motivao.
vii



AGRADECI MENTOS



Agradeo aos Professores Dr. Jos Daniel Biasoli de Mello e Dr. Adamo Ferreira
Gomes do Monte, pela orientao neste trabalho.

A toda a equipe do Laboratrio de Tribologia e Materiais LTM/FEMEC/UFU e ao
Laboratrio de Espectroscopia ptica LEO/INFIS/UFU, onde encontrei timas
estruturas de trabalho.

Aos rgos de fomento CAPES, CNPq e FAPEMIG pelo apoio financeiro aos
projetos de pesquisa que permitiram a realizao deste trabalho.

Ao Programa de Ps-Graduao em Engenharia Mecnica da Universidade
Federal de Uberlndia e a todos que colaboraram direta ou indiretamente para a realizao
deste.

A todos, o meu muito obrigado.
viii
OLIVEIRA, A. R. F., Desenvolvimento de um Microscpio Confocal de Varredura Laser
para Caracterizao Topogrfica de Superfcies. 2012. 69f. Dissertao de Mestrado,
Universidade Federal de Uberlndia.



Resumo


Este trabalho tem como objetivo desenvolver uma tcnica de caracterizao
topogrfica de superfcies. Desta forma, foi desenvolvido um Microscpio ptico Confocal
de Varredura Laser, alcanando resoluo submicromtrica. A amostra varrida por laser e
sua imagem virtualmente montada ponto a ponto pela deteco da intensidade da reflexo
da luz na superfcie da amostra. A tcnica confocal se caracteriza pela utilizao de uma
abertura circular no caminho ptico, este tem a funo de eliminar a luz refletida que esteja
fora do plano focal.
Em comparaes com outras tcnicas de caracterizao topogrficas de superfcies:
Interferometria Laser e Microscopia de Fora Atmica, o prottipo desenvolvido mostrou um
desempenho satisfatrio. Os resultados com relao resoluo ptica so compatveis
com os melhores equipamentos disponveis no mercado, resolvendo claramente padres de
0,4 m entre linhas. A tcnica demonstra empregabilidade ilimitada em processos de
pesquisa, bem como bons resultados em nveis tanto qualitativos quanto quantitativos.











Palavras-chave: microscopia confocal laser, topografia de superfcie, tribologia.
ix
OLIVEIRA, A. R. F., Development of a Microscope Confocal Scanning Laser Surface
Characterization of Surveying. 2012. 69f. M. Sc. Dissertation, Universidade Federal de
Uberlndia, Uberlndia.



Abstract


The objective of this is study is to develop a laser scanning confocal microscope,
achieving submicron resolution in order to characterize surface topography. The laser
scanned images are drawn point-by-point using control software.
Comparing with other techniques of topographical characterization of surfaces: Laser
Interferometer and Atomic Force Microscopy, the prototype showed a satisfactory
performance. Confocal microscopy makes use of an optical technique that enhances
contrast and builds three dimensional images by means of a pinhole. For the construction of
a confocal image, a laser beam moves point-by-point and line-by-line on the sample surface.
The device developed proved to be an appropriate a tool with adequate resolution to assess
surfaces. The results are consistent with the best resolutions available, and the technique
has potenctial to be employed in several research projects.













Keywords: Confocal laser microscopy, surface topography, tribology.
x
LISTA DE FIGURAS


Figura 1.1 Demonstrao atravs de um perfil das trs componentes presentes em uma
topografia de superfcie. .......................................................................................................... 3

Figura 1.2 - Perfil de rugosidade e ondulao de acordo com o filtro cut-off utilizado.
(MUMMERY, 1992) ................................................................................................................. 4

Figura 1.3 Rugosmetro de contato. (Fonte: Site Mitutoyo Sul Americana.) ........................ 6

Figura 1.4 Esquematizao do funcionamento um IL. (Fonte: Manual UBSoft, 1990)......... 8

Figura 1.5 - Interfermetro Laser Microfocus Expert, fabricante UBM. ................................... 9

Figura 1.6 Esquematizao do Microscpio de Fora Atmica (AFM). (Fonte: Site
nanoScience Instruments) ..................................................................................................... 10

Figura 1.7 AFM modelo XE-70, fabricante Park System

. (Fonte: Manual XE-70) ............ 10

Figura 1.8 Esquematizao do funcionamento do microscpio de campo amplo.............. 11

Figura 1.9 Exemplo de um microscpio de campo amplo.................................................. 11

Figura 1.10 Marvin Minsky - U.S. Patent 3,013,467 de 07 de novembro de 1957. ............ 12

Figura 1.11 - Princpio de funcionamento do LSCM. (Fonte: Site da Carl Zeiss Microscopy,
Jena)...................................................................................................................................... 13

Figura 2.1 Representao do processo fsico de reflexo da luz. (NEWTON, 2002) ........ 15

Figura 2.2 Princpio de funcionamento do microscpio simples..........................................16

Figura 2.3 Princpio de funcionamento do microscpio confocal. (MINSKY, 1988) ........... 17

Figura 2.4 Equipamentos necessrios ao funcionamento do microscpio confocal de
varredura laser. (Fonte: Site Olympus).................................................................................. 18

Figura 2.5 Microscpio confocal de varredura laser desenvolvido. .................................... 18

Figura 2.6 Estrutura do microscpio confocal desenvolvido. ............................................. 20

Figura 2.7 Espectro eletromagntico, em destaque, faixa de espectro visvel. (JACKSON,
1999)...................................................................................................................................... 20

Figura 2.8 Diodo Laser LQC405-85E utilizado na montagem do microscpio confocal. ... 21

Figura 2.9 - Espectro de emisso do diodo laser utilizado na montagem do microscpio
confocal. ................................................................................................................................ 21

Figura 2.10 Filtro de intensidade de densidade neutra NE510A, marca ThorLabs, utilizado
na........................................................................................................................................... 22
xi
Figura 2.11 Espectro de intensidade do feixe laser, indicando potencia do laser com
relao ao filtro de intensidade.............................................................................................. 23

Figura 2.12 Imagens geradas em uma mesma rea; (a) utilizando filtro de intensidade e (b)
sem o filtro. ............................................................................................................................ 24

Figura 2.13 Esquematizao da montagem utilizada para o microscpio de campo amplo.
............................................................................................................................................... 25

Figura 2.14 Imagem da tela de cristal lquido demonstrando uma chapa metlica
texturizada - detalhe do feixe laser sobre a amostra............................................................. 25

Figura 2.15 Demonstrao da ptica geomtrica em uma lente convergente (biconvexa).
(NEWTON, 2002) .................................................................................................................. 26

Figura 2.16 Esquematizao da funo da abertura circular. ............................................ 26


Figura 2.17 Representao do padro de Airy, padro de difrao contendo um mximo
central (ordem zero) cercado por discos concntricos. (Fonte: Site Zeiss)........................... 27

Figura 2.18 Montagem utilizando fibra ptica de 50 m como abertura circular. ............... 28

Figura 2.19 Montagem utilizando uma abertura circular fixado diretamente na entrada do
detector.................................................................................................................................. 28

Figura 2.20 Abertura utilizada na montagem do microscpio confocal (a). Imagem da
abertura por microscpio eletrnico de varredura (b). (Fonte: Site Thorlabs

) ..................... 29

Figura 2.21 Representao do cone de luz formado pelo conjunto lentes da objetiva.
(Fonte: Site Olympus)............................................................................................................ 29

Figura 2.22 - Dois discos de Airy e suas distribuies de intensidade no limite de resoluo
ptica. (WILHELM, 2011) ...................................................................................................... 30

Figura 2.23 - Efeito da abertura numrica sobre a formao dos discos de Airy. (Fonte: Site
Zeiss) ..................................................................................................................................... 31

Figura 2.24 Transladador piezoeltrico utilizado na montagem, modelo Nano Max302 TS -
Thorlabs................................................................................................................................. 32

Figura 2.25 Ilustrao do piezo atuador e sistema de ajuste manual. (Fonte: Manual
Thorlabs

- Nano Max302 TS.).............................................................................................. 33

Figura 2.26 Representao do movimento do transladador piezoeltrico. ........................ 33

Figura 2.27 Montagem do espelho seletor de imagem. Funcionamento manual (a) e
automatizado (b). Placa controlador modelo R-Control 30, fabricante Rogercom. ............... 34

Figura 2.28 Distribuio do sinal no divisor de feixe (a). Em destaque os dois divisores de
feixe(b)................................................................................................................................... 35

Figura 2.29 Fenmeno de difrao. (HALLIDAY, 2001)..................................................... 35

xii
Figura 2.30 Espectrmetro Ocean Optics Inc. USB4000, utilizado para montagem do
Microscpio Confocal. ........................................................................................................... 37

Figura 2.31 Representao esquemtica do sistema de varredura laser sobre a superfcie
da amostra............................................................................................................................. 38

Figura 2.32 Exemplo de nveis de cinza utilizando imagem 16bits, variao do preto ao
branco (imagem binria). (GU, 1996) .................................................................................... 38

Figura 2.33 Imagem gerada pelo software LabView

a partir da matriz XY obtida na

varredura. .............................................................................................................................. 39

Figura 2.34 Tela principal do software Laser Scanning Confocal Microscope LabVIEW

.
............................................................................................................................................... 40

Figura 2.35 Tela do Dark Measurement, sinal em tempo real............................................ 40

Figura 2.36 Demonstrao da aproximao do sinal ao ponto focal.................................. 41

Figura 2.37 Imagem demonstrando a varredura no eixo Z em cinco pontos (X
i
, Y
j
) da
matriz. .................................................................................................................................... 41

Figura 2.38 Demonstrao da variao da intensidade de reflexo na amostra pelo o
deslocamento no eixo Z......................................................................................................... 42

Figura 2.39 Algoritmo para se determinar o valor do fundo de escala do eixo Z. .............. 43

Figura 3.1 Imagens de superfcies primrias geradas pelo microscpio confocal de regies
com texturas diferentes. ........................................................................................................ 46

Figura 3.2 Imagem gerada pelo interfermetro laser (a) e demonstrao de todos os perfis
ao longo do microsulco (b). ................................................................................................... 47

Figura 3.3 Imagem obtida com microscpio confocal e gerada pelo LabVIEW

................ 48

Figura 3.4 Resultado da imagem gerada pelo microscpio confocal, com valores de fundo
de escala para os trs eixos. ................................................................................................. 48

Figura 3.5 Imagens da superfcie de um disco rgido geradas por microscopia confocal (a)
e interferometria laser (b). ..................................................................................................... 49

Figura 3.6 Imagem da rede de difrao gerada pelo microscpio confocal. ...................... 50

Figura 3.7 Imagem das amostras padro construda pelo microscpio simples montado na
estrutura do microscpio confocal. ........................................................................................ 50

Figura 3.8 Imagem gerada pelo AFM e visualizada atravs do software da Park Systems.
............................................................................................................................................... 51

Figura 3.9 Superfcie primria gerada AFM e pelo software Mountains Map..................... 51

Figura 3.10 Imagem resultante da aplicao do filtro polinomial........................................ 52

Figura 3.11 Resultados da aplicao de filtro de gaussiano de cut-off igual 800nm....... 53
xiii
Figura 3.12 Imagem da amostra padro contendo bolsos gerada pelo microscpio confocal
(a) e convertida para software Mountains Map (b). ............................................................... 54

Figura 3.13 Imagens da amostra padro contendo bolsos. AFM (a), IL (b) e MCVL (c). ... 55

Figura 3.14 Comparao por vista superior e perfil entre as trs tcnicas, amostra padro
bolsos em cortes de 10 m. AFM (a), IL (b) e MCVL (c). ...................................................... 56

Figura 3.15 Comparao entre as trs tcnicas pelo parmetro topogrfico de amplitude
Sq para a amostra contendo bolsos. ..................................................................................... 57

Figura 3.16 Comparao entre as trs tcnicas pelo parmetro topogrfico hbrido (Sdq).
............................................................................................................................................... 58

Figura 3.17 Comparao entre as trs tcnicas pelo parmetro funcional Sbi. ................. 59

Figura 3.18 Imagem da amostra padro trilhas gerada pelo microscpio confocal (a) e
convertida para pelo software Mountains Map (b)................................................................. 59

Figura 3.19 Imagens da amostra padro contendo trilhas geradas pelas trs tcnicas. AFM
(a), IL (b) e MCVL (c)............................................................................................................. 60

Figura 3.20 Comparao por vista superior e perfil das trs tcnicas. AFM (a), IL (b) e
MCVL (c)................................................................................................................................ 61

Figura 3.21 Comparao entre as trs tcnicas pelos parmetros topogrficos de
amplitude. .............................................................................................................................. 62

Figura 3.22 Comparao entre as trs tcnicas pelos parmetros topogrficos de Hbrido.
............................................................................................................................................... 63

Figura 3.23 Parmetro funcional Sbi para a amostra contendo trilhas............................... 63

Figura 4.1 Posicionador Z825B Serie Motorized DC Servo Actuador adquiridos e apt dc
serve controller USB.............................................................................................................. 65

xiv
LISTA DE TABELAS


Tabela 1.1 - Comparao entre as tcnicas de Microscopia Confocal, Interferometria Laser e
Microscopia de Fora Atmica. ............................................................................................. 14

Tabela 2.1 Caractersticas do diodo laser utilizado na montagem do microscpio confocal.
............................................................................................................................................... 22

Tabela 2.2 Caractersticas do piezo posicionador Nano Max302 TS. (Fonte: Site Thorlabs)
............................................................................................................................................... 33

Tabela 2.3 Caracterstica do espectrmetro marca Ocean Optic, modelo UBSB4000,
utilizado na montagem do Microscpio Confocal. (Fonte: Manual Ocean Optics UBS4000) 37

Tabela 3.1 Determinao do valor do fundo escala para o eixo vertical para a amostra
contendo bolsos. (Valores de intensidade na forma de potncia 10
4
)................................... 54

Tabela 3.2 Resultados dos parmetros topogrficos para amostra padro contendo
Bolsos. Comparao entre AFM, Interferometria e Confocal. ............................................... 57

Tabela 3.3 Resultados dos parmetros topogrficos para amostra padro contendo trilhas.
Comparao entre AFM, Interferometria e Confocal..............................................................61

Tabela AI.1 ANOVA para os resultados dos parmetros topogrficos Sq para amostra
padro contendo bolsos. Comparao entre Interferometria, AFM e Confocal.....................70

Tabela AI.2 ANOVA para os resultados dos parmetros topogrficos Sdq para amostra
padro contendo bolsos. Comparao entre Interferometria, AFM e Confocal.....................70

Tabela AI.3 ANOVA para os resultados dos parmetros topogrficos Sbi para amostra
padro contendo bolsos. Comparao entre Interferometria, AFM e Confocal.....................71

Tabela AI.4 ANOVA para os resultados dos parmetros topogrficos Sq para amostra
padro contendo trilhas. Comparao entre Interferometria, AFM e Confocal......................71

Tabela AI.5 ANOVA para os resultados dos parmetros topogrficos Sdq para amostra
padro contendo trilhas. Comparao entre Interferometria, AFM e Confocal......................71

Tabela AI.6 ANOVA para os resultados dos parmetros topogrficos Sbi para amostra
padro contendo trilhas. Comparao entre Interferometria, AFM e Confocal......................71

xv
LISTA DE SMBOLOS


% = Porcentagem;
I = Variao de intensidade entre ponto mais alto e mais baixo da superfcie;
x = Variao na direo do eixo x;
y = Variao na direo do eixo y;
Z = Variao total na direo do eixo Z;
m
2
= Micrometro quadrados;
2D = Duas dimenses;
3D = Trs dimenses;
AB = Raio de luz incidente;
ABNT = Associao Brasileira de Normas Tcnicas;
ANOVA = Anlise de Varincia;
AFM = do ingls: Atomic Force Microscopy;
AN = Abertura numrica;
atm = Unidade de presso;
BC = Raio de luz refletido;
BMP = Bitmap (Formato de arquivo de imagem);
c = Velocidade da luz no vcuo;
CBC = Comit Brasileiro de Certificao
CCD = do ingls: Charge-Coupled Device;
cut-off = Valor de corte do comprimento de onda de corte de uma superfcie;
Dark = Menor valor registrado pelo detector;
di = Diferena em mdulo entre I_MAX e I_MIN;
dZ = Diferena em mdulo entre I_MAX e DARK;
dz = Deslocamento real do eixo Z em micrometros;
End Position = Posio final da varredura;
xvi
g = gramas
GaN = Nitreto de Glio;
gl = graus de liberdade;
GPS = do ingls: Geometrical Product Specifications;
i = ngulo de incidncia, formado entre o raio incidente e a reta normal;
I_Max = Valor da intensidade no ponto mais alto da superfcie;
I_Min = Valor da intensidade no ponto mais baixo da superfcie;
I_Max_M = Valor mximo da matriz, equivalente ao valor do I_MAX;
I_Min_M = Valor mnimo da matriz, equivalente ao valor do DARK;
IL = Interferometro Laser;
in vivo = do Latim: dentro de vivo; em cincia: experincia realizada em um
organismo vivo;
INMETRO = Instituto Nacional de Metrologia, Normatizao e Qualidade Industrial;
ISO = do ingls: International Standard Organization
k = Constante de correo experimental;
Kg = Quilograma;
LASER = do ingls: Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation;
LR = Limite de Resoluo
LSCM = do ingls: Laser Scanning Confocal Microscope
M = Nmero de linhas da matriz;
mA = Miliampre;
Mbps = Mega bites por segundo;
MCVL = Microscpio Confocal de Varredura Laser;
MEV = Microscpio Eletrnico de Varredura;
mm = Milmetro
mm
2
= Milmetro quadrado;
mrad = miliradianos;
xvii
ms = milisegundos;
mW = miliwatt;
N = Nmero de colunas da matriz;
N* = Reta normal superfcie;
n = ndice de Refrao
nm = Nanometro;

1
= ngulo de incidncia do feixe sobre a superfcie;

2
= ngulo de reflexo do feixe na superfcie;
C = Graus Celsius;
PZT = Piezoeltrico
r = ngulo de reflexo, formado entre o raio refletido e a reta normal
Ra = Mdia aritmtica do perfil de rugosidade;
Raio 1 = o raio incidente da figura 12;
Raio 2 = o raio refratado, da figura 12;
RMS = do ingls: Root Mean Square;
s = Unidade de Tempo - Segundo(s);
Sa = Mdia aritmtica da rugosidade tridimensional
Sbi = Parmetro topogrfico funcional que descreve a capacidade de suporte
mecnico de uma superfcie;
Sdq = Parmetro topogrfico hbrido capaz de informar o valor do desvio quadrtico
mdio para a inclinao da superfcie;
Sen = Funo trigonomtrica Seno;
Si = Silcio;
SiO
2
= Dixido de Silcio;
Sq = Desvio mdio quadrtico da rugosidade superficial;
T = reta tangente superfcie no ponto B;
T-Set = Tempo de integrao;
xviii
v = Velocidade da Luz no meio material;
VDC = do ingls: Voltage Direct Current;
x = Eixo x;
X = Indica o nmero de vezzes de ampliao;
X-Setp = Valor do passo no eixo X;
y = Eixo y;
z = Eixo z;
Z = Eixo vertical;
Z(x
i
, y
j
) = Valor do ponto do eixo vertical em um ponto especfico (x
i
, y
j
);
Z
ij
= Valor dos pontos da matriz;
Z-Setp = Valor do passo no eixo vertical;
= Comprimento de onda da onda eletromagntica;

c
= Comprimento de onda de separao da rugosidade da superfcie - cut-off;
= ngulo de formao do cone de luz entre objetiva e superfcie da amostra;
m = Micrometro;
xix
SUMRI O


I NTRODUO ................................................................................................................... 1
CAP TULO I - REVISO BIBLIOGRFICA....................................................................... 3
1.1 - TCNICAS DE CARACTERIZAO TOPOGRFICAS......................................................... 6
1.2 INTERFERMETRO LASER........................................................................................... 7
1.3 - MICROSCOPIA DE FORA ATMICA ............................................................................. 9
CAP TULO I I - DESENVOLVI MENTO.................................................................... 15
2.1 - MICROSCPIO CONFOCAL DE VARREDURA LASER..................................................... 18
2.1.1 Base e Estrutura do Microscpio ............................................................ 19
2.1.2 - A Fonte Laser .......................................................................................... 20
2.1.3 Filtro de Intensidade................................................................................ 22
2.1.4 - Sistema de Iluminao............................................................................. 25
2.1.5 Lente Convergente.................................................................................. 26
2.1.6 Abertura Circular ..................................................................................... 26
2.1.7 Objetiva................................................................................................... 29
2.1.8 Resoluo do Microscpio Confocal ....................................................... 31
2.1.9 Transladadores ....................................................................................... 32
2.1.10 Divisor de Feixe .................................................................................... 34
2.1.11 - Aquisio de Sinal ................................................................................. 36
2.2 - MONTAGEM DA IMAGEM VIRTUAL DA SUPERFCIE DA AMOSTRA...38
2.2.1 SOFTWARE LASER SCANNING CONFOCAL MICROSCOPE LABVIEW................... 39
2.2.2 DETERMINAO DO FUNDO DE ESCALA DO EIXO VERTICAL.................................. 41
2.3 - CALCULO DE PARMETROS TOPOGRFICOS DE SUPERFCIE.......................................44
2.4 - CONFIGURAES UTILIZADAS NAS TCNICAS EXPERIMENTAIS....................................44
CAP TULO I I I - RESULTADOS E DISCUSSES........................................................... 46
CAP TULO I V - CONSIDERAES FINAIS................................................................... 64
4.1 TRABALHOS FUTUROS ............................................................................................. 65
REFERENCI AS BI BLI OGRFI CAS ........................................................................ 66
ANEXO I ...............................................................................................................................70

1



I NTRODUO


A tcnica de microscopia confocal de varredura laser se tornou uma ferramenta
essencial em cincias de materiais devido a atributos no disponveis em microscopia ptica
tradicional, em particular, o modo de contraste.
O conceito bsico de microscopia confocal foi desenvolvido originalmente por Marvin
Minsky nos anos 50 durante o seu ps-doutorado na Universidade de Harvard. Minsky
tentava observar clulas neurais in vivo (MINSKY, 1988). A inveno de Minsky permaneceu
dcadas sem aplicao, provavelmente pela falta de fontes intensas de luz, detectores
eficientes e computadores com capacidade de processar grande quantidade de dados.
Aps o trabalho de Minsky, David Egger e Mojmir Petran (1967) construram, nos
anos de 1960, um microscpio confocal para examinar sees de clulas cerebrais. Este
utilizava um disco giratrio contendo vrias aberturas circulares (disco de Nipkow). Em
1973, Egger desenvolveu o primeiro microscpio confocal laser e publicou as primeiras
imagens reconhecveis de clulas. No fim da dcada de 1970, o fsico holands G. J.
Brakenhoff e colaboradores (1979) desenvolveram o primeiro microscpio confocal com
sistema de varredura. Simultaneamente, Colin Sheppard contribuiu para a tcnica com a
teoria de formaes de imagens. Durante os anos 1980, os avanos dos computadores, da
tecnologia dos lasers e dos novos algoritmos de manipulao digital de imagens
promoveram o interesse em microscopia confocal. Brad Amos e John White demonstraram
a utilidade de imagens construdas por microscpio confocal em exame de espcimes
biolgicos fluorescentes. (AMOS et al., 2003).
Segundo Hanlon e colaboradores (2001) os primeiros instrumentos comerciais
apareceram em 1987 e evoluram durante os anos 1990, com avanos dos componentes
pticos, da eletrnica, das fontes lasers e dos detectores. A reduo dos custos de
produo, o aumento da velocidade de processamento e a evoluo da capacidade de
armazenamento de dados dos microcomputadores tambm contriburam a expanso do
nmero de aplicaes da microscopia confocal. Atualmente estes microscpios so
empregados em pesquisas em diversas reas da cincia dos materiais: semicondutores,
metais, polmeros, entre outros.
A microscopia confocal oferece vrias vantagens com relao aos microscpios de
campo amplo convencionais. Ela possui a capacidade de controlar profundidade de campo,
2
reduzindo a informao perifrica ao plano focal, aumentando o contraste e
consequentemente qualidade da imagem. O microscpio confocal possibilita uma maior
resoluo em ambos os componentes axiais (lateral e vertical), desta forma, a tecnologia
confocal prova ser um dos avanos mais importantes alcanados em microscopia ptica nos
ltimos anos. (OLIVEIRA, et al. 2010)
Os objetivos deste trabalho consistem no desenvolvimento de um Microscpio
Confocal de Varredura Laser e caracterizao da topografia de superfcie de amostras
inorgnicas, realizando comparaes qualitativas e quantitativas com outras tcnicas
topogrficas: Interfermetro Laser e Microscpio de Fora Atmica.
A utilizao da tcnica confocal com a finalidade de caracterizar uma superfcie
inorgnica motivador, uma vez que em sua grande maioria a microscopia confocal
empregada na construo de imagens de materiais orgnicos, principalmente biomateriais.
Alm de aplicar esta tcnica ptica em investigaes e analise de superfcies de engenharia
(metais, polmeros, cermicos) a construo do equipamento por si motivador, pois trata
de um desenvolvimento com aplicabilidade direta onde os resultados possuem uma
infinidade de reas em potencial dentro do universo relacionado superfcie de materiais de
engenharia. Outra motivao deste trabalho est relacionada ao baixo custo do
equipamento desenvolvido com relao aos microscpios confocais existentes no mercado.
O projeto foi concludo com um custo total de vinte e cinco mil reais.
No primeiro captulo desta dissertao apresentada uma reviso bibliogrfica sobre
o assunto, a qual aborda as tcnicas utilizadas neste processo de comparao, definies
sobre a rugosidade e seus parmetros, normas tcnicas para determinao da topografia de
superfcies e tambm sobre o surgimento da tcnica de microscopia confocal laser.
O segundo captulo apresenta os materiais e mtodos utilizados nos procedimentos
experimentais, na montagem do microscpio confocal de varredura laser. No terceiro
captulo so apresentados e discutidos os resultados obtidos atravs do procedimento
experimental. O quarto captulo apresenta as concluses, tomadas com base na discusso
realizada atravs dos resultados obtidos e tambm sugestes para trabalhos futuros. Por fim
so apresentadas as referncias bibliogrficas utilizadas para a realizao desta
dissertao.
3



CAP TULO I



REVISO BIBLIOGRFICA


Sabe-se que a topografia de superfcie influencia no somente as propriedades
fsico-qumicas e mecnicas de partes em contato bem como de alguns componentes sem
contato. A amplitude e as caractersticas espaciais de topografia de superfcie dominam as
aplicaes funcionais em um universo tribolgico. Alm disso, o desempenho e a
confiabilidade de componentes de engenharia podem ser aumentados selecionando-se
caractersticas topogrficas apropriadas. (Dong et al., 1994)
Cada superfcie composta de trs diferentes componentes: forma, ondulao e
rugosidade, como demonstrada na Figura 1.1. A separao destes componentes realizada
atravs da aplicao de filtros matemticos, separando a forma do perfil primrio e a partir
desta separa-se a ondulao da rugosidade.
A forma e a ondulao possuem caractersticas macrogeomtricas, ondas de
comprimento bem maior que sua amplitude e baixa freqncia. A rugosidade possui alta
freqncia e comprimentos de ondas semelhantes amplitude.


Figura 1.1 Demonstrao atravs de um perfil das trs componentes presentes em uma
topografia de superfcie.

4
O ponto no qual a componente ondulao se separa da componente rugosidade em
uma superfcie chamado de cut-off (
c
). A Figura 1.2 demonstra que o valor selecionado
para o cut-off influencia fortemente o resultado final da analise de uma superfcie.
(MUMMERY, 1992)


Figura 1.2 - Perfil de rugosidade e ondulao de acordo com o filtro cut-off utilizado.
(MUMMERY, 1992)

Os parmetros topogrficos possuem a capacidade de descrever uma superfcie
atravs de valores numricos. Estes so calculados utilizando frmulas e filtros matemticos
e estatsticos, preestabelecidas em normas tcnicas. Uma vez que estes parmetros tentam
reduzir todas as informaes contidas em uma superfcie para um nico nmero, muito
cuidado deve ser tomado na aplicao e ao interpret-las.
Por conveno, todos os parmetros de rugosidade bidimensionais (2D) so
representados pela letra R seguido por caracteres adicionais ao ndice, enquanto que para
os parmetros tridimensionais usa-se o prefixo S. O ndice identifica o parmetro, por
exemplo: Ra a mdia aritmtica do perfil de rugosidade e Sa a mdia aritmtica da
rugosidade tridimensional (3D). Uma grande quantidade de parmetros de topografia de
superfcie est disponvel para os analisadores. Para duas superfcies com diferentes
caractersticas de rugosidade, os resultados para cada uma delas devem indicar valores
5
diferentes. Casos estes valores no apresentem diferena, a medio est sem sentido e
outro parmetro deve ser selecionado para comparaes. Portanto, ao se escolher os
parmetros, deve-se levar em conta a sua sensibilidade em medir e representar as
caractersticas da superfcie.
Para se realizar as anlises quantitativas, neste trabalho, foram utilizados parmetros
topogrficos que permitem a caracterizao quanto a: amplitude, amplitude em funo de
rea (hbrido) e funcionabilidade da superfcie. A anlise por estas trs classes de
parmetros topogrficos possui a capacidade de caracterizar completamente uma topografia
de superfcie. Desta forma utilizou-se o parmetro de amplitude Sq (Desvio quadrtico
mdio), o parmetro hbrido Sdq, que relaciona a inclinao mdia das irregularidades e o
parmetro funcional Sbi que descreve a capacidade de suporte mecnico da superfcie. Os
parmetros topogrficos utilizados neste trabalho basearam-se em normas para parmetros
da rugosidade de perfis, Norma Tcnica ISO 11562 de 1997 e ISO 4287 de 1998.
O parmetro topogrfico de amplitude Sq descreve basicamente a varincia da
topografia superficial, em relao a um plano mdio. E pode ser determinado pela Eq. (1.1).



onde: Z
jk
o valor dos pontos da matriz e M e N nmero de colunas e linhas da matriz.

O parmetro hbrido Sdq informa o desvio quadrtico mdio para a inclinao da
superfcie. Este parmetro relaciona a amplitude com rea varrida nas direes dos eixos x
e y e pode ser determinado pela Eq. (1.2)



onde: Z(x
i
, y
j
) o valor numrico dos pontos da matriz, M e N nmero de colunas e linhas da
matriz, x variao na direo do eixo x e y variao na direo do eixo y.

O parmetro funcional de suma importncia para se determinar a maioria das
interaes das superfcies em engenharia. Entendendo que a superfcie real compreende
uma rea tridimensional, conclui-se que a informao necessria para descrever as suas
funes deve ser similarmente em trs dimenses. O carregamento real de contato entre
(1.1)
(1.2)
6
duas superfcies menor que 5% da sua rea nominal. O parmetro funcional Sbi,
determina o ndice de apoio da superfcie e definido como sendo a razo entre os
parmetros do desvio quadrtico mdio (Sq) e a altura da superfcie a 5% da rea de
mancal, a Eq. (1.3), descreve este parmetro.



onde: um funo de densidade de probabilidade da supefcie residual.

Um valor alto do Sbi indica que a superfcie em anlise possui boa propriedade de
mancal.


1.1 - Tcnicas de Caracterizao Topogrficas

Tcnicas de caracterizao topogrficas so bastante utilizadas na indstria e em
pesquisas acadmicas para controle funcional de superfcies, estas podem ser divididas em
dois grupos com relao representatividade. Pode-se analisar uma superfcie atravs de
um perfil bidimensional (2D) que tenha a capacidade de descrever a topografia da superfcie
analisada ou atravs de uma representao tridimensional da superfcie (3D). A
caracterizao topogrfica de superfcies em trs dimenses ganha novos adeptos a cada
dia, pois garante uma maior representatividade da superfcie analisada do que as tcnicas
em duas dimenses.
Outra subdiviso relacionada s tcnicas de topografia est ligada ao modo de
varredura do equipamento. Pode-se realizar uma varredura da amostra por contado,
utilizando um apalpador mecnico, como demonstrado pela Figura 1.3 ou varredura sem
contato, utilizando feixe de luz.


Figura 1.3 Rugosmetro de contato. (Fonte: Site Mitutoyo Sul Americana.)
(1.3)
7
Segundo De Mello e colaboradores (2006), tcnicas de medio ptica possuem
uma vantagem com relao aos mtodos de avaliao de superfcies com apalpadores
mecnicos: elas evitam o contato entre mensurando e mensurado e consequentemente no
caracterizam o ensaio como destrutivo.
A conseqncia deste contato pode acarretar numa alterao da superfcie medida,
a ponta do apalpador pode riscar a superfcie da amostra tambm sofrer desgaste
provocado por este contato, que por sua vez induz erros de medies sistemticos.
Em tcnicas pticas, as modificaes superficiais da amostra pela ao da fonte de
luz na varredura ocorrero eventualmente ao se selecionar fontes inadequadas para a
anlise de materiais orgnicos, como polmeros. Neste caso, a seleo de uma fonte laser
com potncia relativamente alta tambm poder danificar a superfcie da amostra.
As tcnicas pticas de topografia de superfcie que utilizam luz monocromtica
possuem uma capacidade de penetrao nas estruturas da topografia relacionada ao
comprimento de onda desta fonte de luz. Equipamentos pticos modernos dispem de
fontes laser com comprimento de onda da ordem de 400 nm.
A resoluo dos equipamentos de caracterizao topogrfica est intimamente
relacionada esta capacidade de penetrao da luz ou ao raio de ponta dos apalpadores
mecnicos. Equipamentos convencionais de caracterizao por contato possuem
apalpadores com raio de ponte da ordem de micrometros, porm equipamento como o
microscpio de fora atmico, denominado como um equipamento no convencional de
caracterizao topogrfica por contato possui apalpadores com raio de ponta da ordem de
nanometros. (Site: nanoScience Instruments)


1.2 Interfermetro Laser

O Interfermetro Laser (IL) trata-se de um equipamento de caracterizao de
topografia de superfcie por medio ptica, o seu princpio de funcionamento basea-se na
varredura do feixe laser sobre a amostra, onde o foco continuamente ajustado de acordo
com a superfcie varrida. O clculo para se determinar a variao no eixo Z realizado pela
comparao entre as fases da onda eletromagntica do feixe de luz incidente e do refletido
na superfcie da amostra.
Pela Figura 1.4 observa-se o funcionamento do interfermetro laser. A partir de um
diodo laser (1) realiza-se a varredura da amostra, este feixe passa por um prisma (2) que
possui a funo de refletir parte do sinal para um foto diodo (5) e outra parte do sinal para
um divisor de feixe (3) que direciona o feixe para a amostra (13). Neste caminho ptico
8
existe uma controladora PZT (6) com a funo de ajustar o foco sobre a amostra, uma lente
convergente (9), dois colimadores do feixe ptico (7 e 8), um tubo ptico (11) e uma objetiva
(10), este conjunto ptico possui a funo de colimar e focalizar opticamente o feixe sobre a
amostra.
A luz refletida proveniente da amostra retorna pelo mesmo caminho ptico ao foto
diodo que registra a diferena de fase entre o feixe original e o refletido. Atravs deste sinal
constri-se virtualmente a topografia da superfcie varrida. Para varredura, uma mesa com
resoluo submicrometrica tem a funo de deslocar a amostra.


Figura 1.4 Esquematizao do funcionamento um IL. (Fonte: Manual UBSoft, 1990)

A interface com o usurio para este IL realizada atravs de um sistema de medio
(12) que indica a aproximao do feixe laser do seu ponto focal ao se deslocar a amostra
verticalmente. A placa controladora (14) realiza a funo de conversor de sinal que ser
tratado por um processador. Para se visualizar a amostra antes do processo de varredura
existe um microscpio comum, este constitudo por uma fonte de iluminao (15), uma
janela ptica e uma cmera digital. (16)
Neste trabalho foi utilizado o Interfermetro Laser Microfocus Expert IV do fabricante
UBM. (Figura 1.5). Este equipamento possui resoluo lateral de 0,1 m, resoluo vertical
de 60 nm.
9

Figura 1.5 - Interfermetro Laser Microfocus Expert, fabricante UBM.


1.3 - Microscopia de Fora Atmica

A Microscopia de Fora Atmica (AFM, do ingls) trata-se de outra tcnica de
caracterizao de superfcie por varredura. Esta tcnica utiliza uma sonda de varredura de
altssima resoluo vertical, da ordem de fraes de um nanometro. O microscpio de fora
atmica uma das ferramentas mais importante para gerao de imagens e manipulao
da matria em escala nanomtrica.
As informaes so obtidas pela varredura de um cantilever, este possui uma sonda
em sua extremidade constituda tipicamente de silcio ou nitreto de silcio. A sonda possui
uma ponta de raio de curvatura da ordem de 10 nanometros. Quando esta colocada
prximo superfcie da amostra, foras entre a ponta e a amostra levam a um desvio do
cantilever.
Um AFM possibilita a medio de fora de contato mecnico, foras de Van der
Waals, foras capilares, fora de ligao qumica, foras eletrostticas e foras magnticas.
Para se construir uma imagem pelo AFM utiliza-se o mapeamento das deflexes do
cantilever, o sinal do feixe laser reflete na parte superior do mesmo e este captado por
uma matriz de fotodiodos. (Figura 1.6)
Neste trabalho foi utilizado o microscopio de fora atmica modelo XE-70 de
fabricao da Park System

. (Figura 1.7)
Em condies ideais, esta tcnica permite resoluo lateral em nvel atmico e
resoluo vertical da ordem de 1 nm.
10


Figura 1.6 Esquematizao do Microscpio de Fora Atmica (AFM). (Fonte: Site
nanoScience Instruments)



Figura 1.7 AFM modelo XE-70, fabricante Park System

. (Fonte: Manual XE-70)

11
1.4 - Microscopia Confocal de Varredura Laser

O microscpio confocal nasce do microscpio de campo amplo, este possui origem
secular e trabalha com iluminao da amostra em estado saturado, ou seja, neste sistema a
iluminao realizada acima do plano da amostra, deste modo a luz branca viaja ao longo
do eixo ptico at ser focalizada na amostra pela objetiva. (Figura 1.8)


Figura 1.8 Esquematizao do funcionamento do microscpio de campo amplo.

A amostra visualizada pela luz que nela reflete. A Figura 1.9 demonstra um
exemplo de microscpio de campo amplo, esta tcnica bastante utilizada em anlises de
microestruturas em metalografia.


Figura 1.9 Exemplo de um microscpio de campo amplo.
12
O conceito de imagem confocal foi patenteado por Marvin Minsky em 1957, sendo a
tcnica imagiolgica desenvolvida por ele em 1955. (Figura 1.10)
Marvin Minsky, enquanto estudante de ps-doutoramento na Universidade de
Harvard, construiu um microscpio com o objetivo de obter uma imagem de redes de clulas
neurais, utilizando preparaes no coradas, ou seja, tecidos no dopados por substancias
fluorecentes.


Figura 1.10 Marvin Minsky - U.S. Patent 3,013,467 de 07 de novembro de 1957.
(MINSKY, 1961)

Confocal definido como ter o mesmo foco. O microscpio confocal elimina a
informao fora do foco por meio de uma abertura circular (pinhole) situada em frente ao
plano da imagem, este age como um filtro espacial e permite a passagem apenas da parte
de luz proveniente do plano focal.
Apesar do funcionamento do microscpio confocal ser semelhante ao do microscpio
de campo amplo, a microscopia confocal possibilita aumentar o contraste da imagem,
permite tambm construo de imagens tridimensionais e proporcina grande definio da
mesma. A tcnica de microscopia confocal utiliza uma combinao de recursos de
microscopia ptica aliada a princpios de computao, aquisio de sinal e processamento
de dados. Existem trs tipos de Microscpios Confocais comercialmente disponveis:

O Laser Scanning Confocal Microscope (LSCM), o modelo mais utilizado devido
elevada qualidade de imagem que permite a obteno de imagens de alta resoluo
atravs de cortes pticos, posteriormente agrupados para se fazer a reconstruo
tridimensional da topografia de objetos complexos;
Spinning-Disk Confocal Microscope, utiliza um disco de Nipkow (disco rotativo com
aberturas circulares dispostas numa espiral em torno da sua borda, onde a luz que
passa atravs dos orifcios produz um padro de digitalizao (EGNER et al., 2001). A
velocidade de construo de imagens maior que o LSCM, sendo, por isso, til em
observaes dinmicas;
13
Programmable Array Microscope (PAM), neste, o sistema ptico utiliza microscopia de
fluorescncia, o campo todo iluminado, enquanto o Microscpio Confocal focaliza
somente um ponto em determinada profundidade na amostra.

O sistema de microscopia confocal desenvolvido neste trabalho trata-se de um
LSCM. A Figura 1.11 mostra o funcionamento deste microscpio, que utiliza um feixe laser
para varrer a amostra. Transladando o ponto focal, produzido pela objetiva, mantendo a
profundidade de foco possvel iluminar toda a superfcie em estudo, ponto a ponto. A luz
refletida na amostra retorna pelo mesmo caminho ptico at passar pela abertura circular. A
luz proveniente do plano focal da imagem detectada e os sinais gerados so processados
com a finalidade de se construir uma imagem virtual da superfcie varrida pelo laser.


Figura 1.11 - Princpio de funcionamento do LSCM. (Fonte: Site da Carl Zeiss Microscopy,
Jena)

14
Esta tcnica vem adquirindo grande popularidade, pois comporta uma gama infinita
em aplicaes cintificas. O microscopia confocal de varredura laser mostra-se adequada
em anlise de superfcies de materiais metlicos, polimricos, biolgicos, cermicos e
semicondutores.
Os objetivos deste trabalho consistem em desenvolver um microscpio confocal de
varredura laser e caracterizar a topografia de superfcie de amostras realizando
comparaes entre os resultados obtidos em outros equipamentos, como: Interfermetro
Laser e Microscpio de Fora Atmica.
A Tabela 1.1 demonstra uma breve comparao entre as trs tcnicas utilizadas
neste trabalho, os nmeros apresentados so valores referentes s melhores configuraes
disponveis no mercado.

Tabela 1.1 - Comparao entre as tcnicas de Microscopia Confocal, Interferometria Laser e
Microscopia de Fora Atmica.
TCNICAS

INTERAO
DIRETA*
RESOLUO
LATERAL
VELOCIDADE
VARREDURA
REA
VARRIDA
CONFOCAL** NO 200 nm 2 m
2
/s 10
3
mm
2
INTERFERMETRIA NO 200 nm 2 m
2
/s 10
3
mm
2
AFM SIM 10 nm 0,5 m
2
/s 10
-2
mm
2
* Envolve foras entre mensurando e mensurado.
** Microscpio confocal utilizando motor de modo contnuo como transladador.
15



CAP TULO I I



DESENVOLVIMENTO


O processo fsico da microscopia confocal se apia no fenmeno de reflexo, que
consiste no fato da luz voltar a se propagar no meio de origem aps incidir sobre um objeto
ou superfcie. Os fenmenos onde ocorre reflexo, tanto regular quanto difusa, obedecem a
duas leis fundamentais:

1 lei da reflexo: O raio de luz refletido e o raio de luz incidente, assim como a reta normal
superfcie so coplanares.

2 Lei da reflexo: O ngulo de reflexo (r) sempre igual ao ngulo de incidncia (i). (i = r)
(Figura 2.1)


Figura 2.1 Representao do processo fsico de reflexo da luz. (NEWTON, 2002)

O fenmeno da reflexo consiste na mudana da direo de propagao da energia,
desde que o ngulo de incidncia no seja zero. (FEYNMAN et al., 1977)
No caso especfico da montagem ptica do microscpio confocal o ngulo de
incidncia zero, o que tem como conseqncia o retorno da energia incidente em direo
regio de onde ela oriunda, aps entrar em contato com uma superfcie refletora.
16
Este trabalho trata de um aparato de microscopia ptica como uma tcnica para
caracterizao de superfcies. Apesar de tcnicas pticas possurem origens seculares, o
microscpio ptico ainda um dos instrumentos mais versteis para resolver padres
caractersticos da ordem de micrometros. Um microscpio ptico em sua constituio
simples formado por trs elementos: uma fonte de luz, um sistema ptico de ampliao e
um estgio de visualizao. (Figura 2.2)
A complexidade total do sistema aumentada quando se tenta melhorar a
capacidade de ampliao e a qualidade de imagem.
A microscopia confocal, em particular, emprega uma tcnica ptica que incrementa o
contraste e constri imagens tridimensionais utilizando uma abertura circular, tambm
denominado de pinhole espacial ou pinhole confocal. A Figura 2.3 mostra a abertura circular
colocada no plano da imagem que possui a funo de eliminar a luz desfocada proveniente
da amostra.


Figura 2.2 Princpio de funcionamento do microscpio simples (microscpio de campo
amplo). (MINSKY, 1988)

17
Em virtude da abertura circular, a quantidade de luz detectada mutio reduzida em
comparao com microscpios de campo amplo, chegando ao mximo de 5% da potncia
proveniente da fonte de luz. Para compensar a baixa intensidade de luz alguns
componentes so incorporados ao microscpio confocal.
Primeiro, o laser, utilizado como fonte de luz em substituio a lmpadas
convencionais, pois produz luz coerente em comprimentos de onda especfico.
Detectores altamente sensveis tambm so empregados no MCVL para auxiliar na
captura deste sinal reduzido. Um sistema transladador faz com que o feixe incidente
percorra a superfcie da amostra.


Figura 2.3 Princpio de funcionamento do microscpio confocal. (MINSKY, 1988)

Pela Figura 2.4 observa-se que o microscpio confocal de varredura laser um
conjunto integrado de equipamentos de ltima gerao.
Componentes de alta tecnologia como microcomputador e softwares so
utilizados no controle dos posicionadores e tambm no armazenamento e tratamento de
dados.
18

Figura 2.4 Equipamentos necessrios ao funcionamento do microscpio confocal de
varredura laser. (Fonte: Site Olympus)


2.1. - Microscpio Confocal de Varredura Laser

A Figura 2.5 demonstra o Microscpio Confocal de Varredura Laser (MCVL)
desenvolvido neste trabalho.


Figura 2.5 Microscpio confocal de varredura laser desenvolvido.
19
O microscpio confocal constitudo de uma complexa montagem instrumental, seu
desenvolvimento integra vrias reas do conhecimento, abordando desde tcnicas de
usinagem, eletrnica, montagem mecnica, programao computacional e montagem ptica
experimental, ou seja, trata-se de um trabalho multi-interdisciplinar. (OLIVEIRA, 2011)
Os principais componentes de Microscpio confocal de Varredura Laser
desenvolvido so:

1. Base e Estrutura do Microscpio;
2. Fonte Laser;
3. Filtro ptico de Intensidade;
4. Sistema de Iluminao da Amostra;
5. Lentes Convergentes;
6. Objetiva;
7. Posicionadores dos Eixos X, Y e Z;
8. Divisor de Feixe;
9. Abertura Circular;
10. Detector;
11. Processador e Software;

2.1.1 Base e Estrutura do Microscpio
Um microscpio deve ter uma boa estabilidade mecnica. Qualquer vibrao entre a
amostra e o corpo do microscpio deve ser reduzida ao mnimo, uma vez que tais vibraes
podem ser aumentadas pelo prprio fator de ampliao do microscpio. Em outros
instrumentos uma vibrao de milsimos de milmetro entre as partes pode ser
completamente desprezvel, mas em um microscpio isto poderia se tornar uma
caracterstica muito indesejvel. Assim, a base e o brao de um microscpio devem fornecer
uma estrutura rgida de suporte para a plataforma de amostra e o corpo como um todo e que
seja suficiente para resistir s vibraes normais presentes no ambiente.
As partes constituintes da estrutura, peas e acessrios mecnicos desenvolvidos
para montagem do microscpio confocal foram usinadas na oficina do Instituto Fsica da
Universidade Federal de Uberlndia. Outros foram adquiridos em empresas de
desenvolvimento tecnolgico voltadas para pesquisa e desenvolvimento.
A Figura 2.6 mostra a estrutura do microscpio confocal, esta utiliza chapa de Ao
ABNT 1020 e alumnio usinadas, ps anti-vibrao de fabricao da Vibramat (Figura 2.6.a)
e carrinhos de deslizamento e fixao de fabricao da Optron (Figura 2.6.b).

20

- a - - b -
Figura 2.6 Estrutura do microscpio confocal desenvolvido.

2.1.2 - A Fonte Laser
Foram testadas trs fontes laser na montagem do microscpio confocal. Primeiro foi
testado um diodo laser de 630 nm, faixa espectral do vermelho, posteriormente testou-se um
diodo laser de 532 nm, faixa do verde e um terceiro diodo na faixa do violeta-azul, com
comprimento de onda de 405 nm. (Figura 2.7)


Figura 2.7 Espectro eletromagntico, em destaque, faixa de espectro visvel. (JACKSON,
1999)

21
Em trabalhos recentes Monte; Cruz; Morais (1997) afirmam que para aplicao em
materiais opacos quanto menor o comprimento de onda, menor a difrao e maior a
resoluo.
O diodo verde apresentou bons resultados, porm o seu sistema apresentava
aquecimento de um cristal interno responsvel por dividir o comprimento de onde gerado
pelo diodo (1064 nm) e isto provocava uma variao da intensidade do laser durante a
varredura. Esta variao de intensidade inadmissvel em microscopia confocal, pois a
construo da imagem carregar tais variaes. O diodo laser vermelho possui grande
aplicabilidade em estruturas translcidas, como biolgicos, onde a absoro da luz maior.
Assim, o microscpio confocal desenvolvido para analise de superfcies utiliza como
fonte de emisso um diodo laser de 405 nm e potncia 85 mW, construdo com Nitreto de
Glio (GaN) em orientaes no polares (Figura 2.8), este diodo laser combinado com um
conjunto ptico aperfeioa a qualidade da imagem e limita a formao de aberraes
pticas. O resultado a melhor resoluo disponvel no mercado, resolvendo padres de
0,2 m entre linhas.


Figura 2.8 Diodo Laser LQC405-85E utilizado na montagem do microscpio confocal.

A Figura 2.9 mostra que para o diodo laser utilizado nesta montagem o pico principal
possui comprimento de onda de 412,61 nm.


Figura 2.9 - Espectro de emisso do diodo laser utilizado na montagem do microscpio
confocal.
22
A Tabela 2.1 mostra as caractersticas do diodo laser utilizado na montagem do
microscpio confocal.

Tabela 2.1 Caractersticas do diodo laser utilizado na montagem do microscpio confocal.
Modelo LQC405-85E
Tipo Mdulo Contido
Comprimento de Onda 405* nm (412,61 nm)
Potncia de sada 85 mW
Dimetro do Feixe (elptico) 1,5 x 5,25 mm
ngulo de Divergncia do feixe <1,5 x 0,7 mrad
Rudo < 0,5%
Estabilidade de energia Variao < 1% por 8 horas
Centro de Tolerncia 10 nm
Corrente mxima de operao 3000 mA
Fonte de Alimentao 12 VDC
Temperatura de Operao 0 a 40 C

2.1.3 Filtro ptico de Intensidade
O filtro de intensidade de densidade de absoro neutra utilizado para diminuir a
intensidade do feixe laser sobre a amostra, para que no ocorra saturao do sinal no
detector e efeitos pticos no desejados. Na montagem utilizou-se filtros de intensidade
marca ThorLabs (modelos NE510A, NE520A, NE530A, NE540A), substituidos conforme
alinhamento realizados e do tipo de superficie a ser digitalizada. (Figura 2.10)


Figura 2.10 Filtro de intensidade de densidade neutra NE510A, marca ThorLabs, utilizado
na montagem do microscpio confocal.

O filtro de densidade neutra um filtro ptico que reduz a intensidade de todos os
comprimentos de onda de forma uniforme. Sua utilizao aumenta a flexibilidade ao realizar
alteraes em outras configuraes pticas do microscpio confocal, como, por exemplo,
mudana do comprimento de onda do laser. (Figura 2.11)
23

Figura 2.11 Espectro de intensidade do feixe laser, indicando potencia do laser com
relao ao filtro de intensidade.

Na montagem do microscpio confocal o filtro de densidade neutra possui a funo
de minimizar o efeito da difrao na superfcie da amostra. O fenmeno da difrao da
radiao eletromagntica conseqncia da natureza ondulatria da luz, a qual pode ter
suas frentes de onda distorcidas por um obstculo de dimenses comparveis ao seu
comprimento de onda, este objeto pode ser uma abertura em um anteparo ou a quina de um
objeto opaco no caminho percorrido pelo feixe de luz. A difrao no caso particular do
microscpio confocal ocorre nas estruturas pertencentes topografia da superfcie da
amostra.
Este fenmeno est relacionado com as propriedades de ondas ao transportarem
energia de um ponto ao outro do espao. Segundo o princpio de Huygens (KLEIN;
FURTAK, 1986) a variao dos comprimentos totais atravessados por diversas ondas
oriundas da original se recombinam ao passar por um dado ponto do espao. Ao passarem
por esse ponto do espao, ondas difratadas de uma mesma origem tm a mesma fase e por
isso pode interagir uma com a outra naquele ponto. A recombinao se processa porque as
ondas, exibindo propriedades peridicas ao longo do espao e ao longo do tempo
combinam seus mximos e mnimos de amplitude de uma maneira que depende do total de
ondas interagentes e das distncias totais percorridas.
Na construo da imagem por microscopia confocal o resultado depende da variao
destas combinaes, por exemplo: dois extremos, um mximo de amplitude se combina
com um mnimo, produzindo uma anulao parcial ou total da energia da onda; por outro
lado, dois ou mais mximos ou mnimos se encontram, a energia observada maior.
A Figura 2.12 demonstra imagens construdas via microscopia confocal, onde
observado o fenmeno de difrao da luz nos obstculos da topografia da amostra. A Figura
2.12.a foi construda utilizando o microscpio confocal com filtro ptico de densidade neutra
24
NE510A, a imagem representa a estrutura real da topografia da amostra. Para demonstrar o
efeito da difrao na microscopia confocal foi construdo uma imagem na mesma regio,
porm sem a utilizao do filtro de intensidade, a Figura 2.12.b mostra o artefato de imagem
construdo pelo fenmeno de difrao nas quinas das trilhas que constituem a topografia da
amostra.


Figura 2.12 Imagens geradas em uma mesma rea; (a) utilizando filtro de intensidade e (b)
sem o filtro.

A superfcie desta amostra possui estruturas da ordem de 300 nm, que so
compatveis com o comprimento de onda do laser utilizado para varrer a amostra (410 nm).
Alm da utilizao do filtro ptico de densidade neutra, outra forma de se diminuir o efeito da
difrao, seria diminuir o comprimento de onda da fonte laser. Por outro lado, a difrao
seria muito menor ou nenhuma caso os obstculos possussem estruturas acima de 500 nm.
Pela Figura 2.12.b observa-se a suavidade da superfcie construda, caracterstica do
fenmeno de difrao da luz. Sem a utilizao do filtro ptico o fenmeno amplificado, pois
a amostra passa a ter um estado saturado de luz, ou seja, a quantidade excessiva de luz
aumenta a difrao na superfcie da amostra.





- a -







- b -
25
2.1.4 - Sistema de Iluminao da Amostra
Com a finalidade de observar a superfcie da amostra antes da varredura foi
incorporado ao microscpio confocal um microscpio de campo amplo (Figura 2.13).


Figura 2.13 Esquematizao da montagem utilizada para o microscpio de campo amplo.

O microscpio de campo amplo um sistema de iluminao que utiliza uma fonte de
luz branca (banda larga) com a finalidade de obtermos a imagem da superfcie da amostra,
para isto utilizou-se uma lmpada de filamento de tungstnio com potncia de 20 watts e
uma fonte onde se controla a corrente na mesma; desta forma pode-se observar a superfcie
da amostra em anlise e tambm possibilita a seleo da regio a ser varrida. A imagem
capturada por uma cmera digital CCD (charge-coupled device) e visualizada atravs de
uma tela de cristal lquido. (Figura 2.14)


Figura 2.14 Imagem da tela de cristal lquido demonstrando uma chapa metlica
texturizada - detalhe do feixe laser sobre a amostra.
26
2.1.5 Lente Convergente
Em uma lente esfrica com comportamento convergente, a luz que incide
paralelamente entre si refratada, tomando direes que convergem a um nico ponto.
(KLEIN; FURTAK, 1986). Tanto lentes de bordas finas como de bordas espessas podem ser
convergentes, dependendo do seu ndice de refrao em relao ao do meio externo. No
caso mais comum, a lente possui ndice de refrao maior que o ndice de refrao do meio.
(Figura 2.15)


Figura 2.15 Demonstrao da ptica geomtrica em uma lente convergente (biconvexa).
(NEWTON, 2002)

Uma lente convergente biconvexa foi instalada na montagem do microscpio
confocal com a finalidade de colimar o feixe proveniente de diodo laser. O objetivo desta
lente convergir o feixe laser para a objetiva.

2.1.6 Abertura Circular
Para o funcionamento do microscpio confocal, a abertura circular possui
importncia fundamental. Esta abertura funciona com um filtro espacial que elimina a luz
proveniente da amostra e que esteja fora do ponto focal. (Figura 2.16)


Figura 2.16 Esquematizao da funo da abertura circular.

27
Em um primeiro momento pode-se entender que para aplicao da abertura circular
em microscopia confocal deve-se seguir o raciocnio de quanto menor o dimetro da
abertura, menor a espessura do plano focal, portanto maior qualidade da imagem. Porm,
uma abertura circular muito pequeno, com dimetro inferior a 20 m, poder eliminar
tambm a luz necessria para a formao da imagem. (SHEPPARD et al., 1997)
Para aplicao em microscopia confocal, a abertura deve bloquear a luz proveniente
de pontos acima ou abaixo do plano de focal. Uma abertura espacial com dimetro maior
que o ideal reduz o efeito ptico deste corte, bem como proporciona a captura de mais
ftons pelo detector. A escolha de uma abertura circular com dimetro abaixo do ideal
eliminaria grande parte do sinal necessrio para formao da imagem. Uma forma de
minimizar este efeito seria aumentar a potencia do laser, porm este ato levaria saturao
do sinal. Pois o mximo central do padro Airy, regio delimitada pela primeira mnimo do
padro de Airy contm 84% da energia luminosa proveniente da fonte. (NATHAN et al.,
2009)
O padro de Airy um fenmeno ptico relacionado mecnica de funcionamento
da abertura circular. Devido natureza ondulatria da luz, quando ela passa por uma
abertura circular a luz difrata, produzindo um padro de interferncia de regies claras e
escuras. O padro de difrao resultante de uma abertura circular possui uma regio central
conhecido como o disco de Airy rodeado por uma srie de anis concntricos, chamado
padro de Airy (ambos nomeados em homenagem ao astrnomo George Biddell Airy).
(Figura 2.17)


Figura 2.17 Representao do padro de Airy, padro de difrao contendo um mximo
central (ordem zero) cercado por discos concntricos. (Fonte: Site Zeiss)

Em uma primeira etapa da montagem do microscpio confocal, uma fibra ptica com
dimetro de 50 m foi utilizada como abertura circular espacial. (Figura 2.18)

28


Figura 2.18 Montagem utilizando fibra ptica de 50 m como abertura circular.

A substituio da fibra ptica foi necessria para simplificar a estrutura do
microscpio, neste ponto o detector foi acoplado diretamente na estrutura do microscpio e
uma abertura circular de 50 m foi acoplado na entrada ptica de detector. (Figura 2.19)


Figura 2.19 Montagem utilizando uma abertura circular fixado diretamente na entrada do
detector.

A abertura circular utilizada na montagem do microscpio confocal fabricada em
uma chapa de ao inoxidvel 302 (no magntico) com espessura de 12,5 m, esta chapa
est alojadas em uma estrutura de alumnio com dimetro externo de 25,4 mm. O dimetro
da abertura de 50 m. (Figura 2.20)
29

- a - - b -
Figura 2.20 Abertura utilizada na montagem do microscpio confocal (a). Imagem da
abertura por microscpio eletrnico de varredura (b). (Fonte: Site Thorlabs

)

2.1.7 Objetiva
A objetiva a responsvel pela formao da imagem. A abertura numrica da
objetiva (AN) determina o diametro do feixe laser sobre a amostra. Esta abertura numrica
juntamente com o comprimento de onda da luz incidente so os principais responsveis pela
resoluo do microscpio confocal. A AN de uma objetiva informa sua capacidade de captar
a luz e resolver detalhes a uma distncia fixa do objeto. (HAMILTON et al., 1986)
Um cone de luz se forma entre a lente da objetiva e a amostra. O ngulo de
formao deste cone de luz determina o valor da distncia de trabalho da objetiva (Figura
2.21)


Figura 2.21 Representao do cone de luz formado pelo conjunto lentes da objetiva.
(Fonte: Site Olympus)
30
O ngulo est relacionado com a AN atravs da seguinte Eq. (2.1).

AN = n . sen ()

Onde n o ndice de refrao do meio (entre a lente da objetiva e o plano da
amostra).
Pela Eq. (2.1) verifica-se o valor da AN diretamente proporcional ao ndice de
refrao do meio. O valor do ndice de refrao pode variar entre 1,00 para o ar e a 1,51
para os leos de imerso especializados.
Para uma objetiva com funcionamento ao ar, o valor terico mximo para abertura
numrica de 1,00, na prtica difcil alcanar valores acima de 0,95 para abertura
numrica com objetivas a seco.
Segundo Sheppard e Wilson (1979) a formao de aberraes pticas em objetivas
est diretamente relacionada capacidade de ampliao de uma objetiva. Em geral,
objetivas com fator de ampliao superior a 10X tendem a apresentar aberraes esfricas
e cromticas. Estes defeitos na imagem so minimizados em microscopia confocal, uma vez
que esta tcnica utiliza fontes monocromticas e a formao da imagem realizada ponto a
ponto, ou seja, se captura um ponto luminoso proveniente do plano focal por vez.
Pelo critrio de Rayleigh, a resoluo de uma objetiva se determina pela capacidade
de separao entre dois discos Airy, ou seja, a capacidade de se distinguir o mximo central
do primeiro mnimo entre dois pontos. (Figura 2.22).


Figura 2.22 - Dois discos de Airy e suas distribuies de intensidade no limite de resoluo
ptica. (WILHELM, 2011)
(2.1)
31
A distncia entre os mximos centrais deve ser maior que a largura dos mesmos,
portanto, objetivas que possuem uma maior AN so capazes de produzir pequenos discos
de Airy. (Figura 2.23).


- a - - b - - c -
Figura 2.23 - Efeito da abertura numrica sobre a formao dos discos de Airy. (Fonte: Site
Zeiss)

Pela Figura 2.23 observa-se que quanto maior a abertura numrica de uma objetiva,
menor ser a formao do disco de Airy. A Figura 2.23.a mostra uma objetiva com o menor
valor para AN com relao s demais (2.23.b e 2.23.c), esta objetiva possui a maior
formao do disco de Airy. Esta a principal razo pela qual uma objetiva de alto valor da
AN ser capaz de minimizar aberraes pticas, alm de possuir maior capacidade de
distinguir dois pontos.
A montagem do microscpio confocal para analise de topografia de superfcies utiliza
uma objetiva fabricada pela Mitutoyo, ampliao de 10 vezes e AN de 0,3.

2.1.8 Resoluo do Microscpio Confocal
Resoluo de um microscpio a capacidade deste em distinguir dois pontos ou
partes de um objeto. A equao abaixo define o limite de resoluo (LR) de um microscpio
ptico segundo o critrio de Rayleigh.



onde, o comprimento de onda do laser e AN a abertura numrica da objetiva.
(2.2)
32
Pela Eq. (2.2) verifica-se que quanto maior a AN melhor o limite de resoluo.

Pelas
caractersticas da objetiva utilizada na montagem do microscpio confocal (AN = 0,3060), o
calculo terico para o LR da objetiva utilizada 0,8173 m.

Segundo Toy (1990) em microscopia confocal, devido captura de um nico ponto
em um nico no plano focal a resoluo lateral deste equipamento otimizada em
aproximadamente 30% em comparao com microscpio comum. Devido ao estreitamento
espacial da funo intensidade no ponto, o limite de resoluo para o microscpio confocal
desenvolvido pode ser estipulado em 0,5359 m.
Em testes realizados no microscpio confocal utilizando objetiva de 20 vezes e AN
de 0,4, pode-se estimar o limite de resoluo em 0,4 m.
O limite de resoluo do conjunto ptico utilizado na montagem do microscpio
confocal est relativamente prximo do limite de resoluo imposto pelas limitaes fsicas,
que 0,2 m para objetiva montada a seco, onde a AN de aproximadamente 0,8 e o
comprimento de onda na faixa do ultravioleta ( ~ 380 nm).

2.1.9 Transladadores
Para se realizar a varredura da amostra pelo laser necessrio transladar a amostra.
Para montagem do microscpio confocal foi utilizado um transladador piezoeltrico, modelo
Nano Max302 TS e controladora 3-Axis Piezo Controller MDT-302, ambos marca Thorlabs.
(Figura 2.24 e 2.25)


Figura 2.24 Transladador piezoeltrico utilizado na montagem, modelo Nano Max302 TS -
Thorlabs.

O principio de funcionamento do transladador Nano Max302 basea-se na dilatao
em trs direes de um cubo cermico piezoeltrico. A Tabela 2.2 mostra caractersticas
deste componente do microscpio confocal, onde a mais relevante para este trabalho a
repetibilidade, ou seja, a capacidade do equipamento retornar ao ponto de origem, com um
desvio mnimo, aps um deslocamento.
33
Tabela 2.2 Caractersticas do piezo posicionador Nano Max302 TS. (Fonte: Site Thorlabs)
Modelo Nano Max302 TS
Capacidade de Carga 1 Kg
Faixa do Piezoeltrico 10 ou 20 m
Faixa do Ajuste Fino (Manual) 4 mm
Repetibilidade (RMS) 15 nm
Fora de Atuao do PZT 250 N
Dimenses Larg. x Comp. x Alt. 110 X 110 X 62.5 mm
Dimenses da Plataforma 60 x 60 mm

O piezo atuador translada a amostra e a unidade de digitalizao detecta o sinal do
feixe refletido na amostra, este sinal detectado ponto a ponto (eixo X) e linha por linha
(eixo Y) como representado na Figura 2.26.


Figura 2.25 Ilustrao do piezo atuador e sistema de ajuste manual. (Fonte: Manual
Thorlabs

- Nano Max302 TS.)

Figura 2.26 Representao do movimento do transladador piezoeltrico.
34
2.1.10 Divisor de Feixe
Na primeira montagem do MCVL o modo de seleo de imagem para o detector ou
para o microscpio comum era realizado atravs de um movimento manual de um espelho.
(Figura 2.27.a)
Esta montagem utiliza um espelho seletor que possui a funo de direcionar o feixe
laser para o detector durante a varredura ou devia-lo para a CCD na fase de ajuste da
amostra no equipamento.
Em uma segunda montagem foi adaptado um motor (Figura 2.27.b) ao espelho que
era responsvel por automatizar o processo anterior. A placa controladora mostrada na
figura 2.27.c enviava os comandos para o movimento do espelho seletor de imagem.


- a - - b - - c -
Figura 2.27 Montagem do espelho seletor de imagem. Funcionamento manual (a) e
automatizado (b). Placa controlador modelo R-Control 30, fabricante Rogercom.

As duas montagens mostradas na Figura 2.27 foram abandonadas, pois no
possibilitavam a visualizao simultnea da superfcie da amostra pelo microscpio comum
e a captura do sinal pelo detector.
Neste ponto do trabalho, foram instalados dois divisores de feixe na montagem do
microscpio confocal.
O primeiro divisor de feixe possui a funo de direcionar o feixe proveniente da
reflexo na amostra para o detector. O segundo possui a funo de direcionar o feixe
refletido para a CCD (microscpio comum). (Figura 2.28)
Pela Figura 2.28.a verifica-se na cor verde a representao do feixe incidente, na cor
vermelha, representao do feixe refletido na amostra.
A montagem atual possibilitou o acompanhamento do deslocamento do feixe laser
durante a varredura, porm acrescentou duas pequenas dificuldades, geradas pela perda de
sinal nos divisores de feixe.

35

- a - - b -
Figura 2.28 Distribuio do sinal no divisor de feixe (a). Em destaque os dois divisores de
feixe(b).

Primeiro, a Figura 2.28.a mostra que um quarto do sinal que chegar a este estgio do
microscpio incide sobre a amostra e aproximadamente um quarto do sinal proveniente da
reflexo na amostra chega ao sistema de deteco, ou seja, a cada passagem pelo divisor
de feixe, este distribui 50% da intensidade do feixe em uma direo perpendicular.
A segunda dificuldade encontrada na incorporao do divisor de feixe ao MCVL est
relacionada ao fenmeno de refrao da luz em meio material.
O fenmeno ptico da refrao ocorre quando o feixe de luz transmitido de um
meio para outro com ndice de refrao diferente. Nesta mudana de meios, a frequncia da
onda luminosa no alterada, porm a velocidade e o comprimento de onda so alterados.
Com a alterao da velocidade de propagao ocorre um desvio da direo original. (Figura
2.29)


Figura 2.29 Fenmeno de difrao. (HALLIDAY, 2001)

O Raio 1 o raio incidente, com velocidade e comprimento de onda caracterstico, o
Raio 2 o raio refratado, com velocidade e comprimento de onda caracterstico, a reta
36
tracejada representa a linha normal superfcie, onde o ngulo formado entre o Raio 1 e a
reta normal o ngulo de incidncia. O ngulo formado entre o Raio 2 e a reta normal o
ngulo de refrao. O raio refratado est no plano de incidncia e tem um ngulo de
refrao
2
que est relacionado com o ngulo de incidncia
1
atravs da Eq. (2.3).

n
2
sen
2
= n
1
sen
1

onde n
2
e

n
1
so os ndices de refrao do meio onde a luz est se propagando.

A Eq. (2.3) conhecida como lei de Snell. Na propagao da luz em meios materiais
h a interao da mesma com a matria. Em qualquer meio material a velocidade da
radiao monocromtica (v) menor que a velocidade da radiao monocromtica no vcuo
(c), a Eq. (2.4) determina o valor para o ndice de refrao.



No vcuo o ndice de refrao (n) definido como exatamente 1,0; no caso do ar em
condies normais de temperatura (0C) e presso (1 atm), o valor ligeiramente maior,
sendo que na prtica quase sempre se supe que o valor de n para o ar seja igual a 1,0.
No existe nenhum meio com ndice de refrao menor que 1,0. (HALLIDAY, 2001)
Pela Figura 2.29, n
2
maior que n
1
, e consequentemente
2
menor que
1
. Neste
caso, a refrao desvia o feixe luz, aproximando-o da normal. Este fenmeno ocorre ao
longo do caminho ptico do feixe laser no microscpio confocal. Alm dos divisores de feixe,
a refrao da onda eletromagntica est presente na lente convergente e na objetiva. Para
estes meios pticos utilizados no MCVL calcula-se que o ndice de refrao esteja entre 1,3
e 1,5 (Vidros de baixa disperso e comprimento de onda do laser de 410 nm).

2.1.11 - Aquisio de Sinal
Para se construir a imagem durante a varredura da superfcie da amostra
necessrio um sistema de deteco de sinal que possibilite o registro de cada ponto varrido.
O MCVL necessita de um sistema de deteco com capacidade de integrao da
ordem de milissegundos, do contrrio, o tempo de varredura ser grande o bastante de
forma a inviabilizar a tcnica. Outro ponto importante est relacionado capacidade de
deteco, pois como grande parte da luz eliminada pela abertura circular, o nvel de sinal
relativamente baixo, o que leva a um aumento da relao sinal rudo.
(2.3)
(2.4)
37
Em trabalho recente Pawley (1995) afirma que a realizao de mdias estatsticas de
vrios quadros do mesmo ponto leva a uma melhora da qualidade final da imagem.
Portanto, o tempo de integrao do detector influencia diretamente na qualidade da imagem
construda pelo microscpio confocal, quanto maior este tempo, mais ftons detectados e
menos rudo na imagem. Nos resultados mostrados neste trabalho o tempo de integrao foi
sempre de 100 ms.
No caso do microscpio confocal desenvolvido o detector utilizado foi um
espectrmetro modelo USB4000, fabricado pela Ocean Optics Inc. (Figura 2.30)

Figura 2.30 Espectrmetro Ocean Optics Inc. USB4000, utilizado para montagem do
Microscpio Confocal.

O espectrmetro USB4000 possui um obturador eletrnico para tempos de
integrao de at 3,8 ms. Este espectrmetro utiliza um detector Toshiba de resoluo de
0,1 nm. A Tabela 2.3 mostra outras caractersticas deste acessrio do MCVL.

Tabela 2.3 Caracterstica do espectrmetro marca Ocean Optic, modelo UBSB4000,
utilizado na montagem do Microscpio Confocal. (Fonte: Manual Ocean Optics UBS4000)
Modelo UBSB4000
Dimenses Larg.x Comp. x Alt. 63,3 x 89,1 x 34,4 mm
Peso 190 g
Detector Toshiba TCD1304AP
Faixa do Detector 200 a 1100 nm
Rudo-Sinal 1:300
Conector de fibra ptica SMA 9050,22
Distncia focal 42 mm
Tempo de integrao de 3,8 ms 10 s
Interfaces de computador USB 2.0 - 480 Mbps
Corrente e tenso 250 mA e 5 VDC
38
2.2 Montagem da Imagem Virtual da Superfcie da Amostra

Em trabalho recente Gu (1996) demonstra que construo virtual da superfcie de
uma amostra realizada pelo deslocamento de feixe laser sobre a amostra e pelo
sincronismo da captura do sinal de reflexo sobre a mesma. Para tanto, necessrio que o
feixe translade sobre a superfcie da amostra de forma precisa. (Figura 2.31)


Figura 2.31 Representao esquemtica do sistema de varredura laser sobre a superfcie
da amostra.

Em pontos mais prximos do foco concentra-se maior intensidade de sinal, portanto
a reflexo tambm possui maior intensidade.
O espectrmetro detecta o sinal luminoso proveniente da reflexo na amostra e
converte em sinal digital, este registro montado em uma matriz XY com valores de
intensidade da luz refletida, como demonstrado no exemplo da Figura 2.32.


Figura 2.32 Exemplo de nveis de cinza utilizando imagem 16bits, variao do preto ao
branco (imagem binria). (GU, 1996)

39
Atravs da matriz XY da Figura 2.33.a se obtm a imagem da superfcie da
amostra da Figura 2.33.b. A matriz XY contm em cada clula de sua matriz o valor da
intensidade da reflexo detectada pelo espectrmetro. Na superfcie da amostra (Figura
45.b) foram varridos 75 colunas e 75 linhas, totalizando 5625 pontos.



Figura 2.33 Imagem gerada pelo software LabView

a partir da matriz XY obtida na

varredura.

2.2.1 Software Laser Scanning Confocal Microscope LabVIEW
Para controle e aquisio de dados o MCVL utiliza-se a ferramenta da National
Instruments LabVIEW

. Nesta plataforma foi desenvolvida uma tela de interface com o

usurio, onde se configura os parmetros iniciais de varredura e visualiza-se em tempo real
a criao da imagem virtual da superfcie em anlise. Pela Figura 2.34 observam-se alguns



- a -










- b -


40
dos principais parmetros de entrada: Start Position (Posio inicial dos eixos X e Y); End
Position (Posio final dos eixos X e Y); X-Setp: (Valor do passo nos eixos X e Y); Number
of Surface (Nmero de superfcies a serem construdas); Z-Setp (Valor do passo no eixo Z);
T-Set (Tempo de integrao do espectrmetro); Detection WL (Comprimento de onda a ser
detectado).


Figura 2.34 Tela principal do software Laser Scanning Confocal Microscope LabVIEW

.

A Figura 2.35 amostra a tela do Dark Measurement onde se realiza o ajuste fino
do foco sobre a amostra. Nesta tela verifica-se o faixa de rudo e nvel do sinal detectado
pelo espectrmetro.


Figura 2.35 Tela do Dark Measurement, sinal em tempo real.
41
Neste microscpio confocal o ajuste fino importante na construo de uma
imagem, observe pelo exemplo da Figura 2.36 que a curva de intensidade pelo
deslocamento no eixo Z possui um formato gaussiano, onde o ponto de mximo trata-se do
ponto focal.


Figura 2.36 Demonstrao da aproximao do sinal ao ponto focal.

2.2.2 Determinao do Fundo de Escala do Eixo Vertical
Com a finalidade de determinar o fundo de escala do eixo Z, foi implementada a
tcnica de deslocamento do eixo vertical com a finalidade de induzir uma variao da
intensidade de reflexo para um ponto XY especifico. Esta variao de intensidade
diretamente proporcional ao deslocamento no eixo Z. (Figura 2.37)


Figura 2.37 Imagem demonstrando a varredura no eixo Z em cinco pontos (X
i
, Y
j
) da
matriz.
42
A Figura 2.38 mostra um exemplo onde possvel descrever todas as variveis
utilizadas no calculo do fundo de escala do eixo vertical. Sobre uma amostra padro foi
realizada varredura na direo do eixo Z e tambm na direo do eixo X, pela vista frontal
verifica-se o formato gaussiano da curva e pela vista lateral verificam-se as estruturas da
amostra.
Pela vista lateral observam-se tambm os valores de intensidade no ponto de
mximo da superfcie (I_MAX), a intensidade no ponto de mnimo da superfcie (I_MIN) e
valor mnimo registrado no detector (DARK).


Figura 2.38 Demonstrao da variao da intensidade de reflexo na amostra pelo o
deslocamento no eixo Z.

O valor do deslocamento no eixo Z denominado dZ, para os resultados contidos
neste trabalho seu valor de 10 m. O valor de Z trata-se do valor procurado para o fundo
de escala do eixo vertical.
Com os valores da variao de intensidade e de deslocamento possvel se
determinar o valor do fundo de escala para o eixo vertical. O algoritmo da Figura 2.39
descreve o fluxo de tratamento de dados at se obter este valor.
O algoritmo determina o fundo de escala a partir da variao da intensidade dos
pontos mximos e mnimos da superfcie da amostra. Para isto a Eq. (2.5) descreve o
calculo aplicado.



Onde o fator I a variao entre a intensidade no ponto de mximo da matriz
(I_MAX_M) e o valor mnimo registrado pelo detector (I_MIN_M ou DARK), o dZ o valor do
(2.5)
43
deslocamento real no eixo Z, o valor de di calculador pela variao entre a intensidade do
ponto de mximo da superfcie (I_MAX) e o valor da intensidade para o ponto mnixo da
superfcie (I_MIN), o valor de k determinado como uma constante de correo
experimental, onde seu valor de 0,3183.


Figura 2.39 Algoritmo para se determinar o valor do fundo de escala do eixo Z.

Aps a determinao do fundo de escala do eixo Z possvel idealizar investigaes
voltadas ao estudo da topografia de superfcie, ou seja, o calculo de parmetros
topogrficos de superfcie.
44
2.3 Calculo de Parmetros Topogrficos de Superfcie

Para a determinao de parmetros topogrficos que quantifiquem uma superfcie
existem clculos matemticos e estatsticos baseados em normas tcnicas que estabelecem
definies e procedimentos para a avaliao das mesmas.
A International Organization for Standardization (ISO) uma organizao,
reconhecida e aceita internacionalmente no estabelecimento de normas tcnicas
desenvolvidas e avaliadas no mbito de competncia de suas delegaes nacionais.
O INMETRO representa o Comit Brasileiro de Certificao (CBC) na ISO, ele possui
a responsabilidade de divulgar, avaliar e preservar a aceitao, o uso e integridade da
marca ISO.
A Associao Brasileira de Normas Tcnicas (ABNT) o organismo de certificao
brasileiro, credenciado pelo INMETRO, para atuao em certificao de sistemas de
garantia de qualidade e de produtos no pas.
Com relao aos clculos de parmetros topogrficos de superfcie, no Brasil existe
a norma equivalente a ISO 4287:1998, a ABNT NBR ISO 4287:2002, intitulada
Especificaes geomtricas do produto (GPS) - Rugosidade: Mtodo do perfil - Termos,
definies e parmetros da rugosidade. Esta norma especifica termos, definies e
parmetros para a determinao do estado da superfcie (rugosidade, ondulao e perfil
primrio) pelo mtodo do levantamento do perfil.
Os clculos dos parmetros topogrficos extrados dos equipamentos: microscpio de
fora atmica, interfermetro a laser e microscpio confocal de varredura laser, tiveram seus
dados tratados pelo software Digital Surf Montains Map Universal 3.0.11. Este software de
anlise de topografia de superfcie compatvel com vrios instrumentos de medio de
superfcie e tratam os dados provenientes de medies de acordo as normas tcnicas
internacionais.


2.4 Configuraes Utilizadas nas Tcnicas Experimentais

As imagens geradas pelo AFM foram varridas em 10 x 10 m utilizando o modo no
contato com resoluo real de 10 nm.
As imagens construdas pelo IL neste trabalho foram varridas com taxa de aquisio
de 5000 pontos/mm, o que corresponde a uma resoluo da mesa de 0,2 m.
Para construir as imagens, o microscpio confocal varreu-se 75 pontos por linha em
75 linhas para uma rea de 10 x 10 m, o que corresponde a passos de 0,13 m. O tempo
45
de integrao ajustado no espectrmetro foi de 100 ms.
Nos resultados apresentados neste trabalho os parmetros topogrficos foram
calculados sobre superfcies onde foram aplicados filtros de forma e rugosidade. Para
subtrair a forma da superfcie primria utilizou-se filtro polinomial de ordem 2 e a partir deste
foi aplicado filtro gaussiano com cut-off de 800 nm.
46



CAP TULO I I I



RESULTADOS E DISCUSSES


Com a finalidade de se identificar a capacidade de construo de imagens do
microscpio confocal desenvolvido, utilizou-se como amostra uma chapa de ao ABNT 1020
contendo duas regies com texturas diferentes, uma regio polida e outra atacada
quimicamente. Os resultados obtidos demonstram que as imagens so fortemente
dependentes do setor onde se realizou a varredura. (Figura 3.1)


- a - - b -
Figura 3.1 Imagens de superfcies primrias geradas pelo microscpio confocal de regies
com texturas diferentes.
47
A Figura 3.1.a mostra uma regio da chapa de ao ABNT 1020 atacada
quimicamente, a ao do cido promove na superfcie da chapa uma textura homognea. A
Figura 3.1.b mostra uma regio da chapa que passou por um processo de polimento, pela
imagem gerada pelo microscpio confocal observam-se as marcas provenientes deste
processo.
At este ponto do desenvolvimento do equipamento ainda no se conseguia
determinar o valor para o fundo de escala do eixo Z. Na tentativa de estimar um valor para
este eixo foi realizado uma comparao entre as imagens geradas pelo microscpio
confocal e o interfermetro laser. Nesta comparao, utilizou-se uma rea especfica, onde
foi realizado um microsulco na superfcie da chapa (Figura 3.2). A Figura 3.2.a demonstra a
imagem produzida pelo interfermetro laser para o microsulco.


Figura 3.2 Imagem gerada pelo interfermetro laser (a) e demonstrao de todos os perfis
ao longo do microsulco (b).

Pela Figura 53.b verifica-se as linhas mxima, mdia e mnima referente aos perfis
traados de norte a sul na imagem da Figura 3.2.a, ou seja, na direo perpendicular ao
microsulco. Desta forma obtem-se artificialmente atravs do interfermetro laser o valor de
fundo de escala para o eixo vertical. A variao mxima entre os picos mais altos e os vales
mais profundos de 1,76 m.
48
A Figura 3.3 mostra a imagem do microsulco construda pelo microscpio confocal,
observa-se os valores para os eixos X e Y, variando de 0 (zero) a 75 volts, que corresponde
a variao da tenso aplicado no transladador piezoeltrico. Sabe-se que o deslocamento
correspondente a 75 volts 10 m. O eixo Z informa os valores referentes intensidade da
reflexo da amostra.


Figura 3.3 Imagem obtida com microscpio confocal e gerada pelo LabVIEW

.

A Figura 3.4 mostra a imagem final gerada pelo microscpio confocal e tratada no
software Mountains Map

, nesta imagem pode-se visualizar o valor do fundo de escala para

os trs eixos.


Figura 3.4 Resultado da imagem gerada pelo microscpio confocal, com valores de fundo
de escala para os trs eixos.
49
Na busca de um padro de comparao entre os resultados obtidos pelo
interfermetro laser e microscpio confocal, procurou-se por uma superfcie simples, ou
seja, uma superfcie livre de eventos particulares.
A superfcie de um disco rgido utilizado para armazenamento de dados em
computadores possui uma superfcie quase livre de imperfeies superficiais, contendo
estruturas da ordem de 100 m de altura. (Figura 3.5)


- a - b -
Figura 3.5 Imagens da superfcie de um disco rgido geradas por microscopia confocal (a)
e interferometria laser (b).

A Figura 3.5 mostra que para uma superfcie simples, sem grandes imperfeies,
como a superfcie do disco rgido, as imagens geradas pelas tcnicas de IL e MCVL so
comparveis, porm evidente a necessidade de se determinar o fundo de escala para o
eixo vertical do microscpio confocal de forma a possibilitar anlises tambm em nvel
quantitativo.
No intuito de se confirmar a faixa de deslocamento dos eixos horizontais, utilizou-se
como padro de referncia uma rede de difrao com distncia nominal de 0,5 m. (Figura
3.6.a)
A Figura 3.6.b demonstra atravs de uma imagem gerada pelo microscpio confocal,
um distanciamento mdio entre as grades da rede de difrao de 0,55 m, confirmando o
valor de referncia da rede.
Neste ponto do trabalho se verificou a necessidade de analisar amostras com
caractersticas submicromtricas, compatveis com a faixa de operao do microscpio
confocal. Padres utilizados na calibrao do microscpio de fora atmica possuem tais
50
caractersticas, desta forma, foram utilizadas amostras padro com estruturas nos formatos
de bolsos e trilhas.


Figura 3.6 Imagem da rede de difrao gerada pelo microscpio confocal.

O AFM passa a ser utilizado nas comparaes, pois trata-se de uma tcnica com
resoluo cinquenta vezes maior que as tcnicas pticas utilizadas. Os resultados obtidos
com estas amostras padro possibilitaram comparaes mais precisas que contriburam
para o aprimoramento do microscpio confocal, em particular dos estudos referentes aos
clculos utilizados na determinao do fundo de escala vertical.
A Figura 58 mostra as imagens dos padres submicromtricos utilizados nas
comparaes as trs tcnicas topogrficas. Pela Figura 3.7.a visualiza-se a amostra
contendo bolsos com dimetro 3,5 m. O segundo padro contm trilhas de 3,0 m de
largura e 2,5 m de espaamento entre elas. (Figura 3.7.b)


Figura 3.7 Imagem das amostras padro construda pelo microscpio simples montado na
estrutura do microscpio confocal.



- a -





- b -



- a


- b -
51
As amostras padro demonstradas na Figura 3.7 so produzidas por processo de
micro litografia e so constitudas por um substrato de silcio (Si), parte clara da imagem, e
estrutura de xido de silcio (SiO
2
), parte escura da imagem.
Pela Figura 3.8 observa-se a imagem da amostra padro contendo bolsos, gerada
pelo microscpio de fora atmica.


Figura 3.8 Imagem gerada pelo AFM e visualizada atravs do software da Park Systems.

A Figura 3.9 mostra a imagem construda pelo AFM convertida pelo software
mountains Map

. Esta imagem da superfcie primria passou por processos de filtragem de

forma e ondulao com a finalidade de se obter uma superfcie ideal para se realizar as
comparaes entre as tcnicas de IL e MCVL. (Figuras 3.10 e 3.11)


Figura 3.9 Superfcie primria gerada AFM e pelo software Mountains Map.

52
Para se determinar este desvio de forma utilizou-se filtro polinomial de ordem 2, a
Figura 3.10 demonstra as superfcies resultantes da aplicao deste filtro.


Figura 3.10 Imagem resultante da aplicao do filtro polinomial.

Pela Figura 3.10.a, observa-se a inclinao subtrada da superfcie primria, que
pode estar relacionada fixao da amostra no microscpio, pois se observa que mesmo
aplicando um filtro de ordem 2 a imagem possui aspecto planar, indicando um desvio de
forma de ordem 1, este desvio de forma tambm pode ser inerente da prpria mostra. Para
evitar dvidas como esta ao se comparar as tcnicas, todas as imagens geradas para este
trabalho foram submetidas aos mesmos processos de filtragem.
Posteriormente a aplicao do filtro polinomial, foi aplicada sobre a imagem da
Figura 3.10.b um filtro passa baixo, para se separar a ondulao contida na imagem da
rugosidade. Para isto, aplicou-se filtro gaussiano com cut-off de 800 nm, separando assim
comprimentos de onda superiores a esta faixa. (Figura 3.11)

53

Figura 3.11 Resultados da aplicao de filtro de gaussiano de cut-off igual 800nm.

A Figura 3.11.a representa a rugosidade presente na superfcie amostra, j a Figura
3.11.b representa a imagem da ondulao contida na mesma, ou seja, uma imagem
contendo comprimentos de onda acima de 800 nm.
A superfcie que carrega os comprimentos acima de 800 nm possui as principais
caractersticas da amostra padro e por isto sero utilizadas nas comparaes por meio de
parmetros topogrficos.
Geradas as imagens pelo AFM utilizou-se o IL e o MCVL (Figura 3.12) para realizar
as imagens das mesmas amostras padro.
Para se determinar o valor do fundo de escala vertical para a imagem gerada pelo
MCVL foram realizadas seis varreduras na mesma amostra, a Tabela 3.1 mostra os valores
obtidos e calculados. O valor calculado para o fundo de escala para do eixo vertical para a
amostra contendo bolsos de 281 nm. A Figura 3.13 demonstra os resultados finais para a
amostra contendo bolsos para as trs tcnicas.
54

- a - - b -
Figura 3.12 Imagem da amostra padro contendo bolsos gerada pelo microscpio confocal
(a) e convertida para software Mountains Map (b).

Tabela 3.1 Determinao do valor do fundo escala para o eixo vertical para a amostra
contendo bolsos. (Valores de intensidade na forma de potncia 10
4
)
Superfcies I_Max I_Min di I Z (m)
SURACE_00 1,30 1,20 1,15 0,10 0,27
SURACE_01 1,25 1,00 1,10 0,25 0,72
SURACE_02 1,00 0,90 0,85 0,10 0,37
SURACE_03 1,00 0,95 0,85 0,05 0,19
SURACE_04 1,35 1,30 1,20 0,05 0,13
SURACE_05 1,25 1,15 1,10 0,10 0,28

Pelas imagens mostradas na Figura 3.13 verifica-se que os aspectos finais das
imagens geradas pelo IL e pelo MCVL so consideravelmente diferentes das imagens
obtidas pelo AFM, isto se deve a diferena da faixa de resoluo entre os equipamentos.
Para os equipamentos pticos a resoluo da ordem de 400 nm, enquanto para o AFM a
resoluo de 10nm. Porm, possvel realizar comparaes dimensionais para imagens
geradas pelas tcnicas.
Em um primeiro momento, pode se interpretar que as imagens no representam a
mesma amostra, pois foram varridas em posies diferentes, porm em uma anlise mais
detalhada, observando o padro de forma dimensional, conclui-se sobre a equivalncia de
representatividade das trs tcnicas.
A Figura 3.14 mostra vistas superiores e cortes longitudinais dos bolsos, para as trs
tcnicas topogrficas.

55



Figura 3.13 Imagens da amostra padro contendo bolsos. AFM (a), IL (b) e MCVL (c).






- a -








- b -









- c -
56

Figura 3.14 Comparao por vista superior e perfil entre as trs tcnicas, amostra padro
bolsos em cortes de 10 m. AFM (a), IL (b) e MCVL (c).

A imagem da Figura 3.14.a, construda pelo AFM, os bolsos possuem 3,5 m de
dimetro. Para o perfil construdo por interferometria (Figura 3.14.b), observa-se uma
variao de 2 a 3,5 m para os dimetros dos bolsos.
J a tcnica confocal, mostrada na Figura 3.14.c, apesar do perfil com aspecto
ondulado em comparao com o perfil construdo pelo AFM, a representabilidade do
dimetro dos bolsos compatvel com o dimetro real, onde seus valores ento entre 3,0 e
4,0 m.
O fenmeno de difrao da luz est presente nas tcnicas confocal e de
interferometria, porm mais acentuado nas imagens construdas pelo primeiro, pois o
microscpio confocal utiliza-se do valor da intensidade para se referenciar e montar a matriz
de dados, o interfermetro utiliza-se da diferena de fase entre as ondas originais e
refletidas na amostra para se referenciar e o registro em sua matriz de dados baseado no
deslocamento do PZT que ajusta o foco sobre a amostra.
A Tabela 3.2 mostra os resultados obtidos para os parmetros topogrficos de
amplitude, parmetro hbrido e parmetro funcional para a amostra contendo bolsos
construdos pelas trs tcnicas.

57
Tabela 3.2 Resultados dos parmetros topogrficos para amostra padro contendo
Bolsos. Comparao entre AFM, Interferometria e Confocal.
Parmetro Topogrfico AFM Interferometria Confocal
Sq (nm) 59,9 3,33 73,46 4,73 72,50 3,18
Sdq (m/m) 0,126 0,007 0,139 0,014 0,120 0,008
Sbi 2,62 0,02 1,35 0,07 4,08 0,09

O parmetro topogrfico de amplitude Sq informa que os desvios quadrticos mdios
das superfcies varridas pelas trs tcnicas topogrficas possuem variao mnima. (Figura
3.15)
O resultado de uma Anlise de Varincia (ANOVA) fornece o valor estatstico para a
varincia entre as trs tcnicas para os parametros topogrficos calculados. (Anexo I)
Com uma significncia de 82% pode-se afirma que no existe diferena entre os
valores apresentados pelas tcnicas de IL e MCVL para o parmetro topogrfico Sq na
amostra contendo bolsos. Porm, com uma significncia de 99% pode-se afirmar que existe
diferena entre os resultados apresentados pelo AFM e as tnicas pticas.


Figura 3.15 Comparao entre as trs tcnicas pelo parmetro topogrfico de amplitude
Sq para a amostra contendo bolsos.

O parmetro hbrido Sdq informa o desvio quadrtico mdio para a inclinao da
superfcie. Pela Figura 3.16, pode-se visualizar que os valores deste parmetro para as
tcnicas AFM, IL e MCVL esto dentro da faixa do desvio padro. A variao observada
58
para o resultado mostrado para o MCVL pode ser explicada pela posio na qual foi
realizada a varredura na amostra contendo bolsos, uma vez que esta apresenta um total de
cinco bolsos, enquanto as outras duas tcnicas apresentam reas com um volume de quatro
bolsos. Este fato pode ter influenciados o resultado do Sdq na tcnica confocal, pois
parmetros hbridos ento fortemente relacionados com a varincia das amplitudes com
relao rea varrida. Com uma significncia de 83% a analise de varincia mostra que no
h diferena siginificativa entre as tcnicas para os resultados referentes ao parmetro Sdq.


Figura 3.16 Comparao entre as trs tcnicas pelo parmetro topogrfico hbrido (Sdq).

O parmetro funcional possui importncia relevante, pois descreve a informao
necessria para se selecionar a funo do elemento superfcie em uma aplicao de
engenharia.
Os resultados apresentam diferena considerveis para este parmetro. (Figura
3.17)
Os resultados para as tcnicas AFM e IL apresentam diferena de 40% entre seus
valores, que pode ser explicado pela capacidade de resoluo entre as tcnicas. A tcnica
confocal apresentou um valor 36% maior que o apresentado pelo AFM. Para se
compreender os resultados apresentados para este parmetro necessrio analisar a
Figura 3.13, que demonstra em todas as suas imagens os pontos mais altos da topogrfica
na com branca e vermelha, verifica-se que a tcnica confocal criou uma imagem com
topografia mais uniforme, este efeito foi causado pela difrao da luz na superfcie da
amostra foi preponderante na resposta dada pelo parmetro Sbi para esta tcnica.
59
Pela aplicao da ANOVA pode-se afirmar com 99% de confiro que os resultados
para o parmetro Sbi para as comparaes entre as trs tcnicas no so compatveis para
a amostra contendo bolsdos.


Figura 3.17 Comparao entre as trs tcnicas pelo parmetro funcional Sbi.

Para se concretizar as analises para as tcnicas topogrficas, foram realizados os
mesmos ensaios e tratamentos de imagens para outra amostra submicromtrica. A Figura
3.18 mostra imagens geradas pelo microscpio confocal para a amostra padro contendo
trilhas.

- a - - b -
Figura 3.18 Imagem da amostra padro trilhas gerada pelo microscpio confocal (a) e
convertida para pelo software Mountains Map (b).

A Figura 3.19 apresenta as imagens para as tcnicas AFM, Interferometria e
Confocal. Por estas imagens da amostra padro contendo trilhas observa-se grande
semelhana nos resultados obtidos pelas trs tcnicas topogrficas. Por uma vista superior
60
da topogrfica das superfcies (Figura 3.20) observam-se trilhas e vales por uma observao
qualitativa e quantitativa.


Figura 3.19 Imagens da amostra padro contendo trilhas geradas pelas trs tcnicas. AFM
(a), IL (b) e MCVL (c).




- a -









- b -









- c -
61
Verifica-se pela Figura 3.20 que h correspondncia entre os resultados obtidos. A
largura das trilhas para as trs tcnicas possui valores prximos a 3,0 m, vales com largura
de aproximadamente 2,5 m.


Figura 3.20 Comparao por vista superior e perfil das trs tcnicas. AFM (a), IL (b) e
MCVL (c).

Para comparaes quantitativas das superfcies, foram utilizados os parmetros
topogrficos expostos na Tabela 3.3.

Tabela 3.3 Resultados dos parmetros topogrficos para amostra padro contendo trilhas.
Comparao entre AFM, Interferometria e Confocal
Parmetro Topogrfico AFM Interferometria Confocal
Sq (nm) 52,62 4,82 57,60 3,12 75,23 6,39
Sdq (m/m) 0,109 0,006 0,104 0,012 0,122 0,011
Sbi 2,90 0,33 1,65 0,21 2,39 0,43

Os valores para o parmetro de amplitude Sq (Figura 3.21), mostraram
comportamento semelhante entre os resultados apresentados pelo AFM e IL, o resultados
gerado pelo microscpio confocal apresenta variao entre 12 e 41% acima dos valores
apresentados pelas outras duas tcnicas. A ANOVA aponta a identidade entre os resultados
apresentados para AFM e IL com uma confiabilidade de 93% e uma diferena entre os
62
resultados apresentados por estas tcnicas com relao ao resultado apresentado pelo
MCVL com um nvel de significncia de 99%.
Assim como para o parmetro de amplitude, os valores para os parmetros hbridos,
Figura 3.22, demonstram boa aproximao, porm com uma tendncia do valor gerado pelo
microscpio confocal, que apresentou valores entre 12 e 33% acima do valor apresentado
pelas tcnicas de AFM e IL, que por sua vez apresentaram resultados equivalentes com
94% de significncia.


Figura 3.21 Comparao entre as trs tcnicas pelos parmetros topogrficos de
amplitude.

Os resultados para os parmetros de amplitude e hbrido para o microscpio
confocal tiveram seu valor influenciados pelo valor do fundo de escala calculado, Z = 401
nm. O valor do fundo de escala sofre influencia da difrao da luz em uma direo
especifica, pois a geometria desta amostra propcia este fenmeno, conforme demonstrado
na Figura 2.12.
A Figura 2.23 apresenta os resultados para o parmetro funcional, o fenmeno de
difrao que influenciou os resultados dos parmetros de amplitude e hbrido para esta
amostra, no influenciou tanto os resultados para o parmetro Sbi. A tcnica confocal
apresentou um valor intermedirio entre os apresentados pelo AFM e pelo IL. Os resultados
apresentados esto dentro das faixas de desvio padro apresentadas para este parmetro,
porm no apresento consistncia estaststicas para aplicao da analise de varincia.
63
Pelas imagens da Figura 3.19 observa-se a topografia das imagens geradas pelo AFM
e pelo MCVL contm menos irregularidades, como ocorrido para a amostra contendo bolsos
verifica-se que a tcnica confocal criou uma imagem com topografia uniforme e que foi
preponderante na resposta dada pelo parmetro Sbi para esta tcnica. (Figura 3.23)
Para a amostra contendo trilhas, a anlise de varincia mostra uma correlao entre
as tcnicas com significncia de 60% para o parametro topogrfico Sbi.


Figura 3.22 Comparao entre as trs tcnicas pelos parmetros topogrficos de Hbrido.


Figura 3.23 Parmetro funcional Sbi para a amostra contendo trilhas.
64



CAP TULO I V



CONSIDERAES FINAIS


Com base na primeira parte dos resultados, conclui-se pelas imagens geradas pelo
MCVL desenvolvido obteve-se sucesso em seu objetivo de representar qualitativamente as
superfcies das amostras.
As imagens geradas pelo MCVL so representativas e capazes de distinguir
superfcies com acabamentos diferentes.
Pelos resultados qualitativos apresentados, conclui-se que as imagens geradas pelo
microscpio confocal de varredura laser so compatveis com as imagens geradas pelo
interfermetro laser.
Pode-se afirmar que as tcnicas pticas, confocal e interferometria, encontram
equivalncia com as imagens geradas pelo microscpio de fora atmica, equipamento com
resoluo cinquenta vezes maior que o limites de difrao da luz.
Pelos resultados quantitativos, conclui-se que o equipamento desenvolvido preciso
em seus resultados referentes aos eixos horizontais e aceitveis com relao aos resultados
provindos de eixo vertical.
Os resultados para o fundo de escala do eixo Z e parmetros topogrficos
relacionados a este eixo sofrem perturbao pelo fenmeno de difrao da luz e pelo
alinhamento do conjunto ptico, uma vez que seus valores so baseados na intensidade da
luz refletida na superfcie da amostra.
De forma geral, conclui-se que o equipamento de microscpio confocal de varredura
laser desenvolvido capaz de criar imagens confiveis das superfcies de materiais opacos
com resoluo submicromtrica, uma vez que as amostras padro empregadas nas
investigaes possui estruturas com alturas da ordem de um quarto de micrometro.


65
4.1 Trabalhos Futuros

Como demonstrado na Tabela 1.1 a rea de varredura do microscpio confocal pode
chegar ordem de 10
3
mm
2
(trasladao da amostra por meio de motor eletromecnico),
porm o microscpio confocal desenvolvido neste trabalho o transladador piezoeltrico, o
que limita a sua rea de varredura em 10
-4
mm
2
, o prximo passo no desenvolvimento deste
trabalho ser a substituio do transladador piezoeltrico por um conjunto de atuadores
eletromecnicos. (Figura 4.1)


Figura 4.1 Posicionador Z825B Serie Motorized DC Servo Actuador adquiridos e apt dc
serve controller USB.

66



REFERENCI AS BI BLI OGRFI CAS



ABNT NBR ISO 4287 - Especificaes geomtricas do produto (GPS) - Rugosidade:
Mtodo do perfil - Termos, definies e parmetros da rugosidade. 2002

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microscopy principles. ZEISS Jena, 2010.

70



ANEXO I



A Anlise de Varincia (ANOVA) um procedimento utilizado para comparar trs ou
mais tratamentos. Existem muitas variaes da ANOVA devido aos diferentes tipos de
experimentos que podem ser realizados. Nesse trabalho foi analisada a varincia com um
fator.
A anlise de varincia baseia-se na decomposio da variao total da varivel
resposta em partes que podem ser atribudas aos tratamentos e ao erro experimental. Por
esses motivos, os pressupostos da ANOVA devem ser testados ou avaliados em qualquer
anlise.
Se F > Fcrtico, rejeitamos a hiptese de nulidade (H
0
), ou seja, existem evidncias
de diferena significativa entre pelo menos um par de mdias de tratamentos, ao nvel de
significncia escolhido. Caso contrrio, no se rejeita a H
0
, ou seja, no h evidncias de
diferena significativa entre tratamentos, ao nvel de significncia escolhido.
Outra maneira de avaliar a significncia da estatstica F utilizando o valor-P. Se o
valor-P < , rejeita-se a hiptese de nulidade. Caso contrrio, no se rejeita a hiptese de
nulidade, ou seja, no h evidncias de diferenas significativas entre os tratamentos, ao
nvel de significncia escolhido.

Tabela AI.1 ANOVA para os resultados dos parmetros topogrficos Sq para amostra
padro contendo bolsos. Comparao entre Interferometria, AFM e Confocal
Fonte davariao SQ gl MQ F valor-P F crtico
Entre grupos 452,40 2 226,20 13,85 0,0056 5,14
Dentro dos grupos 97,99 6 16,33

Total 550,39 8

Tabela AI.2 ANOVA para os resultados dos parmetros topogrficos Sdq para amostra
padro contendo bolsos. Comparao entre Interferometria, AFM e Confocal
Fonte da variao SQ gl MQ F Valor-P F crtico
Entre grupos 0,00064 2 0,0003 2,42 0,17 5,14
Dentro dos grupos 0,00079 6 0,0001

Total 0,00143 8


71
Tabela AI.3 ANOVA para os resultados dos parmetros topogrficos Sbi para amostra
padro contendo bolsos. Comparao entre Interferometria, AFM e Confocal
Fonte da variao SQ gl MQ F valor-P F crtico
Entre grupos 13,93 2 6,963 1019,36 2,52E-08 5,14
Dentro dos grupos 0,041 6 0,006

Total 13,97 8

Tabela AI.4 ANOVA para os resultados dos parmetros topogrficos Sq para amostra
padro contendo trilhas. Comparao entre Interferometria, AFM e Confocal
Fonte da variao SQ gl MQ F valor-P F crtico
Entre grupos 919,41 2 459,7 17,16 0,0033 5,14
Dentro dos grupos 160,73 6 26,7

Total 1080,1 8

Tabela AI.5 ANOVA para os resultados dos parmetros topogrficos Sdq para amostra
padro contendo trilhas. Comparao entre Interferometria, AFM e Confocal
Fonte da variao SQ gl MQ F valor-P F crtico
Entre grupos 0,0009 2 0,0004 5,06 0,06 5,14
Dentro dos grupos 0,0005 6 8E-05

Total 0,0014 8

Tabela AI.6 ANOVA para os resultados dos parmetros topogrficos Sbi para amostra
padro contendo trilhas. Comparao entre Interferometria, AFM e Confocal
Fonte da variao SQ gl MQ F valor-P F crtico
Entre grupos 2,92 2 1,46 1,04 0,41 5,14
Dentro dos grupos 8,39 6 1,40

Total 11,31 8