Grupo: Grp Microsistemas.

(938243)
ASIGNATURA:
"Microsistemas"
DATOS BSICOS DE LA ASIGNATURA/GRUPO
Titulacin:
Asignatura:
Cdigo:
Curso:
Ao del plan de estudio:
Tipo:
Ciclo:
Perodo de imparticin:
Departamento:
Crditos:
Direccin postal:
Centro:
Direccin electrnica:
2
Segundo Cuatrimestre
Mster Unv. en Electrnica, Tratamiento de Seal y Comunicaciones (RD.07)
Microsistemas
E.T.S. de Ingeniera
Ingeniera Electrnica (Departamento responsable)
6
2010
1
Optativa
50690012
Grp Microsistemas. (1) Grupo:
Horas:
rea:
150
Tecnologa Electrnica (rea principal)
PROFESORADO
LUQUE ESTEPA, ANTONIO (COORDINADOR/A) 1
QUERO REBOUL, JOSE MANUEL 2
PERDIGONES SANCHEZ, FRANCISCO ANTONIO 3
Titulacion: Mster Unv. en Electrnica, Tratamiento de Seal y Comunicaciones (RD.07)
Curso: 2013 - 2014
PROYECTO DOCENTE
Curso acadmico: 2013/2014 ltima modificacin: 2013-10-01
1 de 5
OBJETIVOS Y COMPETENCIAS
Competencias transversales/genricas
Objetivos docentes especficos
Conocimiento aplicado de las tecnologas, procesos y mtodos usados en el diseo y fabricacin de microsistemas.
Competencias
Resolucin de problemas
Trabajo en equipo
Habilidades para recuperar y analizar informacin desde diferentes fuentes
Habilidad para trabajar de forma autnoma
Competencias especficas
Diseo de sistemas con mltiples efectos fsicos
Desarrollo de procesos de fabricacin
Simulacin por ordenador de efectos acoplados
CONTENIDOS DE LA ASIGNATURA
1. INTRODUCCION A LOS MICROSISTEMAS
2. APLICACIONES
3. NANOTECNOLOGA
4. DISEO DE UN MICROSISTEMA
1. INTRODUCCION A LOS MICROSISTEMAS
1.1. Procesos de fabricacin de microelectrnica.
1.2. Procesos de fabricacin de microsistemas.
2. DISEO DE UN MICROSISTEMA.
2.1. Diseo de un microsistema a partir de especificaciones
2.2. Simulacin del dispositivo en COVENTOR o COMSOL
2.3. Definicin de flujo de fabricacin
2.4. Diseo de mscaras
2.5. Fabricacin y Caracterizacin del microsistema
3 APLICACIONES DE LOS MICROSISTEMAS.
3.1 Actuadores.
3.1.1 Microfludica.
3.1.2 MOEMS.
3.1.3 Micromotores.
3.2 Sensores genricos.
3.2.1 BioMEMS.
3.3 RF-MEMS.
4. NANOTECNOLOGA
Relacin sucinta de los contenidos (bloques temticos en su caso)
Relacin detallada y ordenacin temporal de los contenidos
ACTIVIDADES FORMATIVAS
Relacin de actividades formativas del cuatrimestre
Horas presenciales:
Horas no presenciales:
10.0
0.0
Clases tericas
Curso acadmico: 2013/2014 ltima modificacin: 2013-10-01
2 de 5
Horas presenciales:
Horas no presenciales:
20.0
0.0
Trabajo de investigacin
Horas presenciales:
Horas no presenciales:
0.0
120.0
AAD sin presencia del profesor
BIBLIOGRAFA Y OTROS RECURSOS DOCENTES
Transparencias de la asignatura en http://www.dinel.us.es/master/cursos.php?c=4&d=3&titulacion=100&asignatura=505
Otros recursos docentes
Bibliografa general
Fundamentals of Microfabrication and Nanotechnology, Third Edition, Three-Volume Set
Marc J. Madou
CRC Press, 2012
Autores: Edicin:
Publicacin: 1420055119 ISBN:
Micro Electro Mechanical System Design
James J. Allen
CRC Press 2005
Autores: Edicin:
Publicacin: 978-0824758240 ISBN:
Bibliografa especfica
BioMEMS: Science and Engineering Perspectives
Badilescu, Simona and Muthukumaran
Packirisamy
CRC Press 2010
Autores: Edicin:
Publicacin: 9781439816998 ISBN:
Microtecnologa: diario de un proceso: fabricacin de un microacelermetro
Mara Cruz Acero Leal
Jos Antonio Plaza Plaza
Emilio Lora-Tamayo D'ocn
Jaume Esteve Tint
Editorial CSIC - Consejo Superior de
Investigaciones Cientficas 2010
Autores: Edicin:
Publicacin: 978-84-00-09163-7 ISBN:
Sistema de evaluacin
Desarrollo de trabajos y exmenes
En la primera convocatoria, la evaluacin se basar en el desarrollo de un trabajo a lo largo de la asignatura, y en un breve cuestionario
sobre la materia impartida en las clases.
En el resto de convocatorias, la evaluacin se basar en un examen escrito.
CALENDARIO DE EXMENES
Curso acadmico: 2013/2014 ltima modificacin: 2013-10-01
3 de 5
CENTRO: Por definir
Por definir Por definir
Por definir
Fecha: Hora:
Aula:
TRIBUNALES ESPECFICOS DE EVALUACIN Y APELACIN
ANTONIO JESUS TORRALBA SILGADO Presidente:
Vocal: FERNANDO MUOZ CHAVERO
JOSE IGNACIO LEON GALVAN Secretario:
Primer suplente: ALFREDO PEREZ VEGA-LEAL
LEOPOLDO GARCIA FRANQUELO Segundo suplente:
JOSE LUIS MORA JIMENEZ Tercer suplente:
Curso acadmico: 2013/2014 ltima modificacin: 2013-10-01
4 de 5
ANEXO 1:
HORARIOS DEL GRUPO DEL PROYECTO DOCENTE
Los horarios de las actividades no principales se facilitarn durante el curso.
GRUPO: Grp Microsistemas. (938243)
Calendario del grupo
CLASES DEL PROFESOR: LUQUE ESTEPA, ANTONIO
HORARIO SIN ESPECIFICAR
CLASES DEL PROFESOR: PERDIGONES SANCHEZ, FRANCISCO ANTONIO
HORARIO SIN ESPECIFICAR
CLASES DEL PROFESOR: QUERO REBOUL, JOSE MANUEL
HORARIO SIN ESPECIFICAR
Curso acadmico: 2013/2014 ltima modificacin: 2013-10-01
5 de 5