Bitcora de laboratorio de Fsica contempornea 2.

Snchez Ziga Ebanibaldo. 408040936.

13 de agosto 2014.
Me asigna realizar la prctica de pelculas delgadas en el CCADET. Con el M. en C. Alejandro
Esparza Garca.
Nos explica a muy grandes rasgos lo que es la erosin catdica o sputtering. Capto las ideas de
evaporacin del material, optimizacin del depsito, parmetros para un mejor depsito, que el
blanco funciona como un electrodo, el cual no se debe tocar ya que tiene un alto voltaje.
Nos ensea la maquinaria con la que se realiza vaco, sin embargo son varios pasos a seguir para
prenderla de manera adecuada, no capto todos. Hace hincapi en el sistema de enfriamiento para
no daar los dispositivos. Nos ensea donde podemos medir la cantidad de argn que se le
suministra a la cmara donde se hace vaco. Nos da unas copias para que estudiemos un poco
tericamente la tcnica de sputtering, as como el procedimiento a seguir para hacer vaco.
Nos dan un pedazo de vidrio de2 por 4 centmetros el cual cortamos con una pluma que tiene
punta de diamante, se raya el vidrio con la punta luego se jala hacia los lados y este se quiebra en
2 pedazos.
Se realiza el procedimiento de limpieza de los sustratos, que este caso son los pedazos de vidrio.
Me coloco guantes, y empiezo a lavarlos con un jabn y una gasa, se limpia con agua del grifo, ya
que veo que estn limpios se les lava nuevamente con agua tridestilada, y finalmente se les sopla
con aire comprimido. Quedan listos los sustratos para la prctica.
18 de agosto 2014.
He ledo las copias, la parte terica la he comprendido, ms la parte de encendido del sistema de
vaco no me queda claro. Se sigue la metodologa del caso III del manual para el encendido del
sistema de vaco, paso a paso con la supervisin del profesor lo logramos.
En el sustrato se coloca un pedazo de metal, para que luego este nos sirva para medir el grosor
de la pelcula depositada. Se fijan las condiciones de potencia a 100W, presin 0.00029mBar, pos
48.1%, 22.9 ccm de Argn y un tiempo de depsito de 10 minutos.
Cuando trascurre este tiempo, se apaga la fuente de poder, se deja funcionando un momento el
sistema de vaco para que el blanco se enfriara y se limpie. Luego se abre la cmara y se saca el
sustrato. El cual parece un pequeo espejo, debido a que refleja mucho. Es evidente que se ha
depositado titanio. Luego se procede a medir su grosor con un perfilometro.
Se pone el sustrato debajo de una punta, se le coloca una rondana para que la punta no lo mueva.
Se acciona la punta con unos botones que hacen que suba y baje, cuando estamos seguros de
que recorrer al sustrato donde existe desnivel debido a la pelcula se pone scan, luego un monitor
nos da una grfica, la cual se ajusta y nos arroja los valores de 5718, 5444 y 5720 de grosor de
la pelcula.
22 de agosto 2014.

Se pretende hacer un depsito de xido de titanio. Se lleva a cabo el encendido del sistema de
vaco de acuerdo al manual, tambin en el mismo especifica como introducir muestras cuando el
sistema de vaco esta encendido. Se realiza esto. Se imponen las condiciones de Argn 22ccm,
Oxigeno 1 ccm, pero se ve que el voltaje crece mucho, y se apaga la fuente de poder en una
ocasin. Se baja el Oxgeno a .7 ccm. Sin embargo nuevamente no funciona.
Se pone ahora el argn a 35 ccm, y el Oxgeno a 1.5, potencia a 143 W, pos 48.8%, presin
0.0043mBar y un tiempo de depsito de 10 minutos, tras lo cual se apaga la fuente de poder, se
enfra el blanco y se limpia, y se saca el sustrato. El cual parece el mismo vidrio que metimos.
Excepto si mira de lado el sustrato podrs ver ligeramente uno colores, lo cual indica que se
deposit algo. En el perfilometro medimos 266, 169 y 387 de grosor.
25 de agosto.
Se ha cambiado el blanco de titanio a tungsteno. Se lleva a cabo la insercin de sustratos dentro
de la cmara. Se ponen las condiciones de Argn 26.3 ccm, 150 W de potencia, presin
0.0071mBar, pos 29.5% y un tiempo de depsito de 5 minutos. Se obtiene una placa de tungsteno
puro.
Luego se introduce oxgeno. Primero 6.6 ccm y luego 8.1. Con las mismas condiciones anteriores,
ya que los 2 sustratos estn dentro. Y solo hay que mover con un imn para colocarlos frente al
blanco.
Cuando sacamos las muestras el sustrato de tungsteno puro nos da un grosor de 5208 , y el de
xido de tungsteno de 4924 .
Se deja funcionar la bomba un momento antes de sacar las muestras, ya que es muy importante
limpiarlas, y que se enfri el blanco y evitar oxidaciones por el medio ambiente.
28 de agosto.
Se realizara un nuevo depsito de xido de tungsteno. Las condiciones son: argn a 26.5 ccm,
Oxigeno empezamos en 5, luego 4 y finalmente 3 ccm, presin en 0.0071mbar, pos 29.8%,
potencia de 151 W. se le da un tiempo de depsito de 5 minutos. Tras lo cual se apaga la fuente de
poder, se limpia y enfra el blanco. Se saca el sustrato, muy transparente y se mide el grosor de
pelcula, el cual es 7474 .