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IKR 270
BG 805 008 BD / A
(0206)
Inhaltsverzeichnis
Produktidentifikation
Gltigkeit
Bestimmungsgemsser Gebrauch
Funktion
3
3
3
3
1 Sicherheit
1.1 Verwendete Symbole
1.2 Personalqualifikation
1.3 Grundlegende Sicherheitsvermerke
1.4 Verantwortung und Gewhrleistung
4
4
4
4
4
2 Technische Daten
3 Einbau
3.1 Vakuumanschluss
3.1.1 Magneteinheit entfernen
3.2 Elektrischer Anschluss
3.2.1 Verwendung mit Pfeiffer Vacuum-Messgerten
3.2.2 Verwendung mit anderen Auswertegerten
7
7
8
9
9
9
4 Betrieb
11
5 Instandhaltung
5.1 Messrhre reinigen / Ersatzteile einbauen
5.1.1 Zerlegen
5.1.2 Messrhre reinigen
5.1.3 Messrhre zusammenbauen
5.2 Verhalten bei Strung
12
12
12
15
15
17
6 Ausbau
18
7 Produkt zurcksenden
19
8 Zubehr
19
9 Ersatzteile
20
10 Entsorgung
20
Anhang
A: Beziehung zwischen Messsignal und Druck
B: Gasartabhngigkeit
21
21
22
Kontaminationserklrung
23
BG 805 008 BD / A
(0206)
IKR 270
Produktidentifikation
Im Verkehr mit Pfeiffer Vacuum sind die Angaben des Typenschildes erforderlich.
bertragen Sie daher diese Angaben auf das Ebenbild.
VACUUM
Compact
Cold Cathode
Gauge
Gltigkeit
Bestimmungsgemsser
Gebrauch
Die Compact Cold Cathode Gauge IKR 270 erlaubt die Vakuummessung im
Druckbereich von 510-11 ... 110-2 mbar.
Die Messrhre kann mit einem Pfeiffer Vacuum-Messgert fr KompaktMessrhren oder mit einem kundeneigenen Auswertegert betrieben werden.
Funktion
Das Messsignal ist ber den gesamten Messbereich logarithmisch vom Druck
abhngig.
Eingesetzt wird ein Kaltkatoden-Ionisationsmesskreis (nach dem Prinzip des
invertierten Magnetrons).
BG 805 008 BD / A
(0206)
IKR 270
1 Sicherheit
1.1 Verwendete Symbole
GEFAHR
Angaben zur Verhtung von Personenschden jeglicher Art.
WARNUNG
Angaben zur Verhtung umfangreicher Sach- und Umweltschden.
Hinweis
Angaben zur Handhabung oder Verwendung. Nichtbeachten kann zu Strungen
oder geringfgigen Sachschden fhren.
1.2 Personalqualifikation
Fachpersonal
Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten drfen nur durch Personen
ausgefhrt werden, welche die geeignete technische Ausbildung besitzen und
ber die ntigen Erfahrungen verfgen oder durch den Betreiber entsprechend
geschult wurden.
Alle Arbeiten sind nur unter Beachtung der einschlgigen Vorschriften und
Einhaltung der Schutzmassnahmen zulssig. Beachten Sie zudem die in
diesem Dokument angegebenen Sicherheitsvermerke.
Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten ber eine eventuelle Kontamination. Beachten Sie beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlgigen Vorschriften und halten Sie die Schutzmassnahmen ein.
das Produkt mit Zubehr betreiben, welches in den zugehrigen Produktdokumentationen nicht aufgefhrt ist.
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(0206)
IKR 270
2 Technische Daten
Zulssige Temperatur
Lagerung
Betrieb
alle Versionen
lange Version
Ausheizen
kurze Version
lange Version
Relative Feuchte
Verwendung
Reproduzierbarkeit
5%
im Bereich 110-9 ... 110-3 mbar
Gasartabhngigkeit
Anhang B
Schutzart
berdruck
30 %
im Bereich 110-9 ... 110-3 mbar
IP 40
9 bar
beschrnkt auf inerte Gase und
Temperaturen < 100 C
Speisung
GEFAHR
Die Messrhre darf nur an Speise- oder Messgerte angeschlossen
werden, die den Anforderungen der geerdeten Schutzkleinspannung
(SELV-E nach EN 61010) entsprechen. Die Leitung zur Messrhre ist
abzusichern.1)
Spannung an der Messrhre
Leistungsaufnahme
1)
Sicherung
Betriebsspannung
(in der Messkammer)
Betriebsstrom
(in der Messkammer)
1)
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IKR 270
Kompaktstecker Hirschmann
Typ GO 6, 6-polig, Kontaktstifte
5-polig plus Abschirmung
100 m (0.25 mm Leiter)
150 m (0.34 mm Leiter)
500 m (1.0 mm Leiter)
3.3 kV
100 A
Ausgangssignal (Messsignal)
Spannungsbereich
0 V ... +10.5 V
logarithmisch, Steigung 0.8 V / Dekade
( Anhang A)
< 0.5 V (keine Speisung)
Beziehung Spannung-Druck
Fehlersignal
Ausgangsimpedanz
210 W
Normlast
100 kW
Minimale Last
10 kW, kurzschlussfest
druckabhngig
< 10 ms
1s
Ansprechzeit
-6
p > 10 mbar
p = 10-8 mbar
Identifikation der Messrhre
Erdkonzept
Figur 1
Vakuumflansch-Messerde
ber 10 kW verbunden
(max. Spannungsdifferenz
bezglich Sicherheit
50 V
bezglich Genauigkeit 10 V)
getrennt gefhrt; bei grossen Leitungslngen (10 m) wird differentielle
Messung empfohlen
Speisungserde-Signalerde
Keramik (Al2O3)
Ag
Edelstahl (1.4306 / AISI 304L)
Mo
Edelstahl (1.4310 / AISI 301)
20 cm
Abmessungen
105.5
28
53
20
VACUUM
Compact
Cold Cathode
Gauge
63,5
DN 40 CF-F
24,1
216,35
32
103,25
20
57
VACUUM
63,5
DN 40 CF-F
24,1
Compact
Cold Cathode
Gauge
Ausheizbereich
Gewicht
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IKR 270
3 Einbau
3.1 Vakuumanschluss
Hinweis
Vorsicht: Vakuumkomponente
Schmutz und Beschdigungen beeintrchtigen die Funktion der
Vakuumkomponente.
Beim Umgang mit Vakuumkomponenten die Regeln in bezug auf
Sauberkeit und Schutz vor Beschdigung beachten.
Die Einbaulage ist frei whlbar, Partikel sollten jedoch nicht in die Messkammer
gelangen knnen ( 2 12).
Den notwendigen Platzbedarf ersehen Sie aus dem Massbild ( 2 6).
Schutzdeckel entfernen.
Flanschverbindung herstellen.
GEFAHR
Vorsicht: berdruck im Vakuumsystem > 4 bar
Bei KF-Flanschverbindungen knnen elastomere Dichtringe
(z.B. O-Ringe) dem Druck nicht mehr standhalten. Dies kann
zu Gesundheitsschden durch ausstrmendes Prozessmedium
fhren.
Dichtringe mit einem Aussenzentrierring verwenden.
GEFAHR
Vorsicht: berdruck im Vakuumsystem > 1 bar
Unsachgemsses ffnen von Spannelementen kann zu Verletzungen durch herumfliegende Teile und Gesundheitsschden durch ausstrmendes Prozessmedium fhren.
Spannelemente verwenden, die sich nur mit einem Werkzeug
ffnen und schliessen lassen (z.B. Spannband-Spannring).
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IKR 270
GEFAHR
Die Messrhre muss galvanisch mit der geerdeten Vakuumkammer verbunden sein. Die Verbindung muss den Anforderungen einer Schutzverbindung nach EN 61010 entsprechen:
Vorgehen
Innensechskantschlssel 1.5 mm
Gabelschlssel 7.0 mm
Hinweis
Aus Toleranzgrnden ist bei erneuter Montage wieder die gleiche
Magnet- und Elektronikeinheit aufzusetzen.
Hinweis
Aufgrund der magnetischen Krafteinwirkung und der Tendenz,
leicht zu verkanten, ist das Trennen von Magneteinheit und
Messkammer (7) erschwert.
d) Messrhre an das Vakuumsystem anflanschen.
e) Magneteinheit aufsetzen und mit der Sechskantschraube (3) arretieren.
f) Elektronikeinheit (2) vorsichtig aufsetzen.
g) Elektronikeinheit bis zum Anschlag schieben und mit dem InnensechskantGewindestift (1) arretieren.
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IKR 270
3
2
1
3
4
7
1
4
Vorgehen
BG 805 008 BD / A
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IKR 270
VACUUM
Die Messrhre kann auch mit anderen Messgerten betrieben werden. In diesem
Fall muss das Verbindungskabel selbst angefertigt werden.
2
Bei Leitungslngen bis 10 m (bei 0.34 mm Leiterquerschnitt) kann das Messsignal
ohne Verlust an Genauigkeit direkt zwischen positivem Signalausgang (Pin 2) und
Speisungserde (Pin 5) gemessen werden. Bei grsserer Leitungslnge ist differentielle Messung zwischen Signalausgang und Signalerde (Pin 3) empfohlen (das
Common mode-Signal betrgt bei maximal zugelassener Leitungslnge infolge
Spannungsabfall ber der Speisungserdleitung ca. 1.0 V).
Kabeldose vorbereiten
(Bestellnummer 2 19).
10
10
7,15k
10k
Figur 1:
Elektrischer Anschluss
Pin 1
Pin 2
Pin 3
Pin 4
Pin 5
Pin 6
Identifikation
Signalausgang
(Messsignal)
Signalerde
Speisung
Speisungserde
Abschirmung
2
3
1
4
5
WARNUNG
Die Speisungserde (Pin 5) sowie die Abschirmung (Pin 6) sind
in jedem Fall beim Speisegert mit Erde zu verbinden.
Falscher Anschluss, falsche Polaritt oder nicht zulssige
Speisespannung knnen die Messrhre beschdigen.
Kabeldose zusammenbauen.
Kabeldose einstecken.
VACUUM
10
Compact
Cold Cathode
Gauge
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4 Betrieb
Nach dem Anlegen der Speisespannung steht zwischen den Anschlssen 2 und 3
das Messsignal zur Verfgung (Beziehung zwischen Messsignal und Druck
Anhang A).
Die grne Lampe auf der Messrhre
zeigt den Betriebszustand an:
Speisespannung vorhanden.
Speisespannung nicht vorhanden.
Hinweis
Schalten Sie die Messrhre nur bei Drcken <10-2 mbar ein, um eine
bermssige Verschmutzung zu vermeiden.
Bei Pfeiffer Vacuum-Messgerten fr Kompakt-Messrhren und
mindestens zwei Messrhrenanschlssen kann die KaltkatodenMessrhre beispielsweise durch eine Pirani-Messrhre gesteuert
werden.
Gasartabhngigkeit
Das Messsignal ist gasartabhngig. Die Kennlinien gelten fr trockene Luft, N2, O2
und CO. Fr andere Gase knnen sie umgerechnet werden ( Anhang B).
Wird die Messrhre mit einem Pfeiffer Vacuum-Messgert fr KompaktMessrhren betrieben, kann fr diese Flle ein Kalibrierfaktor zur Korrektur des
angezeigten Messwertes eingegeben werden ( & des entsprechenden
Messgertes).
Zndverzgerung
Verschmutzung
0.1 Minute
1 Minute
5 Minuten
20 Minuten
30 Minuten
Die Verschmutzung der Messrhre ist abhngig von der Art der im Rezipienten
vorhandenen Verunreinigungen und ihrem Partialdruck. Bei dauernd tiefen
Drcken (< 110-6 mbar) sind Standzeiten > 1 Jahr bis zur Reinigung erreichbar
(Messrhre reinigen 2 12).
Das Mass der Verschmutzung kann in begrenztem Rahmen beeinflusst werden:
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5 Instandhaltung
GEFAHR
Vorsicht: Kontaminierte Teile
Kontaminierte Teile knnen zu Gesundheitsschden fhren.
Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten ber eine eventuelle
Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlgigen Vorschriften beachten und die Schutzmassnahmen einhalten.
GEFAHR
Vorsicht: Reinigungsmittel
Reinigungsmittel knnen zu Gesundheits- und Umweltschden fhren.
Beim Umgang mit Reinigungsmitteln die einschlgigen Vorschriften
beachten und die Schutzmassnahmen bezglich deren Handhabung
und Entsorgung einhalten.
Innensechskantschlssel 1.5 mm
Innensechskantschlssel 3.0 mm
Gabelschlssel 7.0 mm
Zange fr Sicherungsring
Pinzette
Industriealkohol
Montagewerkzeug fr Zndhilfe
Zndhilfe
5.1.1 Zerlegen
Vorgehen kurze Version
Hinweis
Aus Toleranzgrnden ist bei erneuter Montage wieder die gleiche
Magnet- und Elektronikeinheit aufzusetzen.
Hinweis
Aufgrund der magnetischen Krafteinwirkung und der Tendenz,
leicht zu verkanten, ist das Trennen von Magneteinheit und
Messkammer (7) erschwert.
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g) Sicherungsring (5) und den Poleinsatz (6) aus der Messkammer entfernen.
h) 4 Innensechskantschrauben (8) inkl. Schraubensicherung (8a) an der Rckseite
der Messkammer entfernen.
i)
Nacheinander mit der notwendigen Sorgfalt das Druckstck (9), die Scheibe
(9a), die komplette Anode (10) und die Metalldichtung (11) inkl. Zentrierring (12)
entfernen.
1
4
7
Figur 2a
8a
11
10a
12
10
9a
6
5
7
Figur 2b
Hinweis
Aus Toleranzgrnden ist bei erneuter Montage wieder die gleiche
Magnet- und Elektronikeinheit aufzusetzen.
Hinweis
Aufgrund der magnetischen Krafteinwirkung und der Tendenz,
leicht zu verkanten, ist das Trennen von Magneteinheit und
Messkammer (7) erschwert.
e) Sicherungsring (5) und den Poleinsatz (6) aus der Messkammer entfernen.
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j)
Nacheinander mit der notwendigen Sorgfalt das Druckstck (9), die Scheibe
(9a), die komplette Anode (10) und die Metalldichtung (11) inkl. Zentrierring (12)
entfernen.
1
4
Figur 3a
18
19
20
17
15
16
14
13
5
7
Figur 3b
8a
11
10
12 10a
9a
9
6
5
7
Figur 3c
14
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Hinweis
Dichtflche nur konzentrisch bearbeiten.
Hinweis
Anode nicht verbiegen. Keramik nicht mechanisch bearbeiten.
Anode
Zndhilfe
Werkzeug
a) Neue Metalldichtung (11) mit dem Zentrierring (12) zentrisch in die Messkammer einlegen. Dichtflche, Dichtung und Keramik mssen sauber sein
( Figur 2b).
b) Anode (10) inkl. Zndhilfe (10a) sorgfltig in die Messkammer einlegen.
c) Die Scheibe (9a) und das Druckstck (9) auf die Messkammer aufsetzen und
mit den 4 Schrauben (8) inkl. Sicherungsscheiben (8a) gleichmssig bis zum
Anschlag anziehen.
d) Positionieren der Zndhilfe (10a): Montagewerkzeug fr die Zndhilfe auf den
Anodenstift stecken und bis zum Anschlag einschieben.
e) Partikel in der Messkammer mit trockenem Stickstoff ausblasen (und dabei die
Messkammer mit dem Flansch nach unten halten).
f) Poleinsatz (6) bis zum mechanischen Anschlag in die Messkammer einschieben.
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Hinweis
Kontrollieren Sie visuell, ob der Anodenstift zentrisch zum mittleren
Loch des Poleinsatzes ist (max. zulssige Exzentrizitt = 0.5 mm).
h) Nach Mglichkeit einen Lecktest durch fhren (Leckrate <10-9 mbar l/s).
i)
j)
a) Neue Metalldichtung (11) mit dem Zentrierring (12) zentrisch in die Messkammer einlegen. Dichtflche, Dichtung und Keramik mssen sauber sein
( Figur 3c).
b) Anode (10) inkl. Zndhilfe (10a) sorgfltig in die Messkammer einlegen.
c) Die Scheibe (9a) und das Druckstck (9) auf die Messkammer aufsetzen und
mit den 4 Schrauben (8) inkl. Sicherungsscheiben (8a) gleichmssig bis zum
Anschlag anziehen.
d) Positionieren der Zndhilfe (10a): Montagewerkzeug fr die Zndhilfe auf den
Anodenstift stecken und bis zum Anschlag einschieben.
e) Partikel in der Messkammer mit trockenem Stickstoff ausblasen.
f) Poleinsatz (6) bis zum mechanischen Anschlag in die Messkammer einschieben.
g) Sicherungsring (5) satt an den Poleinsatz setzen.
Hinweis
Kontrollieren Sie visuell, ob der Anodenstift zentrisch zum mittleren
Loch des Poleinsatzes ist (max. zulssige Exzentrizitt = 0.5 mm).
Die komplette Messkammer mit dem Flansch nach unten auf den Tisch stellen
und die Verlngerung (13) sorgfltig auf den Anodenstift aufstecken
( Figur 4).
j)
Das Rohr (14) sorgfltig darber stlpen und mit den 2 Schrauben (16) und den
Schraubensicherungen (15) festschrauben.
k) Den Isolator (17) in der abgebildeten Weise auf die Verlngerung (13) fdeln
und das Druckstck (18) mit 2 Schrauben (20) und den Schraubensicherungen
(19) festschrauben.
Hinweis
Das Innere des Rohres und der Isolator mssen vllig sauber und
frei von Fuseln sein.
l)
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BG 805 008 BD / A
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19
18
17
14
16
15
13
Figur 4
Strung
(0206)
IKR 270
Behebung
Speisung einschalten.
Messsignal dauernd
Speisespannung zu
< 0.5 V und grne Lampe niedrig.
leuchtet.
Elektronikeinheit defekt.
Speisespannung erhhen
( 2 5).
Messsignal dauernd im
Bereich 0.5 ... 1.96 V
(underrange).
BG 805 008 BD / A
Mgliche Ursache
Speisung fehlt.
Messsignal dauernd
< 0.5 V und grne Lampe
leuchtet nicht.
Elektronikeinheit ersetzen
( 2 12).
Druck in Vakuumkammer
< 510-11 mbar.
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6 Ausbau
GEFAHR
Vorsicht: Kontaminierte Teile
Kontaminierte Teile knnen zu Gesundheitsschden fhren.
Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten ber eine eventuelle
Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlgigen Vorschriften beachten und die Schutzmassnahmen einhalten.
Hinweis
Verbindungskabel lsen.
Schutzdeckel aufsetzen.
VACUUM
Vorgehen
18
Compact
Cold Cathode
Gauge
Vorsicht: Vakuumkomponente
Schmutz und Beschdigungen beeintrchtigen die Funktion der
Vakuumkomponente.
Beim Umgang mit Vakuumkomponenten die Regeln in bezug auf
Sauberkeit und Schutz vor Beschdigung beachten.
BG 805 008 BD / A
(0206)
IKR 270
7 Produkt zurcksenden
WARNUNG
Vorsicht: Versand kontaminierter Produkte
Zur Wartung oder Reparatur eingesandte Produkte sollen nach
Mglichkeit frei von Schadstoffen sein (z.B. radioaktiver, toxischer,
tzender oder mikrobiologischer Art).
Versandvorschriften der beteiligten Lnder und Transportunternehmen
beachten. Ausgefllte Kontaminationserklrung beilegen.
Nicht eindeutig als "frei von Schadstoffen" deklarierte Produkte werden kostenpflichtig dekontaminiert.
8 Zubehr
Bestellnummer
Verbindungskabel zu Pfeiffer VacuumMessgert fr Kompakt-Messrhren
3m
6m
10 m
Leitungsdose, Hirschmann GO 6 WF,
6-polig, abgewinkelt, Buchsen
Magnetabschirmung
BG 805 008 BD / A
(0206)
IKR 270
BG 448 250 -T
BG 448 251 -T
BG 448 252 -T
B 4707 283 MA
PT 443 155 -X
19
9 Ersatzteile
Bestellen Sie Ersatzteile immer mit den folgenden Angaben:
Produkttyp
8a
11
10
10a
12
9a
Pos.
Beschreibung
Bestellnummer
BN 846 241 -T
10a
11
12
9a
BN 846 240 -T
10
10a
11
12
9a
BN 845 995 -T
10a
Montagewerkzeug fr Zndhilfe
BG 510 600
Austausch-Messrhre
(defekte Messrhre zurcksenden)
Flansch DN 40 CF-F,
kurze Version
Flansch DN 40 CF-F,
lange Version
BG G21 251 A
BG G21 261 A
10 Entsorgung
WARNUNG
N
20
BG 805 008 BD / A
(0206)
IKR 270
Anhang
A:
Beziehung zwischen
Messsignal und Druck
Umrechnungstabelle
Messsignal U
[V]
< 0.5
0.5...1.96
1.96
2.2
3.0
3.8
4.6
5.4
6.2
7.0
7.8
8.6
8.6...10.5
Umrechnungskurven
Druck p
[Torr]
[mbar]
[Pa]
Druck p
1E00
Pa
1E01
mbar
1E03
torr
1E06
overrange
1E05
underrange
1E04
sensor error
1E02
1E07
1E08
1E09
1E10
1E11
0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 3.5 4.0 4.5 5.0 5.5 6.0 6.5 7.0 7.5 8.0 8.5 9.0 9.5 10.0 10.5
Messsignal U [V]
Umrechnungsformeln
U = c + 0.8log10 p
(0206)
IKR 270
p = 101.25U-d
[V]
[mbar]
10.2
12.75
[V]
[micron]
7.9
9.875
[V]
[bar]
7.8
9.75
[V]
[Pa]
8.6
10.75
[V]
[Torr]
10.3
12.875
[V]
[kPa]
11.0
13.75
[V]
[mTorr]
7.9
9.875
wobei U
p
c, d
BG 805 008 BD / A
Messsignal
Druck
Konstanten (abhngig
von der Druckeinheit)
gltig im
Bereich
110
-11
7.510
-2
-12
-3
-9
21
B:
Gasartabhngigkeit
Angezeigter Druck
(Messrhre fr Luft geeicht)
p (mbar)
Luft / Air
O2
CO
Ar N2 H2 Ne He
Xe Kr
10
8
6
4
2
104
8
6
4
2
105
8
6
4
2
106
8
6
4
2
107
107 2
106 2
105 2
104 2
103 2
4 6 102
peff (mbar)
Im Bereich unter 10-5 mbar ist die Anzeige linear. Fr andere Gase als Luft knnen
der Druck durch eine einfache Umrechnung ermittelt werden:
peff = K angezeigter Druck
wobei
Gasart
1.0
0.4
0.5
0.8
2.4
4.1
5.9
Hinweis
Oft hat man es mit Gemischen aus Gasen und Dmpfen zu tun. Eine
genaue Erfassung ist in diesen Fllen nur mit Partialdruck-Messgerten mglich, z.B. mit einem Quadrupol-Massenspektrometer.
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BG 805 008 BD / A
(0206)
IKR 270
Kontaminationserklrung
Die Reparatur und/oder die Wartung von Vakuumgerten und -komponenten wird nur durchgefhrt, wenn eine korrekt und vollstndig ausgefllte Kontaminationserklrung vorliegt. Sonst kommt es zu Verzgerungen der Arbeiten.
Diese Erklrung darf nur von autorisiertem Fachpersonal ausgefllt (in Druckbuchstaben) und unterschrieben werden.
Typenbezeichnung
Artikelnummer
Seriennummer
Verwendete(s) Betriebsmittel
nein q
ja q
tzend
nein q
ja q
mikrobiologisch
nein q
ja q *)
explosiv
nein q
ja q *)
radioaktiv
nein q
ja q *)
sonstige Schadstoffe
nein q
ja q
*) Derart kontaminierte
Produkte werden nur
bei Nachweis einer
vorschriftsmssigen
Dekontaminierung
entgegengenommen!
Chemische Bezeichnung
(evtl. auch Formel)
Gefahrenklasse
Erste Hilfe
bei Unfllen
Rechtsverbindliche Erklrung
Hiermit versichere(n) ich/wir, dass die Angaben korrekt und vollstndig sind. Der Versand des kontaminierten Produkts erfllt die
gesetzlichen Bestimmungen.
Firma/Institut
Strasse
PLZ, Ort
Telefon
Telefax
E-Mail
Name
Firmenstempel
Verteiler: Original an den Adressaten - 1 Kopie zu den Begleitpapieren - 1 Kopie fr den Absender
BG 805 008 BD / A
(0206)
IKR 270
23
Berliner Strasse 43
D35614 Asslar
Deutschland
Tel +49 (0) 6441 802-0
Fax +49 (0) 6441 802-202
info@pfeiffer-vacuum.de
bg805008bd/ a
www.pfeiffer-vacuum.de