Captulo V

Deteco de Vazamentos
Introduo
Em dcadas recentes as exigncias relativas estanqueidade de cmaras, sistemas de vcuo e
plantas de vcuo aumentaram consideravelmente. O teste de vazamento, como usualmente
denominado o teste de estanqueidade, no somente aplicvel a sistemas de vcuo, mas tambm a
uma ampla gama de produtos industriais, como vasos de presso para gases e lquidos,
refrigeradores e freezers, e produtos especiais como rels, termostatos e componentes eletrnicos.
Pacotes, canecas metlicas, caixas e materiais plsticos de todos os tipos exigem cada vez mais testes
de estanqueidade a fim de poderem ser transportados pelos diversos meios disponveis na nossa
sociedade (correios, via area, trens, etc.) sem oferecer perigo devido a vazamentos de substncias
venenosas, radioativas ou quimicamente reativas, e tambm protegendo o meio ambiente.
Usualmente, no s necessrio determinar-se a estanqueidade de um sistema, mas, no caso de
comprovao de vazamento, tambm necessrio determinar-se a sua magnitude, se de mltipla
origem e sua localizao precisa, de modo a se poder retir-lo.
Idealmente, uma cmara de vcuo deveria manter para sempre a presso final atingida
durante o bombeamento aps ser isolada da bomba de vcuo. No entanto, a experincia mostra que
toda cmara real apresenta um aumento de presso aps ser isolada do sistema de bombas. O
aumento de presso observado provm do gs que se origina das paredes por dessoro ou por
permeao, ou ento de vazamentos propriamente ditos. Por vazamentos entendemos a entrada de ar
na cmara atravs de um pequeno orifcio na parede, de uma pequena fenda ou trinca em alguma
junta soldada ou de um risco radial na superfcie de uma flange ou em um canal de anel de vedao.
Podemos ter tambm conjuntos de poros, denominados porosidade, originria de processos de
manufatura ou de oxidao na soldagem dos materiais da cmara. Estes caminhos de penetrao do
gs externo na cmara podem ser pequenos, quando o fluxo de gs pequeno, ou vice-versa. Para
poder-se dizer se um vazamento grande ou pequeno, se ele pode ser tolerado ou no em um
sistema de vcuo, necessrio ter uma maneira quantitativa de se dizer se ele pequeno ou grande.
Para isso, usamos o conceito de taxa de vazamento, definida como sendo a quantidade de gs
entrando na unidade de tempo no sistema ou cmara de vcuo. Uma maneira muito conveniente de
medir a quantidade de gs a mesma da vazo de massa, exprimindo o fluxo de massa do gs em
unidades como torr.l/s ou torr.cm3/s. Indiretamente, a taxa de vazamento tambm pode ser expressa
pelo aumento de presso no sistema em um determinado intervalo de tempo por unidade de volume
do sistema. Algumas vezes se usa tambm o tempo necessrio para uma determinada quantidade de
gs entrar no sistema pelo vazamento. A tabela 5.1 compara algumas das especificaes usuais.
O fato de uma cmara possuir vazamentos no a torna, necessariamente, imprestvel para ser
usada como cmara de vcuo. A deciso de us-la ou no vai depender da presso de trabalho e do
processo a ser realizado nesta cmara. Se a presso final de trabalho relativamente alta, como
ocorre para trabalho em baixo vcuo, e o vazamento pequeno, de modo que no impea atingir-se
a presso de trabalho em tempo razovel, e o processo a ser realizado no afetado pela presena de
ar e umidade que continuamente esto a adentrar a cmara, ento o vazamento tolervel, e no h
necessidade de se dispender tempo e esforo em localiz-lo e depois san-lo. No entanto, se o
vazamento impede atingir-se a presso de trabalho, ou se faz com que o tempo para atingi-la fique
1

muito grande, e se o processo a se realizar na cmara afetado pela contnua entrada de gs e

umidade, ento imperativo localizar-se e sanar-se o vazamento.
Tabela 5.1 : especificaes sobre taxas de vazamento (tab. 7.25, pg 439, Roth.)

Em geral, havendo suspeita de vazamento, necessrio determinar-se se ele realmente existe.

Em geral, a colocao em grfico do valor da presso em funo do tempo pode ajudar nesta
identificao (Fig. 5.1).

Fig. 5.1: Curvas presso versus tempo (fig. 7.69, pg. 441, Roth)

Inicialmente o sistema evacuado a uma presso mnima estvel (eventualmente utilizando-se uma
armadilha de nitrognio lquido, se for o caso, para minimizar o efeito de vapores presentes no
sistema). Quando a presso se estabiliza, a bomba (ou sistema de bombeamento) isolada(o) da
cmara, e os valores de presso em funo do tempo so graficados por um tempo suficientemente
2

longo. Se o aumento de presso provocado apenas por vazamento, a presso aumentar

linearmente, como mostrado pela curva 1 da Fig. 5.1. Se for originrio de dessoro, teremos uma
curva que mostra saturao, como a curva 2 da Fig. 5.1. Se ambos os mecanismos estiverem
presentes, a curva resultante ser a composio das duas anteriores, como a curva 3 da Fig. 5.1. Este
critrio para a determinao da existncia de vazamentos algo subjetivo, e no permite distinguir
um vazamento real de um assim denominado vazamento virtual, que corresponde a se ter dentro do
sistema de vcuo uma fonte de gs proveniente de pequenos reservatrios ou pequenas cavidades
isolados da cmara principal por impedncias relativamente grandes, tais como pequenos canais
porosos, ou aberturas de pequeno dimetro (por exemplo, roscas de parafusos). Estas pequenas
cavidades demandam tempo muito maior para serem evacuadas que a cmara grande, e podem dar
origem a aumentos de presso, durante os testes de vazamentos, idnticos aos observados para
vazamentos verdadeiros. Evitar a presena de vazamentos virtuais funo de um bom projeto para
a cmara de vcuo.
Medidas de taxas de vazamentos
Em geral, a medida da taxa de vazamento diz respeito ao vazamento total de uma cmara,
embora muitas vezes seja necessrio especificar a taxa de vazamento de um vazamento individual em
particular. No que se segue, frente aos mtodos de medida, vamos trabalhar com vazamentos totais.
Em geral, tambm, na tecnologia de vcuo usa-se um gs de teste para a determinao de
vazamentos, que deve estar em contacto com toda a superfcie a ser testada, enquanto o elemento
sensor para este gs colocado no outro lado da superfcie. As medidas de vazamento so
classificadas em estticas e dinmicas.

Fig. 5.2: Mtodo dinmico de medida de vazamentos. a) sistema pressurizado; b) envoltrio pressurizado. 1
bomba; 2 detector de vazamento; 3 envelope; 4 sistema sob teste; 5 recipiente do gs de teste. (fig.
7.70, pg. 446 Roth)

No caso esttico, a cmara ou dispositivo sendo testado pressurizado com o gs de teste e

colocado dentro de uma cmara de teste que inicialmente no contm o gs de teste, e a
3

concentrao deste gs dentro da cmara de teste ento monitorada em funo do tempo. Este
mtodo denominado teste de acumulao. A medida interpretada utilizando-se a expresso
dP
(1), em que Q a taxa de vazamento, V o volume da cmara de teste, P a presso do
Q V
dt
gs de teste no volume da cmara de teste e t o tempo de acumulao.
No caso dinmico, o sistema ou cmara sendo testado bombeado continuamente. O gs de
teste fluindo na bomba passa atravs de uma seco com detector sensvel ao gs, onde sua
concentrao continuamente medida. O teste pode ser feito pressurizando continuamente o sistema
ou cmara (Fig. 5.2a) e o colocando em outra cmara ou envelope que ligado ao sensor do gs. Ou
pode ser feito bombeando-se continuamente a cmara ou sistema, ao qual o sensor do gs ligado, e
colocando o gs de teste no envelope (Fig. 5.2b), ou mesmo deixando a cmara na atmosfera, e
aspergindo o gs de teste na superfcie da cmara.
Quando o gs de teste adentra um sistema sendo testado atravs de vazamentos com taxa Q,
dP Q
a taxa de aumento da presso
(2), com V = volume do sistema. Se simultaneamente a
dt
V
dP
Q P S (3), com S a velocidade de
dt
bombeamento e P a presso do sistema. Integrando esta equao, e para o caso em que a presso

cmara est sendo bombeada, o balano resulta em

inicial do gs de teste zero, temos

t

V
ln 1
S

PS
Q

Q
1
S

S
t
V

(4) ou, exprimindo em termos de tempo,

(5). Para longos tempos de bombeamento, o termo exponencial na eq. 4

Q
(6), determinada pela taxa de vazamento e
S
pela velocidade de bombeamento da bomba sendo utilizada. O tempo requerido para atingir o
equilbrio (eq. 5) mostrado na Fig. 5.3 para trs exemplos.

reduz-se a zero, e a presso final dada por

Fig. 5.3: Tempos de resposta de um sistema (fig. 7.71, pg. 448 Roth)

No caso da curva 1, temos V = 10 l, S = 1 l/s e V/S = 10 s, e o detector requer 10 s para atingir

1 e- 1 = 0,63 do sinal mais baixo para a presso, sendo que a presso final de equilbrio atingida
4

aps aproximadamente 1 min de bombeamento. No caso do curva 2, temos V = 100 l, S = 1 l/s e

V/S = 100 s, no intervalo de tempo de 10 s a presso atinge apenas 1 e-0,1 = 0,095 ( 10%) do
valor final, que s atingido aps aproximadamente 10 min. Aumentando a velocidade de
bombeamento como no caso da curva 3 (V = 100 l, S = 5 l/s, V/S = 20 s) o tempo a atingir o sinal
ltimo o mesmo que no caso 1, mas o valor deste sinal (a presso final) abaixado para 20% do
seu valor alcanado no caso 1.
Quando removendo o gs de teste do sistema (limpeza, bombeamento, ou desligamento da
Pt
dP P S
V
fonte do gs), o processo expresso por
(8) e
(7), e assim t
ln
dt
V
S
P0

( )

Pt
P0

S
t
V

(9), com Pt e P0 sendo as presses no tempo t e no tempo zero. A equao 9

graficada do lado direito da Fig. 5.3 para os trs casos considerados. V-se que nos casos 1 e 3 a
limpeza feita rapidamente, enquando no caso 2 o tempo para isso considervel.
O tempo de resposta e o tempo de limpeza so determinados pela constante de tempo do
V
sistema
(10, eq. 36, cap 4), e assim a resposta do detector e o tempo de limpeza podem ser
S
expressos como valores vlidos para qualquer sistema (ver Fig. 4.3). O tempo de resposta
usualmente entendido como o tempo necessrio para alcanar 1 e-1 = 0,63 do sinal de equilbrio,
enquanto o tempo de limpeza o tempo necessrio para reduzir, pelo bombeamento, o sinal a e-1 =
0,37 do seu valor inicial.
Para aumentar a sensibilidade do teste frequentemente sugere-se que o detector de
vazamentos seja colocado entre a bomba difusora e a bomba mecnica primria, ou seja, do lado de
alta presso ao invz do lado de baixa presso do sistema de vcuo (Fig. 5.4).

Fig. 5.4: Localizaes alternativas para o detector de vazamento: a) lado de alto vcuo; b) lado de baixo
vcuo. 1 bomba do detector de vazamento; 2 detector de vazamento; 3 envelope; 4 sistema em teste; 5
recipiente do gs de teste; 6 bomba difusora; 7 tanque de lastro; 8 - bomba mecnica. (fig. 7.72 Roth,
pg. 450.)

O ganho em sensibilidade depende do fator que limita a sensibilidade final do teste. Em sistemas
limpos, a sensibilidade final pode ser limitada pela sensibilidade presso parcial do detector. Neste
caso, a amplificao em presso obtida no lado de baixo vcuo (alta presso) resultar em um ganho
de sensibilidade. Em um sistema contaminado, ou na situao de procurar um pequeno vazamento na
5

presena de vazamentos maiores, a sensibilidade geralmente limitada pela resoluo do detector

para distinguir a presso parcial do gs de teste diante da presso total (presso de fundo, ou
background). Neste caso, a colocao do detector no lado de baixo vcuo resulta na amplificao
simultnea do sinal do gs de teste e da presso de fundo, e, a menos que bombas seletivas sejam
empregadas, no se obtm nenhum ganho de sensibilidade.
Se o detector de vazamentos ligado na linha de alta presso (baixo vcuo) da bomba
difusora, a bomba mecnica primria retira gs do sistema em um processo de batelada, o que
provoca flutuaes na presso que o detector mede, aumentando o rudo do detector. Este efeito
pode ser minimizado colocando-se o detector entre duas bombas difusoras, ou utilizando um volume
de lastro, ou ainda usando uma vlvula (Fig. 5.4).
Deteco de vazamentos em vcuos relativamente baixos (por exemplo, 0,2 torr) pode ser
feito usando um mtodo em que o sistema sob teste ligado na sada da bomba difusora, entre esta e
a bomba mecnica primria, enquanto que o detector de vazamentos ligado na entrada da bomba
difusora (lado de alto vcuo da bomba). O gs de teste detectado por retro-difuso atravz da
bomba difusora.
Localizao de vazamentos
Tem-se duas tcnicas para a localizao de vazamentos: o uso de ponta de prova marcadora
e o uso de ponta de prova detectora (Fig. 5.5).

Fig. 5.5: Tcnicas de localizao de vazamentos: a) ponta de prova marcadora; b) ponta de prova cheiradora.
1 bomba; 2 detector de vazamento; 3 sistema em teste; 4 ponta de prova; 5 recipiente do gs de teste.
(fig. 7.73 Roth, pg 451)

No caso do uso de ponta de prova marcadora, um fino fluxo do gs de teste dirigido rea
suspeita de ter um vazamento, e o gs que penetra neste vazamento bombeado pelo sistema
detector. No caso da tcnica da ponta de prova detectora (tambm chamada cheiradora) o sistema
em teste preenchido com o gs de teste e a ponta de prova detectora, ligada ao detector, passada
pelas reas suspeitas, de modo a receber o gs de troca quando passa por um vazamento que deixa o
gs de teste escapar do sistema.
A tcnica da ponta de prova marcadora mais sensvel do que a da ponta de prova
detectora, embora esta deva ser usada quando: a) o sistema tiver que ser testado pressurizado; b) o
6

gs de teste pode ser facilmente absorvido pelas superfcies dos vazamentos; c) o detector tem um
sensor que pode ser operado em presso atmosfrica. A tcnica da ponta marcadora deve ser usada
quando: a) o sensor do detector tem que ser evacuado para ser usado; b) a deteco de vazamentos
feita no modo dinmico.
Mtodos sensveis de deteco de vazamentos

Detector de gases halgenos

Este detector foi desenvolvido em 1948 e lana mo de um filamento de platina aquecido ao
rubro ( 900oC) que emite ions positivos. A presena de pequenos traos de vapores halgenos (Cl,
F, Br, I) aumenta marcadamente a emisso dos ions positivos, e este aumento na emisso de ions
que usada para a deteco de vazamentos. O detector (Fig. 5.6) consiste de um cilindro de platina
montado

Fig. 5.6: Diagrama do detector de vazamento base de halgenos: 1 elemento aquecedor; 2 cilindro de
platina; 3 cilindro externo; 4 fluxo de ar. (fig. 7.76 Roth, pg. 454)
em uma resistncia eltrica isolada com cermica colocada no cilindro de platina. Este conjunto colocado
centrado em um cilindro metlico externo. O cilindro de platina feito positivo (100 a 500 V) em relao ao
cilindro externo, e a corrente inica lida em um microampermetro. O detector halgeno mais eficiente
como detector de vazamento quando colocado dentro do sistema a ser testado, e usando uma ponta de prova
marcadora com freon como gs de teste (ou outro gs contendo um halgeno).

Uma das caractersticas do detector halgeno o efeito memria que ele apresenta,
requerendo longos tempos de limpeza aps ser exposto ao gs de teste, normalmente usando como
gs de limpeza um gs isento de halognios. A sensibilidade deste tipo de sensor apropriada para
vazamentos mdios.
Detectores usando medidores de vcuo

Estes detectores baseiam-se no fato de que a maioria dos medidores de vcuo tm sua resposta
dependente do tipo de gs que forma a atmosfera em que esto, ou seja, so seletivos ao tipo de gs. Portanto,
se a composio da atmosfera do sistema em que o medidor est se altera, a leitura do medidor se alterar
tambm, e este fato usado para a deteco de vazamentos, que consistir em espargir um gs de teste na rea
suspeita de ter vazamento e observar a resposta do medidor de vcuo medida que o gs penetra no sistema
pelo vazamento (Fig. 5.7).

Fig. 5.7: Deteco de vazamento usando medidor de vcuo. 1 bomba primria; 2 bomba difusora; 3
condutncia; 4 sistema em teste; 5 medidor de vcuo; 6 ponta de prova com gs de teste. (fig. 7.77 Roth,
pg. 454)

Este procedimento bastante popular porque um sistema de vcuo normalmente possui um

ou dois medidores acoplados a ele. Uma limitao do mtodo, todavia, que ele em geral se aplica
apenas a vazamentos grandes, pois a sensibilidade dos medidores de vcuo (como os Pirani e os de
ionizao, ver cap. sobre medidores), a diversos gases de teste relativamente baixa. Como regra
emprica, deve-se usar gs de teste de baixa viscosidade e alto peso molecular. Por isso, tem-se
normalmente uma grande popularidade para lquidos como ter, acetona, tetracloreto de carbono,
embora o seu uso no seja recomendado porque podem mascarar o vazamento tapando-o
temporariamente, seja por arraste de partculas ou por dissoluo de graxas ou gorduras que ficam
no vazamento quando o lquido evapora. Por isso, gases como butano e CO2 so usualmente
recomendados para este tipo de teste. Pode-se usar para teste as seguintes configuraes: a) medidor
nico; b) medidor de vcuo com barreira que admita apenas o gs de teste (por exemplo, hidrognio
e paldio); c) dois medidores idnticos em montagem diferencial.
Detectores usando espectrmetros de massa
Os espectrmetros de massa so instrumentos em que molculas do gs da atmosfera em que
esto so ionizadas, aceleradas para uma regio que as discrimina pela massa que possuem, e
finalmente so detectadas em um detector inico apropriado. Os mtodos de ionizao so os usuais,
utilizando-se choques com eltrons gerados por termoemisso. A acelerao destas molculas feita
8

por meio de campos eltricos apropriados, enquanto que sua discriminao ou separao em grupos
feita por campos magnticos, por ressonncia ou por tempo de vo.
Um primeiro tipo de espectrmetro de massa o de deflexo por campo magntico. A
corrente inica gerada pelo bombardeamento de molculas por eltrons em um pequeno
receptculo (Fig. 5.8). Os ons assim formados so retirados deste receptculo atravs de uma fenda
estreita utilizando-se um campo eltrico, e defletidos de um ngulo variando de 60 a 180 graus (Fig.
5.8) por um campo magntico perpendicular sua trajetria. Variando o valor do campo magntico
e da voltagem de acelerao todos os ions de uma determinada relao carga/massa so focalizados
na fenda coletora do detector inico. A intensidade do sinal a registrada proporcional quantidade
de ons acelerados, ou seja, proporcional sua presso parcial na atmosfera de onde os ons foram
retirados. Por este motivo, os espectrmetros de massa tambm so muito utilizados para a medida
de presses parciais no intervalo desde 10-4 at 10-15 torr. Os gases constituntes da atmosfera so
determinados fazendo-se uma varredura voltagem/campo magntico, e registrando as intensidades
dos ons em funo da massa inica.

Fig. 5.8: Esquema de espectrmetro de massa de setor magntico. a) instrumento tipo setor; b) instrumento de
deflexo de 180 graus. 1 filamento; 2 coletor de eltrons; 3 eletrodos focalizadores; 4 feixe inico; 5
campo magntico (perpendicular ao plano da figura); 6 coletor de ons; 7 cmara de ionisao; 8 coletor
de ons; 9 campo magntico. (fig. 6.41 Roth, pg. 328)

Um segundo tipo de espectrmetro de massa o denominado trocoidal ou cicloidal, nos

quais os ons so defletidos por campos estticos eltrico e magntico cruzados (Fig. 5.9). Neste
arranjo, os ons seguem trajetrias trocoidais ou cicloidais, que so funo dos valores dos campos
eltrico e magntico, de modo que, ajustando-os, pode-se selecionar as massas que atingiro o
detector de ons. O instrumento tem duas fendas fixas e, mantendo constante o campo magntico e
variando o campo eltrico, ons de uma determinada razo carga/massa que se originam atrs de uma
9

fenda podem ser feitos atravessar a outra fenda e atingir o detector inico. Um espectro de massa
obtido ao se fazer a varredura do campo eltrico.
Um terceiro tipo de espectrmetro de massa o denominado omegatron (Fig. 5.10), que
utiliza o conceito de ressonncia ciclotrnica. Os ons positivos movem-se em um plano
perpendicular a um campo magntico constante e so acelerados em trajetrias helicoidais de raio
crescente (espiral de Arquimedes) atravs do uso de um campo eltrico senoidalmente alternado.
Este esquema lembra o da ressonncia ciclotrnica. No omegatron, um fino feixe de eltrons passa
de um filamento que os emite a um coletor na outra extremidade, como ilustrado na Fig. 5.10, ao
longo da linha central do instrumento. Acima e abaixo do feixe eletrnico esto duas placas metlicas
que fornecem o campo eltrico de rdio frequncia (RF). ons que so formados por impactos na
regio central do feixe de eltrons so acelerados por este campo, e se a frequncia de ressonncia
destes ons no campo magntico a mesma frequncia do campo de RF, os ons seguem trajetrias
helicoidais, pois estaro ganhando energia continuamente, o que faz com que os raios de suas
trajetrias aumentem continuamente, at que eles atinjam o detector inico. Os ons cujas
frequncias no so iguais do campo de RF no ganham energia continuamente, e por isso ficam
oscilando na regio central do instrumento. A discriminao em massa feita variando a frequncia
RF do campo eltrico. Estes instrumentos podem medir presses parciais de 10-5 torr a 10-11 torr.

Fig. 5.9: Esquema de espectrmetro de massa trocoidal: 1- fonte de ons; 2 coletor de ons; 3 placas do
campo eltrico; 4 campo magntico perpendicular ao plano da figura. (fig. 6.43 Roth, pg. 331)

Um quarto tipo de espectrmetro de massa o denominado quadrupolo, que no requer a

presena de um campo magntico para o seu funcionamento, podendo, portanto, ser bastante
pequeno comparado com os anteriores. O instrumento (Fig. 5.12) consiste de 4 hastes cilndricas s
quais aplicada uma combinao de campos eltricos (ou voltagens) esttico (DC) e alternado. Para
uma dada frequncia do campo apenas ons de um valor particular de carga/massa passam atravs do
espectrmetro e atingem o coletor de ons. A discriminao em massa feita variando a frequncia
deste campo, ou variando o campo esttico. Estes instrumentos podem trabalhar a partir de 10-5 torr
e conseguem detectar presses parciais at da ordem de 10-12 torr.

10

Fig. 5.10: Esquema do omegatron: 1 filamento; 2 coletor de eltrons; 3 placas de RF; 4 coletor de ons;
B campo magntico; E campo eltrico. (fig. 6.44 Roth, pg. 331)

Fig. 5.12: Esquema de espectrmetro de massa tipo quadrupolo: 1 filamento; 2 coletor de eltrons; 3
fenda de entrada; 4 varetas do quadrupolo; 5 coletor de ons. (fig. 6.47 Roth, pg. 335)

Uma variante deste tipo de instrumento o assim chamado espectrmetro monopolo, que
consiste de uma nica vareta cilndrica centrada na diagonal de duas placas planas formando um
ngulo de 90 graus entre si. Estas placas atuam como refletores que originam trs imagens
11

eletrostticas da vareta cilndrica, formando, portanto, um quadrupolo como no caso anterior.

Um quinto tipo de espectrmetro de massa o denominado espectrmetro de tempo de vo,
que consiste de uma fonte pulsada de ons e de um coletor de ons no lado oposto de um tubo
evacuado. Os ons so formados por bombardeamento de eltrons e acelerados em direo ao
coletor de ons por um ou por uma srie de campos eltricos. A discriminao em massa ocorre
atravs do tempo que diferentes ons levam para ser acelerados no campo eltrico. Este tipo de
instrumento capaz de detectar presses parciais at da ordem de 10-9 torr.
Detectores de Vazamento Base de Espectrmetros de Massa
A Fig. 5.13 mostra o arranjo esquemtico bsico de um detector de vazamento baseado em
um espectrmetro de massa (comparar com Fig. 5.4). O detector do gs de teste o espectrmetro
de massa MS, que evacuado pelo conjunto de bombas marcado 1, que no exemplo consiste de uma
bomba difusora e de uma bomba mecnica, cuja velocidade de bombeamento pode ser controlada,
dentro de certos limites, pela vlvula V1.
Embora diversos gases possam ser usados para a deteco de vazamentos, usual utilizar-se
como gs de teste o hlio, pois ele est bem separado em massa dos demais elementos, inerte e
um tomo extremamente pequeno, penetrando em vazamentos muito pequenos. Por isso, os
espectrmetros de massa so usualmente sintonizados para a sua massa. Para detectores bastante
sensveis, os espectrmetros de setor magntico so os mais indicados; por outro lado, devido ao seu
reduzido tamanho e sua flexibilidade, so muito convenientes os espectrmetros tipo quadrupolo
ou monopolo.

Fig. 5.13: Esquema de detector de vazamento com He. MS espectrmetro de massa; VP sistema em teste; 1
sistema de vcuo para o espectrmetro de massa; V1, V2, V3 vlvulas; Pv bomba primria; SM, SP
velocidades de bombeamento de 1 nas posies indicadas; qp,V taxa de vazamento. (Fig. 11.56 Wutz pg.
451)

Na Fig. 5.13 (ver tambm Fig. 5.4a) o espectrmetro de massa colocado na regio de alto
vcuo, ou seja, antes da entrada da bomba difusora. Este arranjo interessante, mas pode trazer
problemas para a operao do sistema quando se tem grandes vazamentos, pois, neste caso, pode-se
no alcanar a presso mxima de trabalho do espectrmetro de massa. Em geral, estes sistemas
tambm usam uma armadilha de LN2, e isto pode aumentar significativamente o tempo de
12

bombeamento do sistema. Para evitar estes problemas, usual colocar-se o espectrmetro de massa
na linha de baixo vcuo, entre a sada da difusora e a entrada da bomba mecnica, como ilustrado
pela Fig. 5.14 e a Fig. 5.4b. Note que na Fig. 5.14 tem-se uma bomba turbomolecular no lugar da
difusora, esta ltima mostrada na Fig. 5.4b.

Fig. 5.14: Esquema de deteco de vazamento pelo princpio do contrafluxo: 1 espectrmetro de massa; 2
bomba turbomolecular (ou difusora); 3 bomba primria; 4 sistema em teste; 5 ponta de prova
marcadora. (Fig. 11.60a Wutz, pg. 455)

Note que na Fig. 5.14 a bomba mecnica bombeia simultaneamente o sistema para o qual se quer
determinar a presena de vazamentos, e a bomba turbomolecular (ou difusora), que bombeia
exclusivamente o espectrmetro de massa. O princpio de funcionamento deste detector de
vazamento que a velocidade de bombeamento da bomba turbomolecular (ou da difusora) depende
da massa molecular a ser bombeada, e um tomo leve como o He pode retrodifundir pela bomba e
facilmente alcanar o espectrmetro de massa por contrafluxo, enquanto o mesmo no acontece para
os demais gases que compem a atmosfera.
Vazamentos Calibrados ou Vazamentos de Teste
Os detectores de vazamentos precisam ser periodicamente calibrados, para evitar problemas
originrios de deriva de componentes eletrnicos ou deteriorao do sensor de ons. Esta calibrao
feita com o uso de vazamentos calibrados, ou vazamentos de teste, que so dispositivos capazes de
fornecer um fluxo conhecido, contnuo e constante de He, com o qual a indicao do aparelho
sempre feita coincidir. Vamos descrever dois tipos mais comuns, o vazamento calibrado tipo capilar
e o de reservatrio de He, tambm designado vazamento por difuso ou permeao.
Vazamento calibrado tipo capilar
A Fig. 5.15 descreve esquematicamente um vazamento calibrado deste tipo, que consiste de
um capilar de vidro (4) colocado no interior de um tubo de ao inox (5). Tanto na entrada de gs (6)
quanto na sada (3) o capilar protegido de contaminao por filtros sinterizados, que devem ser
periodicamente limpos. A fonte de He um balo de borracha (tipo cmara de bola de futebol) cheio
do gs, que ligado entrada (6), enquanto a sada (3) conectada ao detector de vazamento
atravs da conexo (2). A preparao do vazamento calibrado feita abrindo-se a vlvula 1 e
pressionando-se o balo de borracha para a retirada de ar e o total preenchimento do dispositivo com
13

He. Aps isso, a vlvula 1 fechada, e est-se pronto para a calibrao. O fluxo de He, e portanto, a
taxa de vazamento, determinado pelas dimenses geomtricas do capilar, e esto na faixa de 10-5
mbar.l/s.

Fig. 5.15: Vazamento padro tipo capilar (ver texto) (Fig. 12.3 Wutz, pg. 481)
Vazamento calibrado tipo selado
A Fig. 5.16 mostra esquematicamente um vazamento calibrado do tipo selado, formado por
um

14

Fig. 5.16: Vazamento calibrado do tipo selado (ver texto) (fig. 12.5 Wutz, pg 483)
cilindro de ao inox (5) cheio de He, dentro do qual colocado um tubo de vidro que produz um
fluxo constant de He atravs de permeao pela parede de vidro. Este tubo de vidro est ligado a
uma vlvula (1), que por sua vez pode ser ligada entrada do detector de vazamento atravs da
flange 2. Na outra extremidade do tubo 5 est a extremidade do tubo de re-enchimento (6) do
dispositivo, devidamente protegida. A presso constante no reservatrio e alto vcuo no detector, a
taxa de vazamento deste dispositivo tipicamente 5.10-8 mbar.l/s. Cada vazamento calibrado tem a
sua taxa de vazamento, determinada pelo fabricante, rotulada no seu corpo, e esse valor que
usado para calibrar os detectores de vazamento. Um vazamento calibrado deste tipo pode fornecer a
mesma taxa de vazamento por muitos anos.

15