UNIVERSIDAD NACIONAL DEL SANTA

Qumica Analtica: Grupo D

MICRO
SCOPI
A
ELECT
RNIC
A DE
BARRI
DO O
SEM

UNIVERSIDAD

FACULT
E.A.P. INGENIERA
CURSO: QUMICA ANALTICA
DOCENTE: Daniel Snchez Vaca
CICLO: III
INTEGRANTES:
Anticona Alcntara Dreisy Estephany
Cceres Pereda Meryshell
Cruz Prez Sheyla
Fernndez Solrzano Celeste Alexandra
Gamboa Aguilar Bryan Alexis
Huamn Lin Lucy
Huincho Aquio Sonia
Jimnez Pea Carlos Richard
Luera Dominguez Royder Santos
Matos Medina Ivonne Yadira
Nez Morales Seleny
Ortecho Kuriaki Jos
Sandoval Cerna Gary Steve
Terrones Rosales Ruth
Vsquez Villacorta Nelly Sofa

NDICE

INTRODUCCIN
Desde finales del Siglo XIX resultaba evidente a partir de los trabajos de Abbe que mediante la
iluminacin con ondas electromagnticas no era posible mejorar significativamente la resolucin del
microscopio ptico, simultneamente, mientras realizaba estudios con tubos de rayos catdicos,
J.J. Thomson descubri los electrones, partculas que luego jugaran un papel decisivo en los
microscopios de nuevo tipo que se avecinaban.
En un inicio se vio que los electrones se manifestaban de forma compatible con las propiedades
corpusculares y no exista en la Fsica la idea de que las partculas pudieran presentar un
comportamiento dual.

En el ao 1924 D`Broglie sacude los cimientos del conocimiento de su poca al enunciar el carcter
ondulatorio de los electrones y asignarles longitudes de ondas dependientes de sus energas. Este
planteamiento terico, que luego fue confirmado, sent las bases para que se pensara en los
electrones tambin como una onda.
En el ao 1926 Busch presenta el diseo de una lente electromagntica; de acuerdo a sus
enunciados sera posible enfocar un haz de electrones de la misma forma que en la ptica se
enfoca la luz mediante los lentes.
Este aporte sin dudas signific el establecimiento del ltimo requisito necesario para que fuera
construido un Microscopio Electrnico de Transmisin, mrito que correspondi a E. Ruska y M.
Knoll en 1933, invencin que le vali al primero el Premio Nobel de Fsica en 1986.
A la obtencin del Microscopio Electrnico de Transmisin (MET) sigui la propuesta del
Microscopio Electrnico de Barrido (MEB) por el propio Knoll en 1935; no obstante, el vertiginoso
desarrollo que llev en muy poco tiempo a la obtencin del MET y que culmin en 1939 con la
obtencin del primer equipo comercial por parte de Siemens, no se produjo en el caso de MEB y
fue necesario esperar 30 aos, a partir de los trabajos de Knoll, para que el primer MEB saliera al
mercado.
La explicacin de esta demora fue tecnolgica y entre ellas se encontraban los efectos causados
por las aberraciones, las dificultades para lograr un sistema de barrido con el debido sincronismo y
la necesidad de un sistema de deteccin con suficiente rapidez de respuesta. Al solucionar los
problemas planteados se dedicaron numerosos cientficos en diferentes partes del mundo.
En el ao 1938 M. von Ardenne introduce un sistema de barrido en un MET, dando lugar a un nuevo
tipo de equipo, el Microscopio Electrnico de Barrido-Transmisin (MEBT).
Un ao despus Boersch logra haces electrnicos del orden de los 2,5nm, factor determinante
cuando se quiere alcanzar resoluciones elevadas.
En el ao 1942 se produce un salto considerable en el desarrollo del MEB con los trabajos que
desarrollan Zworykin y un conjunto de colaboradores.
En el Microscopio desarrollado por Zworykin sobresalen la introduccin de un Detector de
Electrones Secundarios (DES), al cual se le aplic una carga de recoleccin de +50V, as como un
Tubo Foto Multiplicador (TFM). Estos aportes a este microscopio solo lleg a una resolucin del
orden de los 50nm y aumentos de 8,000x lo que lamentablemente desestimul a sus creadores que
no continuaron los trabajos.
En 1948, bajo un proyecto dirigido por C.W. Oatley, McMullan desarrolla una columna muy eficaz
basada en lentes electromagnticas, logra una fuente estable de alto voltaje para alimentar el
filamento e introduce el Tubo de Rayos Catdicos (TRC) como sistema de registro y observacin de

las imgenes, aportes que representaron un importante avance en el desarrollo de

la Microscopa Electrnica de Barrido.
En el ao 1956 ocurre otro avance importante cuando K.C.A. Smith introduce el procesamiento no
lineal de las seales, el barrido con doble deflexin del haz y la correccin electromagntica del
astigmatismo, as como un sistema eficaz de centrado de las aperturas.
Dando continuidad a los trabajos de McMullan, Smith, Everjart y Thornly desarrollan en 1960 un
detector basado en el empleo de un dispositivo centellador, una gua de luz y un TFM. Este detector
signific un aporte tal, que permanece como estndar sin variaciones significativas de su
concepcin y sin dudas fue la antesala de la salida del MEB al mercado.
En los aos 60 varios fabricantes de Microscopios Electrnicos trabajaron en el desarrollo de un
equipo que pudiera ser comercializado, este logro le correspondi a la Cambridge Scientific
Instruments con el MARK I STEREOSCAN, equipo que sale al mercado en diciembre de 1965,
seguido muy de cerca por JEOL, que comercializa su primer MEB en enero de 1966.
El desarrollo del Microscopio Electrnico de Barrido no se detuvo con la salida al mercado del
primer microscopio. Un aporte importante a este desarrollo estuvo relacionado con el mejoramiento
de las fuentes de iluminacin. Hasta ese momento los filamentos de Wolframio dominaban este
importante componente del equipo, pero en 1969 Broers introduce el filamento de LaB6, mientras
que casi simultneamente Crewe realiza sus trabajos que destacan las ventajas como fuente del
Can de Efecto de Campo.
En la dcada del 70 se producen diferentes mejoras y refinamientos sobre todo en las lentes de los
microscopios y en el desarrollo de diferentes sistemas de deteccin, hasta que en 1985 la firma
Carl Zeiss obtiene un resultado importante al introducir el primer MEB en el cual el barrido no era
controlado de forma analgica sino digital, este aporte luego sera determinante para lograr Mapeos
de Rayos X mucho ms eficaces, y para corregir defectos de imagen por acumulacin de cargas en
el espcimen.
En el ao 1986 surge la Microscopa Electrnica de Barrido controlada mediante computadora. En
este momento eran computadoras de propsito especfico y a estos equipos se les llam de 1era.
Generacin, para diferenciarlos de los que surgieron en el ao 1992, llamados de 2da. Generacin,
en los que una computadora personal tomaba el control del sistema.
Estos dos aportes fueron logrados por LEO, firma heredera de la Cambridge Scientific Instruments,
que haba logrado el primer MEB comercial. A finales de la dcada del 80, pero sobre todo en los
aos 90, tuvo lugar otro avance importante en la Microscopa Electrnica de Barrido; hasta ese
momento, salvo en trabajos que luego no tuvieron continuidad (como los del propio Smith en 1956,
siempre se haba considerado como inevitable que la muestra que se observaba en el Microscopio
Electrnico deba estar al vaco, condicin que imponan tanto la duracin del filamento, como el
paso de los electrones por la columna, lo que deba ocurrir como un camino libre sin interacciones

que afectaran su movimiento. Pero en este perodo surgen diferentes opciones para diferenciar el
vaco del can y la columna, del correspondiente a la zona donde se encontraba la muestra.
En el desarrollo de tecnologas con esta finalidad, indiscutiblemente la Philips con sus Microscopios
Ambientales y la utilizacin de varias Aperturas Limitadoras del Vaco en sus diseos tuvo los
resultados ms significativos.
La Microscopa Electrnica de Barrido no se ha detenido. Han surgido otros Microscopios como los
de Fuerza Atmica con resoluciones superficiales a niveles atmicos, el MEB conserva un
importante sector en los requerimientos de gran cantidad de ramas del conocimiento humano.
En los ltimos aos se ha visto el surgimiento de la Microscopa Remota, que no solo facilita el
diagnstico de roturas a distancia sino incluso el que un equipo pueda ser compartido por usuarios
ubicados a grandes distancias.
Tambin se ha trabajado con xito en la obtencin de equipos inteligentes, capaces de fijar las
condiciones de trabajo con un alto grado de independencia, a partir de algunos datos elementales
sobre la muestra.

OBJETIVOS
1. Es un instrumento capaz de ofrecer un variado rango de informaciones procedentes de la
superficie de la muestra.
2. Permite enfocar los rayos catdicos (electrones) y obtener una imagen tridimensional, por el
examen de la superficie de las estructuras, permitiendo la observacin y la caracterizacin
de materiales orgnicos e inorgnicos, proporciona aumentos de 200.000 dimetros.
3. Los electrones acelerados, como toda carga elctrica en movimiento, producen una
radiacin electromagntica cuya longitud de onda es proporcionalmente inversa a la
velocidad, resultando varios rdenes de magnitud inferior a la luz visible.
4. Los rayos X que se generan en una muestra sometida a bombardeo electrnico permiten
identificar los elementos presentes y establecer su concentracin.

RESUMEN

La posibilidad de observar muestras ntegras y en sus tres dimensiones mediante la microscopa

electrnica, fue hecha realidad con la aparicin del microscopio electrnico de scanning (SEM) o de

barrido, en el ao 1965. Sin embargo, los conceptos bsicos para este tipo de microscopa fueron
propuestos por Knoll en 1935, tres aos despus de que Ruska y Knoll lo hicieran para el
microscopio electrnico de transmisin (TEM). Mientras que en el desarrollo de este ltimo se
hicieron grandes y rpidos progresos hasta el punto de que en 1939 Siemens y Halske
comercializaron el primer TEM, la microscopa de barrido tendra que esperar hasta que en 1965, la
Cambridge Instrument Co. lanzase el primer SEM. Desde entonces hasta la fecha, este tipo de
microscopa ha avanzado rpidamente constituyndose en una tcnica imprescindible en distintos
tipos de estudio, tanto sobre material biolgico como en el campo inorgnico.
En el presente informe daremos a conocer ms sobre la microscopa electrnica de barrido, los
principios, fundamentos, principales usos as como las marcas y precios de estos.

La

CAPTULO I

de

PRINCIPIOS

posibilidad
observar
muestras
ntegras

en 3D mediante la microscopa electrnica, fue hecha realidad con la aparicin del

microscopio electrnico de scanning (SEM) o de barrido, en el ao 1965. Sin embargo, los
conceptos bsicos para este tipo de microscopa fueron propuestos por Knoll en 1935, tres
aos despus de que Ruska y Knoll lo hicieran para el microscopio electrnico de
transmisin (TEM). Mientras que en el desarrollo de este ltimo se hicieron grandes y rpidos
progresos hasta el punto de que en 1939 Siemens y Halske comercializaron el primer TEM,
la microscopa de barrido tendra que esperar hasta que en 1965, la Cambridge Instrument
Co. lanzase el primer SEM. Desde entonces hasta la fecha, este tipo de microscopa ha

TEM

SEM

avanzado rpidamente constituyndose en una tcnica imprescindible en distintos tipos de

Necesidad de alto vaco

Necesidad de alto vaco

estudio, tanto sobre material biolgico como en el campo inorgnico. Aunque los

Haz electrnico
esttico
HazSEM
electrnico
mvil conviene recalcar cuales son los
fundamentos
tericos del TEM y del
son similares,
Haz electrnico
no puntualcomunes y que Haz
electrnico
puntual
puntos principales
diferencian
ambos
sistemas, a saber:
Necesidad de secciones ultrafinas

Muestras ntegras

Electrones transmitidos

Electrones secundarios

Lente proyectora

Ausencia de lente proyectara

Pantalla en el interior de la columna

Pantalla en tubo

Imagen en dos dimensiones

Brown Imagen tridimensional

Resolucin de 0,5 nm

Resolucin de 10 nm

Aumentos hasta 500.000

Aumentos hasta 140.000

Contraste qumico de la muestra

Contraste no qumico

1. PRINCIPIO DE FUNCIONAMIENTO
El microscopio electrnico de transmisin (TEM) fue el primer tipo de microscopio electrnico
desarrollado, en 1931. Utiliza un haz de electrones en lugar de luz para enfocar la muestra
consiguiendo aumentos de 100.000 X. Para ello emplea las propiedades ondulatorias de los
electrones porque genera imgenes de los objetos que no pueden verse a simple vista o con el
microscopio de luz. Segn las leyes de la ptica, es imposible formar una imagen de un objeto de
dimensiones inferiores a la mitad de la longitud de onda de la luz empleada para observarlo. Dado
que el intervalo de longitudes de onda de la luz visible comienza alrededor de 400 nanmetros
(00000004 metros), no es posible ver algo que mida menos de 00000002 metros.

En principio, con los rayos X se pueden ver objetos en la

escala atmica y molecular porque sus longitudes de onda
estn entre 0,01 y 10 nm. Sin embargo, no es posible
enfocar los rayos X, y las imgenes que se obtienen son
difusas. El microscopio electrnico, al trabajar con
partculas cargadas, los electrones, se enfocan aplicando
un campo elctrico o un campo magntico, de la misma
forma en que se enfoca una imagen en la pantalla de
televisin. Segn la mecnica cuntica, la longitud de
onda de un electrn est en proporcin inversa con su
velocidad, por lo que si los electrones

Micrografa (50X) con microscopa de

se

grandes velocidades, se obtienen

la piel con una glndula en el

longitudes

onda tan cortas como 0,004 nm.

aceleran

a
de

centro electrnica de barrido (SEM)

de las capas

En 1942 se desarroll el microscopio electrnico de barrido (SEM), con una resolucin entre 3 y 20
nm, dependiendo del microscopio. Aunque permite una menor capacidad de aumento que el
microscopio electrnico de transmisin, este permite apreciar con mayor facilidad texturas y objetos
en tres dimensiones que hayan sido pulverizados metlicamente antes de su observacin. Por esta
razn solamente pueden ser observados organismos muertos, y no se puede ir ms all de la
textura externa que se quiera ver. Los microscopios electrnicos slo pueden ofrecer imgenes en

blanco y negro puesto que no utilizan la luz. Posteriormente son coloreadas las imgenes digitales
para proporcionar ms realismo.
2. PRINCIPIOS FSICOS DEL MICROSCOPIO ELECTRNICO
2.1 PODER DE RESOLUCIN
Un microscopio es un instrumento diseado para hacer visibles objetos que el ojo no es capaz de
distinguir. Cuando los rayos de luz emitidos por un punto pasan a travs de una lente de apertura
semiangular alfa, se forma una imagen no mayor que un punto pero cuya intensidad se manifiesta
en forma del llamado disco de Airy (Fig.1). La distancia (D) entre los dos mnimos de dicho anillo
situados a ambos lados del pico de mxima intensidad viene dada por la expresin:

Donde
es

la

longitud
de onda
de la luz,
n

el

ndice
de

refraccin del material donde se encuentra el objeto y a la semiapertura numrica. Cuando dos
puntos emisores se encuentran muy prximos (Fig.2) las intensidades de ambos en la imagen final
se solapan. As, la resolucin de un sistema ptico se define como la distancia entre los mximos
cuando la intensidad mxima de un punto coincide con el primer mnimo del otro punto. Como se
puede deducir de la expresin [1], la resolucin no depende de ninguna propiedad de la lente a
excepcin de .

3. CARACTERISTICAS S.E.M.
El fundamento del SEM radica en que los electrones emitidos
por un ctodo de tungsteno pasan a travs de una columna
en la que se ha hecho un vaco de alrededor de 10 -7 Torr. En
ella, el haz inicial es concentrado por una serie de lentes
electromagnticas (condensadora, objetivo) desde unos
25.000-50.000 nm hasta unos 10 nm; es decir, su dimetro va
disminuyendo hasta hacerse casi puntual. Al mismo tiempo,
la intensidad de corriente se disminuye desde unos 10 -14
hasta unos 10-10 - 10-12 . Esta disminucin en la intensidad
implica una menor cantidad de electrones primarios ya que la
intensidad inicial de 10-14 supone una emisin de 1015
e-/seg, mientras que en la definitiva, de 10 -12 , es de 6.106
e-/seg

El haz electrnico con estas ltimas caractersticas, es decir

puntual, es desplazado sobre toda la superficie de la muestra
a modo de un pincel que ira barriendo la muestra con continuas idas y venidas. Esta motilidad del
haz se consigue gracias a un sistema de bobinas de barrido situadas en la columna del instrumento

En la interaccin del haz electrnico con la superficie se producen e- secundarios que, tras ser
captados por un detector, son hechos incidir sobre un "scintillator", donde cada e- dar origen a
varios fotones. Dichos fotones son dirigidos hasta un fotomultiplicador a travs del can de luz y,
ya en aqul, cada fotn dar origen a un fotoelectrn que, a travs de una serie de dinodos con
diferencias de potencial crecientes produce, mediante un efecto en cascada, gran cantidad de esecundarios. En definitiva, lo que se ha conseguido ha sido una amplificacin de la corriente debida
a la e- secundaria original o, el dicho de otro modo, una amplificacin de la informacin sobre la
muestra suministrada de dichos e-. Los e- secundarios, finalmente, previo paso por un video
amplificador, son dirigidos hacia un tubo semejante a un osciloscopio de rayos catdicos (ORC)
sobre cuya pantalla se producir la imagen.

Concretando, se puede decir que una de las principales caractersticas de este instrumento es la
existencia de una correspondencia biunvoca (punto a punto) establecida entre la muestra a
examinar y la imagen formada, correspondencia que se establece al mismo tiempo, de forma que
cubrira a la muestra en series de tiempo, quedando la imagen dividida en muchos elementos
fotogrficos los cuales seran captados por el sistema fotogrfico instalado en el instrumento e
integrados en una sola imagen que nos informa sobre la apariencia cbica de material en estudio.
3.1. TIPOS DE SEALES EMITIDOS POR MUESTRA
Existen seales que se producen por la interaccin entre el haz electrnico y la muestra que son,
en definitiva, las que darn lugar a la formacin de la imagen. Estas seales pueden ser
clasificadas en tres grupos con arreglo a su categora (fig.6):

Seales con carcter de ondas electromagnticas, tales como rayos X y ctodo

luminiscencia.

Seales compuestas por e-, que incluyen e- reflejados ("backscattered"), e - secundarios,

transmitidos y absorbidos.

Solamente en el caso de especmenes semiconductores, seales de fuerza electromotriz

(f.e.m.). De estos tres tipos de seales solamente interesan aquellas compuestas por e - y, en
particular, las debidas a los e- secundarios y a los reflejados ya que son stos los que sern
recogidas por el detector y, finalmente, expresadas en trminos de brillos y oscuros sobre la
pantalla del ORC. La procedencia de los e - vara; algunos e- del haz pueden penetrar en la
muestra perdiendo energa y distribuirse dentro de ella bajo diferentes ngulos.

Una parte de stos pueden, despus, emerger siguiendo direcciones ms o menos opuestas a la
del haz. Son los e- reflejados (BE). Otros e- primarios pueden bombardear orbitales electrnicos de
tomos de la muestra, lo cuales liberaran e -. stos seran los e- secundarios (SEl), de menor
energa que los reflejados. La e- reflejada puede tambin incidir sobre tomos de la muestra
induciendo la produccin de e- secundarios (SE2). En cuanto al resto de seales compuestas por
e-, aquellas debidas a los absorbidos estaran compuestas por e - primarios que, tras penetrar en la
pieza, permaneceran en su interior, mientras que las debidas a los e- transmitidos estaran
compuestas por e- capaces de atravesar la muestra -siempre que sta sea lo bastante fina-. Este
ltimo tipo de e- es el utilizado en el TEM. Existe una correspondencia entre el volumen de la
emisin y el nmero at- mico promedio (Z) de la muestra. A menor Z y mayor energa del haz, ms
penetran los e- primarios y viceversa. Teniendo en cuenta esto, as como los resultados que indican
que la profundidad desde donde pueden ser emitidas estas seales es menor de 50 nm para los esecundarios, de 100 nm a 1 flll1 para los reflejados y de 500 nm a 5 um para las radiaciones X, es
lgico pensar en la necesidad de recubrir la superficie a examinar con un elemento metlico de Z
elevado, que sea buen conductor, pueda emitir gran nmero de e- y que, adems, sea inoxidable,
ya que los elementos biolgicos (C, N, H, O, P, S, etc.) tienen un Z bajo y no resultan buenos
conductores. En la fig. 7 se representa el volumen relativo de la emisin de cada tipo de seales de
una muestra sin recubrir.

3.2. DETECTORES EN SEM

El detector en el SEM constituye el puente entre el haz electrnico y la pantalla donde las
interacciones del haz con la muestra dan la informacin deseada. En principio, un detector debe
satisfacer los siguientes requerimientos:

Alta sensibilidad, la seal tpica que debe ser recogida se encuentra entre 1 pA (10 -12) y 1 nA
(10-9), equivalente a 10-6 10-9 e- por segundo. Cada pixel en la imagen formada representa

la deteccin de solamente 10-1.000 eAlta frecuencia, el detector debe ser capaz de responder a cambios arbitrarios en la
intensidad de seal, que ocurren en funcin de la velocidad de barrido. Para observaciones
normales, donde la formacin del pixel es del orden de 10 5 por segundo, el detector requiere
una frecuencia de alrededor de 1 MHz, aunque para registro fotogrfico se puede trabajar
con 100 kHz. Para la formacin de la imagen de TV, la frecuencia debe ser superior a 30

MHz.
Amplitud dinmica, para una serie de condiciones dadas, la seal a ser detectada puede
variar entre dos puntos en magnitudes por un factor de 100: 1 o 81 ms. El detector debe ser

capaz de trabajar en este rango sin prdida de linealidad.

Eficiencia, la seal recogida es ms dbil en unas zonas de la muestra que en otras. La
eficiencia del detector constituye el factor limitante del sistema y, por tanto, de la calidad final

de la imagen.
Tamao fsico pequeo, para trabajar en alta resolucin la distancia de trabajo debe ser muy
pequea, lo que puede condicionar el tipo de detector a utilizar (sera necesario cambiar el

detector en funcin de la distancia).

Caractersticas de la cmara, en la mayor parte de los SEMs, la cmara de la porta muestras
se suele abrir con frecuencia para cambiar la muestra. Los detectores deben ser estables a
los cambios vaco-aire, oscuridad-luz.

3.3. TIPOS DE DETECTORES

El microscopio electrnico de barrido (SEM) es un instrumento capaz de ofrecer un variado rango
de informaciones procedentes de la superficie de la muestra. Su funcionamiento se basa en barrer
un haz de electrones sobre un rea del tamao que deseemos (aumentos) mientras en un monitor
se visualiza la informacin que hayamos seleccionado en funcin de los detectores que hayan
disponibles. En el Servicio de Microscopa de la U.P.V. existen los siguientes:
Detector de electrones secundarios (SE)
Es el que ofrece la tpica imagen en blanco y negro de la topografa de la superficie
examinada. Es la seal ms adecuada para la observacin de la muestra por ser la de
mayor resolucin.
Detector de electrones retro dispersados (BSE)

Tambin ofrece una imagen de superficie aunque de menor resolucin. Su ventaja

consiste en que es sensible a las variaciones en el nmero atmico de los elementos
presentes en la superficie. Si tenemos una superficie totalmente lisa observaremos
distintos tonos de gris en funcin de que existan varias fases con distintos elementos.
Detector de rayos X (EDS)
Es el que recibe los rayos X procedentes de cada uno de los puntos de la superficie
sobre los que pasa el haz de electrones. Como la energa de cada rayo X es
caracterstica de cada elemento, podemos obtener informacin analtica cualitativa y
cuantitativa de reas del tamao que deseemos de la superficie. Por ello se conoce
esta tcnica como Microanlisis por EDS.
Detector de rayos X (WDS)
Similar al anterior, pero en vez de recibir y procesar la energa de todos los rayos X a
la vez, nicamente se mide la seal que genera un solo elemento. Esto hace que esta
tcnica, aunque ms lenta, sea mucho ms sensible y precisa que la de EDS.
Realmente son complementarias, pues el EDS ofrece una buena informacin de todos
los elementos presentes en la superficie de la muestra y el WDS es capaz de resolver
los picos de elementos cuyas energas de emisin estn muy cercanas, as como
detectar concentraciones mucho ms pequeas de cualquier elemento y, sobre todo,
de los ligeros.
Detector de electrones retro dispersados difractados (BSED)
En este caso slo se reciben aquellos electrones difractados por la superficie de la
muestra que cumplen la ley de Bragg en el punto que son generados, es decir, se
trata de una seal que nos aporta informacin de la estructura cristalina de la muestra.
Si conocemos previamente la o las fases cristalinas presentes en nuestra muestra, el
sistema es capaz de procesar la seal que recibe en forma de lneas de Kikuchi y
ofrecer una variada informacin cristalogrfica: orientacin de granos, orientaciones
relativas entre ellos, textura, identificacin de fases, evaluacin de tensin, fronteras
de grano, tamao de grano

CAPTULO II
FUNDAMENTOS

MICROSCOPA ELECTRNICA DE BARRIDO.

SEM del ingls Scanning Electron Microscopy. Los electrones secundarios de baja energa (<50
eV) emitidos de la superficie de la muestra se puede utilizar para dar un tipo de imagen. Para
facilitar esta emisin de electrones se metaliza la muestra que es recubrirla de una pequea
capa de un metal conductor como el Au. El haz de e- se puede concentrar en una zona diminuta
(~20 ) que puede barrer la superficie del espcimen al ser deflactado por bobinas adecuadas. Los

electrones secundarios se detectan por encima del espcimen y la imagen muestra la intensidad
de los electrones secundarios emitidos por

las

diferentes

partes

de

la

muestra.

El

esquema de un microscopio SEM se da en la figura 2.1. La ME de barrido es muy til para estudiar
la morfologa de los cristalitos y un ejemplo se da en la figura 2.2. En esta figura se muestra la
microfotografa de un slido laminar y se pueden ver claramente los micro cristales como plaquetas
(diminutas laminillas) que son capaces de sufrir reacciones de intercalacin, es decir de hospedar
(albergar) molculas o iones entre las lminas. En la figura 2.3 se muestra una microfotografa
SEM mucho ms compleja. Se trata de un hormign parcialmente carbonatado. Las zonas
grisceas son gel C-S-H (que da la adherencia y cohesin del hormign fraguado) junto con
CaCO3 entre crecido. Las partculas blancas muy brillantes es Clinker no hidratado mientras que
las partculas ms oscuras son gel C-S-H de relacin Ca/Si menor.
El fundamento

del SEM radica

en que los electrones emitidos por un ctodo de tungsteno

pasan a travs de una columna en la que se ha hecho un vaco de alrededor de 10-7 Torr. En
ella, el haz inicial es concentrado

por una serie de lentes electromagnticas desde unos 25.000

- 50.000 nm hasta unos 10 nm; es decir, su dimetro va

disminuyendo h a s t a hacerse casi puntual. Al mismo tiempo, la
intensidad

de corriente s e disminuye d e s d e unos 1 0 -14

hasta unos 10 -10_10-12 . Esta disminucin en la intensidad

implica una menor cantidad de electrones primarios ya que la
intensidad inicial de 10-14 supone una emisin de 1015 e-/seg,
mientras que en la definitiva, de 10-12 , es de 6.106 e-/seg.

El haz electrnico con estas ltimas caractersticas, es decir

puntual, es desplazado

sobre

toda

la

superficie

de la

muestra a modo de un pincel que ira barriendo la muestra

continuas

idas y venidas.
Esta

Componentes de la ptica de SEM convencional

con

motilidad

del haz se con sigue gracias a un sistema de bobinas de barrido

situadas en la columna del instru mento.
En la interaccin del haz electrnico con la superficie se producen e- secundarios que, tras ser
captados por un detector, son hechos incidir sobre un "scintillator", donde cada e- dar origen a
varios fotones. Dichos fotones son dirigidos hasta un fotomultiplicador

a travs del can de

luz y, ya en aqul, cada fotn dar origen a un fotoelectrn que, a travs de una serie de
dinodos con diferencias de potencial crecientes produce, mediante un efecto en cascada, gran
cantidad de e- secundarios.

En definitiva, lo que se ha conseguido ha sido una amplificacin de la corriente debida a los esecundarios originales o, dicho de otro modo, una amplificacin de la informacin sobre la
muestra suministrada de dichos e.
Los e- secundarios, finalmente, previo paso por un video amplificador, son dirigidos hacia un
tubo semejante a un osciloscopio de rayos catdicos (ORe) sobre cuya pantalla se producir
la imagen .
Concretando, se puede decir que una de las principales caractersticas de este instrumento es
la existencia de una correspondencia biunvoca (punto apunto) establecida entre la muestra
a examinar

y la imagen formada,

correspondencia que se establece al mismo tiempo, de

forma que cubrira a la muestra en series de tiempo, quedando la imagen dividida en muchos
elementos fotogrficos los cuales seran captados por el sistema fotogrfico instalado en el
instrumento e integrados en una sola imagen que nos informa sobre la apariencia cbica de
material en estudio.

LA FORMACIN DE LA IMAGEN

En la microscopia SEM es formada mediante la focalizacin de una fina fuente de

electrones sobre la superficie de la muestra.

La fuente de electrones barre la muestra en una serie de lneas y redes, construyndose
una imagen de la superficie en un monitor.
Los electrones bombardean una pequea rea:

Reflexin elstica sin prdida de energa.

Absorbidos por la muestra y producir electrones secundarios de baja energa (+
rayos X)
Absorbidos por la muestra y producir luz visible.

La imagen se forma a partir de los electrones secundarios.

Los electrones secundarios son atrados hacia el porta muestras (reflectante) mediante un
potencial positivo (50 volt). Al atravesar la muestra e incidir sobre el porta muestras se
genera una luz que mediante un fotomultiplicador se convierte en una seal de voltaje, la
cual se convierte en imagen.
La magnificacin de la imagen se produce al barrer un rea muy pequea.
Las imgenes SEM se pueden obtener sobre cualquier especie en masa (no han de ser muy
finas como en TEM).

EL MICROSCO
PIO
ELECTRNICO
DE
BARRIDO O SE
M (Scanning
Electron
Microscope)
Inventado
en 1937 por Ma
nfred von Ardenne, es aquel que utiliza un haz de electrones en lugar de un haz de luz para formar
una imagen. Tiene una gran profundidad de campo, la cual permite que se enfoque a la vez una

gran parte de la muestra. Tambin produce imgenes de alta resolucin, de forma que las
caractersticas ms nfimas de la muestra pueden ser examinadas con gran amplificacin. La
preparacin de las muestras es relativamente

fcil

mayora de los SEM slo requieren que estas

sean conductoras.

De esta forma, la muestra generalmente es

recubierta con una

capa de carbono o una capa delgada de

un metal como

el oro para

conductor.

Posteriormente, se

barre la superficie con electrones acelerados

que viajan a travs

del can. Un detector formado por lentes

basadas

en electroimanes,

intensidad

conferirle

carcter

mide

la

cantidad

ya

que

la

de

electrones que devuelve la muestra, siendo

capaz de mostrar

figuras en tres dimensiones mediante imagen

digital.

resolucin est entre 4 y 20 nm, dependiendo

del microscopio.

Su

FUNCIONAMIENTO
En el microscopio electrnico de barrido es necesario acelerar los electrones en un campo elctrico,
para aprovechar de esta manera su comportamiento ondulatorio, lo cual se lleva a cabo en la
columna del microscopio, donde se aceleran mediante una diferencia de potencial de 1000 a 30000
voltios. Los electrones acelerados por un voltaje pequeo se utilizan para muestras muy sensibles,
como podran ser las muestras biolgicas sin preparacin adicional o muestras muy aislantes. Los
voltajes elevados se utilizan para muestras metlicas, ya que stas en general no sufren daos
como las biolgicas y de esta manera se aprovecha la menor longitud de onda para tener una mejor
resolucin. Los electrones acelerados salen del can, y se enfocan mediante las lentes
condensadora y objetiva, cuya funcin es reducir la imagen del filamento, de manera que incida en
la muestra un haz de electrones lo ms pequeo posible (para as tener una mejor resolucin). Con
las bobinas deflectoras se barre este fino haz de electrones sobre la muestra, punto por punto y
lnea por lnea.
Cuando el haz incide sobre la muestra, se producen muchas interacciones entre los electrones del
mismo haz, y los tomos de la muestra; puede haber, por ejemplo, electrones que reboten como las
bolas de billar. Por otra parte, la energa que pierden los electrones al "chocar" contra la muestra
puede hacer que otros electrones salgan despedidos (electrones secundarios), y producir rayos
X, electrones Auger, etc. El ms comn de stos es el que detecta electrones secundarios, y es con
l que se hace la mayora de las imgenes de microscopios de barrido.
Tambin podemos adquirir la seal de rayos X que se produce cuando se desprenden estos
mismos de la muestra, y posteriormente hacer un anlisis espectro grfico de la composicin de la
muestra.

UTILIZACIN
Se utilizan ampliamente en la biologa celular. Aunque
permite una menor capacidad de aumento que el microscopio
electrnico de transmisin, ste permite apreciar con mayor
facilidad texturas y objetos en tres dimensiones que se hayan
pulverizado metlicamente antes de su observacin. Por esta
razn solamente pueden observarse organismos muertos, y
no se puede ir ms all de la textura externa que se quiera
ver. Los microscopios electrnicos slo pueden ofrecer
imgenes en blanco y negro puesto que no utilizan la luz
visible.

Cabeza de hormiga vista con un (MEB).

Este

instrumento

permite

la

observacin

caracterizacin superficial de materiales inorgnicos y orgnicos, entregando informacin

morfolgica del material analizado. A partir de l se producen distintos tipos de seal que se
generan desde la muestra y se utilizan para examinar muchas de sus caractersticas. Con l se
pueden observar los aspectos morfolgicos de zonas microscpicas de diversos materiales,
adems del procesamiento y anlisis de las imgenes obtenidas.

3D EN SEM
Los microscopios electrnicos de barrido no proporcionan naturalmente las imgenes en 3D
contrarias a microscopio de sonda de barrido. Sin embargo los datos 3D se pueden obtener
utilizando un SEM con diferentes mtodos, tales como:
Fotogrametra (2 o 3 imgenes de muestra inclinado)

 Stereo fotomtrica tambin llamado "la forma con sombreado" (con 4 imgenes)
Reconstruccin inversa utilizando modelos interactivos de electrones de material
Las aplicaciones posibles son la medicin de rugosidad, medida de la dimensin fractal, medicin
de la corrosin y la evaluacin altura de los escalones.Las imgenes que se obtienen en el
microscopio electrnico de barrido corresponden a electrones secundarios o electrones retro
dispersados emitidos tras la interaccin con la muestra de un haz incidente de entre 5 y 30 KeV.
El haz de electrones se desplaza sobre la muestra realizando un barrido en las direcciones X e Y de
tal modo que la posicin en la que se encuentra el haz en cada momento coincide con la aparicin
de brillo, proporcionalmente a la seal emitida, en un determinado punto de la pantalla.La seal de
electrones secundarios se forma en una delgada capa superficial, del orden de 50 a 100 . Son
electrones de baja energa, menos de 50 eV, que pueden ser desviados fcilmente de su trayectoria
emergente inicial y permiten obtener informacin de zonas que no estn a la vista del detector. Esta
particularidad otorga a esta seal la posibilidad de aportar informacin en relieve.
La emisin de electrones retro dispersados depende fuertemente del nmero atmico de la
muestra. Esto implica que dos partes de la muestra que tengan distinta composicin se revelan con
distinta intensidad aunque no exista ninguna diferencia de topografa entre ellas.
Los rayos X que se generan en una muestra sometida a bombardeo electrnico permiten identificar.

COMPONENTES DEL MICROSCOPIO SEM

Una fuente de electrones que proporciona la iluminacin. Consta

normalmente de un filamento de W el cual es calentado, y los electrones

son acelerados mediante un campo de 30 kV.

Sistema ptico de iluminacin que consta de dos lentes magnticas. Su

funcin es focalizar lo mximo posible la fuente de electrones.

Un juego de tornillos que permite que la radiacin se movida sobre la

superficie de la muestra.
Un portamuestras y lentes objetivo. La resolucin obtenida por el
microscopio depende de las propiedades de estas lentes y su distancia a
la muestra.
Un sistema de deteccin

PREPARACIN DE LA MUESTRA
La muestra ha de ser necesariamente conductora
Las muestras aislantes son recubiertas con una pelcula delgada de un
material conductor (C, Au, Cr)
Existe posibilidad de perder informacin al recubrir la superficie de la
muestra SEM de alto vaco (todo tipo de muestras)

CAPTULO III
USOS Y
APLICACIONES

PRINCIPALES APLICACIONES
La microscopa electrnica de barrido es una tcnica que sirve para analizar la
morfologa de materiales slidos de todo tipo (metales, cermicos, polmeros,
biolgicos, etc.), con excepcin de muestras lquidas. La resolucin nominal
del equipo es de 3 nm lo cual permite estudiar caractersticas de los materiales
a una escala muy pequea. Este microscopio cuenta con la tcnica de
Espectroscopia de Dispersin de Energa (EDS) que sirve para hacer anlisis
elemental. Con esta tcnica se pueden detectar todos los elementos qumicos
con nmero atmico mayor a 4 de manera cualitativa y semicuantitativa. Una
de las grandes ventajas respecto a otro tipo de microscopa es la facilidad de
preparacin de muestras ya que slo en casos especiales se puede tornar
laboriosa

Adems

del

examen

de

muestras

convencionalmente

p r e p a r a d a s para el estudio de su superficie (SEM convencional), l a

microscopa d e barrido tiene en la actualidad otras aplicaciones que resultan
de gran inters tanto en el campo biolgico como en el de materiales.

La primera aplicacin en importancia consiste en la posibilidad de hacer

anlisis cuantitativos de los componentes de la muestra, lo que se realiza
mediante el anlisis de los rayos X emitidos por la muestra tras su
irradiacin con el haz electrnico.

Una segunda aplicacin en el campo

biolgico es el anlisis inmunocitoqumico d e los componentes de la

superficie de la muestra.

Esta posibilidad de reciente desarrollo se basa en el mismo principio de la

tcnica inmunocitoqumica c o n oro coloidal. Es decir, las muestras, fijadas
o no, se incuban con un primer anticuerpo capaz de reconocer algn tipo
de antgeno

de superficie, tras lo cual se procede

a una segunda

incubacin con un segundo anti cuerpo conjugado con partculas de oro

coloidal. Mediante las seales BE se puede visualizar las partculas de
oro en los lugares de reaccin y, mediante las seales de SEl, se analiza
la topografa de la superficie. Esta tcnica se est utilizando con bastante
xito para el anlisis de los antgenos de superficie linfocitarios, as como

para los lugares de unin del virus del SIDA.

Por ltimo, existe la posibilidad de congelar la muestra, fracturarla mecnica
mente y, tras los procesos de preparacin habituales, examinar el interior
de las clulas. Esta tcnica, aunque difcil, permite el examen tridimensional
de los componentes intracelulares.
Las aplicaciones de la tcnica son muy numerosas tanto en ciencia de
materiales, como en ciencia biomdica. Dentro de la ciencia de materiales
destacan las aplicaciones en metalurgia, petrologa y mineraloga, materiales
de construccin, materiales cermicos tradicionales y avanzados, electrnica,
fractografa y estudio de superficies y composicin elemental de slidos en
general.
La microscopa electrnica de barrido tambin se aplica en botnica, en el
estudio de cultivos celulares, en dermatologa, en odonto-estomatologa y
biomateriales, en hematologa, inmunologa, y en el estudio de la morfologa de
preparaciones biomdicas en general.

Las aplicaciones del microscopio electrnico de barrido son muy variadas, son muy
variadas y van desde la industria petroqumica o de la metalurgia hasta la medicina
forense. Sus anlisis proporcionan datos como textura, tamao y forma de la
muestra.
Entre las reas de aplicacin de esta tcnica, se pueden mencionar:

GEOLOGA:

Investigaciones

geomineras,

cristalogrficas,

mineralgicas,

petrolgicas. Estudio morfolgico y estructural de las muestras.

ESTUDIO DE MATERIALES: Caracterizacin microestructural de materiales.
Identificacin, anlisis de fases cristalinas, transiciones de fases en diversos
materiales

tales

como

metales,

cermicos,

materiales

compuestos,

semiconductores, polmeros y minerales. Composicin de superficies y tamao de

grano. Valoracin del deterioro de materiales, determinacin del grado de
cristalinidad y presencia de defectos. Identificacin del tipo de degradacin: fatiga,
corrosin, fragilidad entre otros.
METALURGIA: Control de calidad y estudio de fatiga de materiales caractersticas
texturales. Anlisis de fractura (fractomecnica) en materiales.
ODONTOLOGA:

En

este

campo

son

muchas

las

aplicaciones

de

las

caracterizaciones morfolgicas que se pueden realizar con el microscopio

electrnico de barrido.
Una aplicacin especfica de este microscopio se obtiene al estudiar la
direccionalidad de las varillas del esmalte dental. Adems se pueden analizar las
alteraciones que producen los cidos producidos por la entrada de microorganismos
y restos alimenticios en las superficies vestibulares de los dientes anteriores; ya que
sobre ellos se produce la retencin de los materiales odontolgicos en fracturas,
fisuras, ferulizaciones, entre otras.
PALEONTOLOGA Y ARQUEOLOGA: Caracterizacin de aspectos morfolgicos.
CONTROL DE CALIDAD: En este campo, el microscopio electrnico de barrido es
de gran utilidad para el siguiente morfolgico de procesos y su aplicacin en el
control de calidad de productos de uso y consumo. Una industria que lo utiliza es la
textil.

FIBRAS: El instrumento se usa para examinar:

Detalles superficiales de fibras.

Modificaciones en las formas de las fibras o en detalles superficiales.

Daado de fibras.
Construccin de hilos y tejidos.
Fractografa de fibras rotas por diferentes causas.
Urdimbre.
Dimensiones de caractersticas de fibras diferentes ngulos.

PERITAJES: Estudios de muestras de las reas antes mencionadas.

MEDICINA FORENSE: Anlisis morfolgico de pruebas.
BOTNICA, BIOMEDICINA Y MEDICINA: Estudio morfolgico. Estudio qumico y
estructural de obras de arte, alteraciones de monumentos, control de calidad,
identificacin de pigmentos (restauracin, autenticacin).
PERITACIONES CALIGRAFAS: Estudio de trazos.
ELECTRNICA: Control y calidad de partes electrnicas.

APLICACIONES EN MATERIALES DE CONSTRUCCIN

MORTEROS Y HORMIGONES: microestructura, fases cristalinas, impurezas,

deteccin e identificacin de sales, microfisuracin, etc.
MATERIALES METLICOS: fases cristalinas, texturas, composicin, tamao de
grano, patologas y deterioro (corrosin, fatiga, defectos, fragilizacin, etc).
ANLISIS DE FRACTURAS: en distintos materiales.
DETERMINACIN DE ESPESORES

PRODUCTOS CERMICOS: microestructura, evaluacin de la temperatura de

coccin,

fases

cristalinas,

impurezas,

deteccin

identificacin

de

sales

esflorescencias, etc.
GEOLOGA: cristalografa, composicin mineralgica, petrologa, estudio de
composicin de arcillas, etc.
PATRIMONIO, CONSERVACIN Y REHABILITACIN: Anlisis de materiales
ptreos, morteros y origen de alteracin, estado, caracterizacin del sistema poroso,
biodeterioro, efecto de los tratamientos de limpieza y consolidacin, anlisis de sales
y costras, anlisis de pigmentos.

Las aplicaciones son mltiples y muy tiles donde otros anlisis y ensayos comunes
en los laboratorios tradicionales de construccin no pueden llegar.
Una gran ventaja de aplicar este mtodo es por la escasa cantidad de muestro para
usar en el anlisis, convirtindolo en un ensayo no destructivo.

CAPTULO IV
MARCAS Y
PRECIOS

MICROSCOPIO ELECTRNICO DE BARRIDO MARCA HITACHI MODELO S3000N.

Este microscopio cuenta

con

un detector de rayos X
marca

Bruker

XFlash

3001

microanlisis
mapping.
modo

modelo

de

para

(EDS)

Dispone

del

trabajo

en

presin variable para observacin de muestras no conductoras sin necesidad de

recubrirlas con material conductor.

MICROSCOPIO ELECTRNICO DE BARRIDO MARCA JEOL MODELO JSM-840.

MICROSCOPIO ELECTRNICO DE BARRIDO DE EMISIN DE CAMPO (FESEM)

MARCA ZEISS MODELO MERLIN VP COMPACT.
Equipado con un sistema de microanlisis por
EDX marca BRUKER modelo Quantax 400. La
resolucin que alcanza es 0,8 nm a 15 kV y 1,6
nm a 1 kV. Los equipos de emisin de campo son
capaces de trabajar a voltajes muy reducidos (de
0,02 kV a 30 kV) permitiendo observar muestras
sensibles al haz de electrones sin daarlas y
minimizando los efectos de carga.

INSTRUMENTAL PARA LA PREPARACIN DE MUESTRAS:

Equipo de secado por punto crtico marca ELECTRON MICROSCOPY

SCIENCES modelo EMS 850.

Metalizador (Au) / evaporador (C) marca BALZERS modelo SCD 004

Metalizador / evaporador marca BALZERS modelo MED 020

REQUISITOS DE MUESTRAS:

Las muestras debern ser conductoras, slidas y estar exentas de humedad,

disolventes y lquidos en general.

Se procurar que tengan el menor tamao que permitan las caractersticas

particulares de cada una aceptndose como tamao mximo 4 cm de
dimetro y 1 cm de altura.

Independientemente de la naturaleza de la muestra siempre se proceder a su

preparacin sobre el soporte adecuado al microscopio.

Si las muestras no son conductoras se recubrirn con oro o carbono.

Si el personal tcnico lo considera necesario las muestras se sometern a un

tratamiento trmico en vaco.

MODELO NOVA NANOSEM 200 MARCA FEI

Resolucin de 1nm a 30Kv, 1.5 nm a 10 kV (Bajo

vaco).
Voltaje Acelerador: 200 V a 30 kV.
Modos de trabajo: Alto vaco para muestras
conductoras, Bajo vaco para muestras semi y

no conductoras.
Detector
de
Retrodispersados

electrones
y

STEM

Secuendarios,
(combina

los

elementos de un SEM y un TEM).

Sistema EDS

MARCA JEOL MODELO JSM-6340F

Utiliza un haz de electrones en lugar de un haz

de luz para formar una imagen.

Tiene una gran profundidad de campo.
Produce imgenes de alta resolucin.

MARCA: JEOL MODELO: JSM 5610

Permite la observacin y estudio de muestras slidas y conductoras mediante la

interaccin de un haz de electrones con la superficie del material objeto de estudio,

que proporciona imgenes de gran

resolucin

de

la

topografa

superficial de la muestra, que

pueden ser tratadas y analizadas
posteriormente.

MARCA FEI MODELO QUANTA 200

Opera con tres modos de vaco

(alto vaco, bajo vaco y modo
ambiental) con detectores de
electrones

secundarios

retrodispersados para todos los

modos de vaco, el Microscopio
dispone de un sistema de
Anlisis

integrado

OXFORD

INSTRUMENTS Analytical-Inca
con dos detectores de Rayos X
que se pueden usar simultnea y alternativamente, uno EDS (Energa
Dispersiva) y otro WDS (Longitud de Onda Dispersiva).

MARCA FEI MODELO

INSPECT CON DETECTOR DE ELECTRONES

SECUNDARIOS Y RETRODISPERSADOS.
Dispone de un sistema de anlisis integrado OXFORD INSTRUMENTS
analytical-INCA.

Este

microscopio dispone de un
detector

de

CATODOLUMINISCENCIA

con

sistema de refrigeracin con

N2

lquido y ampliacin espectral

hasta el Infrarrojo Modelo
GATAN Mono CL3.

MARCA FSM MODELO 45T1

Serie

szx

zoom

estereoscpico,

microscopio
totalmente

recubierto optial sistema imgenes

ntidas y claras con muy buena
llanura

el

contraste.

It

se

caracteriza por la marca- nuevo

diseo ptico, el mejor reprduction
en color verdadero y de la imagen.

UN MICROSCOPIO ELECTRNICO DE BARRIDO MARCA LEO 1450VP

MARCA SEM LEO 1420VP

MARCA JIB MODELO 4601F

CONCL
USION
ES

En el microscopio electrnico de barrido, un campo magntico permite enfocar los

rayos catdicos (electrones) y obtener una imagen tridimensional, por el examen
de la superficie de las estructuras, permitiendo la observacin y la caracterizacin
de materiales orgnicos e inorgnicos, proporciona aumentos de 200.000
dimetros.

Con la mi microscopia electrnica de barrido podemos conseguir hasta los 100

A, resolucin muy superior a cualquier instrumento ptico.

 El microscopio electrnico de barrido permite obtener informacin topogrfica y

composicional rpida, eficiente y simultneamente en distintos tipos de muestras.
En este trabajo se muestra el potencial de los equipos y las posibilidades de uso
de los mismos.

El Servicio de Microscopa Electrnica de Barrido es muy utilizado por las reas

de bioqumica, qumica y otras comunidades cientfica, organismos oficiales, y
empresas estatales y privadas. Aunque su utilizacin sea costosa.

BIBLIO
GRAF
A

http://ocw.uc3m.es/ciencia-e-oin/caracterizacion-de-materiales/material-de-clase1/Unidad_4_Tema_Microscopia_electronica_de_B.pdf
http://webdeptos.uma.es/qicm/doc_docencia/tema14_me.pdf
http://www.upv.es/entidades/SME/info/753120normalc.html
http://www.javeriana.edu.co/Facultades/Ciencias/neurobioquimica/libros/celular/melecbarrido.
htm
https://es.wikipedia.org/wiki/Microscopio_electr%C3%B3nico_de_barrido
http://ruc.udc.es/bitstream/2183/9313/1/CC-011_art_5.pdf
http://ocw.uc3m.es/ciencia-e-oin/caracterizacion-de-materiales/material-de-clase1/Unidad_4_Tema_Microscopia_electronica_de_B.pdf
http://ocw.uc3m.es/ciencia-e-oin/caracterizacion-de-materiales/practicas2/Practicas_de_SEM.pdf

LINKO
GRAF
A
OLIVARES

CCALO

Ruslan.

APLICACIONES

DEL

MICROSCOPIO

ELECTRNICO DE BARRIDO. [En lnea]. 25 de Diciembre del 2010, 09 de

Septiembre

del

2011,

[29

de

Julio

del

2015].

Disponible

en

http://www.ecured.cu/index.php/Microscopio_electr%C3%B3nico_de_barrido

la

wed:

ANEXO
S
Microfotografa SEM de un
slido laminar, Pb(HPO4)2.H2O.

Esquema de un SEM.

SEM de un hormign
Portland.