Tesis-Licenciatura Vacio

UNIVERSIDAD NACIONAL AUTNOMA DE MXICO
FACULTAD DE CIENCIAS
CARACTERIZACIN Y OPTIMIZACIN DE UN SISTEMA

DE ALTO VACO
TESIS PROFESIONAL QUE PARA OBTENER

EL TITULO DE FSICO PRESENTA:
J. GUADALUPE BAUELOS MUETN
MXICO, D. F.
SEPTIEMBRE DE 1992
A MIS PADRES:
Altagracia Muetn
Nazario Bauelos.
Por su cario y comprensin.
A MIS HERMANOS:
Lourdes, Margarita, Mara Elena y Nazario.
Por su confianza y apoyo.
A MIS AMIGOS:
Por su afecto desinteresado.
Agradecimientos
AGRADECIMIENTOS
Agradezco sinceramente a mi maestro y amigo, Fsico Hctor Cruz-Manjarrez la
direccin del presente trabajo.
De la misma forma agradezco a los sinodales, M. en C. Enrique Zironi, Dr.

Gianfranco Bisiacchi, M. en C. Augusto Cabrera y al Fsico Arturo Nogueira, los
comentarios y sugerencias hechas al trabajo.
Tambin deseo agradecer: al Dr. Fernando Alba Andrade, el apoyo prestado

para la realizacin de esta tesis; a mi compaero y amigo Luis Flores por su ayuda
en las pruebas del sistema de alto vaco y al sr. Edgar Mndez el apoyo tcnico.
J.G.B.M.
INDICE
Pg.
Introduccin......1
I. comportamiento de los gases a bajas presiones........2
I.1. Estado viscoso....2
I.1.1. Leyes de los gases......2
I.1.2. Teora cintica de los gases...4
I.1.3. Camino libre medio..5
I.1.4. Viscosidad.....6
I.2. Estado molecular....7
I.2.1. Fenmenos de superficie.......7
I.2.1.1. Permeacin.....7
I.2.1.2. Sorcin.....8
I.2.1.3. Energa de adsorcin........8
I.2.1.4. Formacin de monocapas....9
I.2.1.5. Desercin........9
I.3. Regmenes de flujo....9
I.4. Conductancia....11
I.5. Velocidad de evacuacin....12
I.6. Fugas reales y virtuales......13
II. Sistemas de alto vaco.....15
II.1. Sistema de alto vaco en serie..16
II.1.1. Bomba de pre-vaco.....16
II.1.2. Bombas de alto vaco...17
II.1.2.1. Bombas de difusin....17

II.1.2.2. Bombas turbomoleculares.18
II.1.3. Medidores de vaco..19
II.1.3.1. Medidores de bajo vaco20
II.1.3.1.1. Medidor piran...20
II.1.3.1.2. Medidor termopar.....21
II.1.3.2. Medidores de alto vaco.22
II.1.3.2.1. Medidor de ionizacin de ctodo caliente.22
II.1.3.2.2. Medidor de ionizacin de ctodo fro.23
II.1.4. Procedimientos de operacin del sistema....23
II.2. Sistema de alto vaco en paralelo....24
II.2.1. Bombas de adsorcin...24
II.2.2. Bombas de alto vaco...28
II.2.2.1. Bombas inicas de Ti.....28
II.2.2.2. Bombas criognicas...30
II.2.3. Procedimiento de operacin del sistema..32
II.2.4. Aplicaciones especficas..34
II.2.5. Ventajas y desventajas en los sistemas...34
II.4. Comparacin entre los sistemas en serie y en paralelo...35
III. Caracterizacin del sistema de alto vaco...36
III.1. Cmara de usos mltiples....38
III.2. Lnea de evacuacin..40
III.3. Sistema de bombeo de bajo vaco..42
III.4. Sistema de bombeo de alto vaco...43
III.5. Medidores de vaco...43

III.6. Evaluacin del sistema..44
III.7. Estimacin de la presin ltima...45
IV. Pruebas de operacin y resultados..47
V. Conclusiones.55
Apndice A..57
Apndice B..58
Referencias....60
Introduccin
Introduccin
Actualmente la tecnologa del vaco desempea un papel importante en la
investigacin del pas, sin embargo, todo el equipo existente en el mercado
nacional es de fabricacin extranjera y en consecuencia de muy alto precio. Con el
fin de reducir esta dependencia, en el Instituto de Fsica, desde hace tres dcadas
se ha venido desarrollando equipo y accesorios de vaco, contando hoy da con
los conocimientos, materiales y tcnicas apropiadas para el diseo y la
construccin de sistemas de bajo y alto vaco.
El presente trabajo tiene como objetivo presentar los resultados de la
caracterizacin de un sistema de alto vaco diseado en el departamento de Fsica
Aplicada y Tecnologa Avanzada del IFUNAM y construido en el taller mecnico
del mismo; as como los procedimientos para obtener la presin ltima del
sistema.
En el primer captulo se presentan los aspectos tericos ms importantes de la
tecnologa de vaco que posteriormente sern utilizados; en el segundo, se dan las
opciones en cuanto a sistemas de alto vaco y se describen sus partes y
funciones. El tercer captulo muestra las caractersticas de la cmara, bombas y
lnea de evacuacin, materiales empleados y otros datos del sistema construido.
En el cuarto captulo se presentan los procedimientos idneos por medio de los
que se logra de manera ptima la presin ltima del sistema.
J.G.B.M.
1
Captulo I. Comportamiento de los gases a presiones bajas

En el proceso de evacuacin de una cmara de vaco, el gas est inicialmente a la
presin atmosfrica, al disminuir la presin, el gas pasa por tres estados: el estado
viscoso se mantiene de presin atmosfrica a 10-3 Torr aproximadamente; de 10-3
a 10-4
Torr el gas se encuentra en un estado de transicin, donde su
comportamiento est entre viscoso y molecular; a presiones menores que 10-4

Torr, el estado del gas es totalmente molecular.
En consecuencia, para analizar el proceso de bombeo en un sistema de alto
vaco, se requiere estudiar y conocer las propiedades del gas en los distintos
estados.
I.1. Estado viscoso

Cuando el gas se encuentra en estado viscoso, es decir a una presin entre
atmosfrica y 10-3 Torr, la ecuacin de estado para los gases reales toma la forma
que corresponde a la de un Gas Ideal[1].
I.1.1 Leyes de los gases

Desde el punto de vista macroscpico, el comportamiento de un Gas Ideal se
describe en base a cuatro leyes experimentales[2]:
i) Ley de Boyle: Para una masa de Gas Ideal a una temperatura T y nmero N de
molculas constante, el producto de su presin P y su volumen V es invariante:
PV = cte.
ii) Ley de Charles: A volumen constante, la presin del gas es directamente

proporcional a su temperatura absoluta T:
P = (cte.) T
Anlogamente, para un gas a presin constante, su volumen es directamente

proporcional a su temperatura absoluta T:
V = cte. T
El resultado de la combinacin de las leyes anteriores es una ecuacin con la

que se determinan los estados de equilibrio de un Gas Ideal:
PV = cte. T
(1)
Para una mol de gas la ecuacin anterior se escribe como:

PV = RT
(2)
donde R es la constante universal de los gases y cuyo valor es:

R = 8.31x10-7 erg mol-1 K-1
iii) Ley de Avogadro: En iguales condiciones de temperatura y presin, volumenes

iguales de diferentes gases, contienen el mismo nmero de molculas. En base a
esta ley se obtiene el nmero de Avogadro:
NA= 6.023x1023 molculas mol-1
que es el nmero de molculas en un volumen de 22.41 litros a 0 oC y una
atmsfera de presin.
iv) Ley de Dalton de las presiones parciales: La presin que ejerce una mezcla de
gases ideales en un volumen determinado y a temperatura constante, es igual a la
suma de las presiones que ejercen cada uno de ellos por separado.
Pt = P1 + P2 + P3 +...+ Pn
I.1.2. Teora cintica de los gases
Desde el punto de vista microscpico, la teora cintica de los gases considera
como ideal al estado del gas en el que las molculas son ms independientes.
Este concepto terico tiene como base las siguientes hiptesis[3]:
i) Las molculas son esferas rgidas y el volumen que ocupa cada una de ellas
es pequeo comparado con el volumen del gas.
ii) Las molculas no ejercen fuerzas entre ellas, por lo que viajan en trayectorias
rectilneas sin direccin preferencial.
iii) Los choques entre molculas y con las paredes del recipiente que las
contiene son perfectamente elsticos.
iv) Las molculas estn en constante movimiento, este movimiento esta
relacionado directamente con la temperatura.
A partir de estos postulados, se establece la presin de un gas como la
transferencia de energa cintica promedio resultante de los choques de las
molculas del gas sobre una superficie[2]:
1
3
mn 2 = P
2
2
donde m = masa molecular, n =
(3)
N
la densidad molecular, la velocidad trmica
V
( = 1.45 [T/M]-1/2 cm/s, M = mNA denominado peso molecular)[4].

Si se considera una mol de gas, entonces la densidad molecular n es:
n=
NA
V
sustituyendo en la ecuacin (2) resulta,
1
mN A 2 = PV = RT
3
donde
R
se denomina constante de Boltzmann y su valor numrico es:
NA
R
1
= m 2 = 1.38x10-16 erg K-1
NA 3
sustituyendo este valor en la ecuacin de estado de un gas ideal, se obtiene una

expresin que relaciona las variables macroscpicas al mismo tiempo que
involucra el nmero de molculas que contiene el volumen:
PV = NT
(4)
La expresin anterior (ecuacin de estado) es la ms usual para obtener otros

parmetros relacionados directamente con la tecnologa de vaco.
I.1.3. El camino libre medio

Se denomina camino libre medio a la distancia promedio que recorre una molcula
entre choques sucesivos[4]. Numricamente, el camino libre medio se obtiene a
partir de la siguiente relacin:
1
2 d 4 n 2
2
(5)
en donde n representa la densidad molecular y d el dimetro de la molcula del

gas en cuestin. En trminos de la presin, la ecuacin anterior es:
1
2
1/ 2
KT
d 2 P
(6)
de esta ltima expresin, se deduce que el camino libre medio, depende de la

naturaleza del gas y de las condiciones fsicas en que se encuentre (presin y
temperatura). Este parmetro es fundamental para la tecnologa de vaco, ya que
indica el estado del gas que se encuentra en el interior de un recipiente. En el
estado viscoso (presiones cercanas a la presin atmosfrica) prevalecen los
choques entre molculas, ya que el camino libre medio es muy corto. Al disminuir
aun ms la presin (en el estado molecular), el camino libre medio aumenta
considerablemente, por lo que las molculas solo encontrarn en su recorrido las
paredes del recipiente que las contiene, lo que implica que las distancias son
iguales o mayores que las dimensiones del contenedor.
I.1.4. Viscosidad
Una masa de gas a travs de un tubo estrecho experimenta una resistencia al
flujo, de tal forma que su velocidad decrece uniformemente en direccin del flujo
desde el eje del tubo hasta alcanzar el cero en las paredes. Cada capa de gas,
paralela a la direccin del flujo ejerce una fuerza tangencial sobre la capa
adyacente, ocasionando que la capa disminuya la velocidad. La propiedad del
fluido en virtud del que exhibe este fenmeno se conoce como viscosidad
interna[3].
La fuerza tangencial entre capas debido a la transferencia de mpetu, est dada
como:
F = x gradiente de velocidad,
F = x
u
d
donde u es la velocidad del flujo, d es la distancia a la que se encuentra una

superficie estacionaria y es el coeficiente de viscosidad, que se define como "la
fuerza tangencial que se ejerce por unidad de rea y unidad de gradiente de
velocidad[5] y se expresa:
0.998 mKT
d 2
(7)
Donde se observa que el coeficiente de viscosidad solo depende de la

temperatura, de la presin y de la naturaleza del gas.
I.2. Estado molecular

En el estado molecular, a diferencia del estado viscoso, se tiene que >
dimensiones del contenedor, por lo que el comportamiento del gas es muy
diferente a ste ltimo, ya que experimentalmente se encuentra que las molculas
no se comportan como esferas rgidas, los choques son principalmente con las
paredes y que al chocar con ellas se retienen durante un tiempo para despus
evaporarse en una direccin independiente del ngulo de incidencia[3]. El tiempo
que permanecen las molculas adheridas a las superficies del contenedor es muy
corto cuando la presin es cercana a la presin de transicin entre los estados y
aumenta a medida que la presin disminuye.
I.2.1. Fenmenos de superficie

Durante el tiempo de permanencia de las molculas en la superficie pueden ocurrir
ciertos fenmenos, a los que se conoce como "fenmenos de superficie", los
principales son:
I.2.1.1. Permeacin
Este fenmeno se refiere al paso de gas a travs de un slido. Este proceso
comprende la difusin de gas en los slidos, que implica el movimiento de tomos,
molculas o iones a sitios de mayor estabilidad en un slido; cuando existe un
gradiente de energa libre o potencial qumico sobre las partculas involucradas. El
gradiente de energa libre resulta en la mayora de los casos de una diferencia de
concentracin y la movilidad la proporciona principalmente la energa trmica[6].
I.2.1.2. Sorcin
El fenmeno de sorcin consiste en la captura de molculas que llegan a una
superficie slida, este proceso incluye dos mecanismos: la adsorcin y la
absorcin[3].
El trmino adsorcin se refiere al proceso por el que las molculas se adhieren a
la superficie de un slido, dando lugar a la formacin de una capa de gas que
puede tener un espesor de una o varias molculas. La fuerza atractiva del slido
puede ser fsica (fisisorcin) o qumica (quimisorcin).
La absorcin es la penetracin del gas en el slido, en forma parecida a como el
gas se disuelve en un lquido.
I.1.2.3. Energas de adsorcin

Cualquier superficie de un slido o lquido presenta fuerzas de atraccin normales
a la superficie, as, las molculas de gas que inciden sobre una superficie se
adsorben.
Una molcula que incide sobre una superficie adquirir una posicin de
equilibrio, el mnimo potencial de equilibrio, llamado el calor de adsorcin es igual
a la energa de adsorcin.
La adsorcin fsica comprende enlaces del tipo Van der Waals, estas fuerzas
atractivas son dbiles y el calor de adsorcin es muy bajo (max. 2.1x1017
MeV/mol)[7]; como son atractivas, el trabajo se emplea en adsorber molculas y
generar calor, por lo que la adsorcin es un fenmeno exotrmico.
En la quimisorcin, el proceso es similar al de formacin de compuestos
qumicos con transferencia de electrones. En este caso, las fuerzas atractivas son
ms grandes que en la fisisorcin, en consecuencia los calores de la quimisorcin
son ms altos (del orden de 6.5x1018 MeV/mol )[7]. El proceso de quimisorcin no
siempre ocurre directamente del estado gaseoso, ya que las molculas pueden
ser al inicio fsicamente adsorbidas y entonces, con un mnimo de energa
(energa de activacin), llegan a adsorberse qumicamente, este efecto se conoce
como quimisorcin activada.
I.2.1.4. Formacin de monocapas

Sobre una superficie limpia, las molculas de un gas se condensan y permanecen
durante un tiempo antes de ser reevaporadas. El tiempo necesario para formar
una monocapa se expresa como:
2 M 1 / 2
= 2
d n RT
(8)
donde d es el dimetro de las molculas del gas, n la densidad molecular, M el

peso molecular (M = mNA). En la ecuacin anterior, el tiempo de permanencia
depende de la densidad molecular y de la temperatura de las paredes del
recipiente que contiene al gas en el estado molecular: si la superficie interior de
una cmara est una temperatura muy baja, atrapar y retendr por largo tiempo
las molculas de gases ligeros que se le adhieran.
I.2.1.5. Desorcin
Es el proceso de liberacin de tomos o molculas adsorbidas de la superficie de
un slido. Este proceso es el resultado de: (a) el impacto de tomos o molculas,
(b) impactos de electrones, (c) impactos inicos, (d) impactos fotnicos
(fotodesorcin) o energa trmica (desorcin trmica)[6].
I.3. Regmenes de flujo

El proceso de bombeo de una cmara de vaco se realiza a travs de tubos y
orificios hasta los dispositivos o bombas encargados de realizar la evacuacin, por
lo que otro punto importante que debe considerarse en las tcnicas del vaco es el
rgimen de flujo existente a baja presin.
En el intervalo donde el estado del gas es viscoso, el flujo puede ser:
i) Turbulento: que se caracteriza por velocidades altas, las capas del flujo no son
paralelas, en las cavidades formadas entre capas se crean regiones de baja
presin y su direccin se altera con cualquier obstculo que se presente en su
camino.
ii) Laminar: este ocurre a bajas velocidades, sus capas son paralelas y su
velocidad aumenta de las paredes del tubo hacia su eje.
As, un flujo puede ser turbulento, laminar, intermedio y molecular (Tabla 1). El
lmite entre flujo turbulento y laminar se define por el nmero de Reynolds,
mientras que entre flujo laminar, intermedio y molecular se describe por el nmero
de Knudsen[3].
El nmero de Reynolds Re es una cantidad adimensional que se expresa por la
relacin:
Re =
vD
(9)
donde es la densidad del gas (g/cm3 ), v la velocidad (cm/s), la viscosidad

(g/cm s), y D el dimetro del tubo (cm). De esta relacin se establece que para
nmeros mayores que 2100, el flujo es completamente turbulento, mientras que
para Re < 1100 el \ flujo es completamente laminar. El valor exacto de Re para que
el flujo cambie de turbulento a laminar depende de la rugosidad de la superficie
del tubo y otros factores experimentales, sin embargo, en la mayora de los casos
los intervalos mencionados son vlidos.
El nmero de Knudsen es la razn entre el dimetro del tubo y el camino libre
medio, es decir:
10
K=
(10)
donde D es el dimetro del tubo y es el camino libre medio. Con esto se tiene la
caracterizacin de los regmenes de flujo a bajas presiones.
Tabla 1. Regmenes de flujo
Estado del gas
Rgimen del flujo
Condicin
Viscoso
Turbulento
Re > 2100
Q > 200 D (aire)
Re < 1100
Q < 100 D (aire)
D/ < 110
1 < D/ < 110
D/ < 1
Laminar
Transicin
Enrarecido
Intermedio
Molecular
I.4. Conductancia
En un sistema de vaco siempre existe una instalacin para la evacuacin de la
cmara, el transporte del gas a travs de ella se ve afectado por las dimensiones y
la forma geomtrica de sus conductos. A la caracterstica que tiene esta
instalacin se le denomina conductancia C y se define como la razn entre el
gasto Q y la diferencia de presin P entre los extremos de la conexin[3];
C=
Q
P
(11)
al inverso de la conductancia se le denomina resistencia. Haciendo una analoga

entre el flujo y la corriente elctrica, C corresponde a la conductividad elctrica y
P a la diferencia de potencial. Las reglas para el clculo de la conductividad en
un circuito elctrico son aplicables a un circuito de vaco:
i) en serie,
1
1
=
CT
i Ci
(12)
11
donde CT es la conductancia total.

ii) en paralelo,
C T = Ci .
(13)
I.5. Velocidad de evacuacin

El proceso de evacuacin en un sistema se realiza por el desplazamiento de gas a
travs de conductos que van de la cmara del sistema a la bomba de vaco, este
desplazamiento se genera por diferencias de presin que se produce en el
conducto al iniciarse el bombeo.
La rapidez con la que un sistema transporta el gas de un volumen a otro se
determina por la velocidad de bombeo S, que se define como el volumen de gas
que la bomba extrae por unidad de tiempo
dV
, a la presin existente en la
dt
entrada de la bomba.
El flujo de gas Q que sale de un sistema de vaco, llamado gasto, se define
como el producto del volumen que pasa en la unidad de tiempo multiplicado por la
presin P existente,
dV
Q = P
dt
(14)
de la definicin de velocidad de bombeo,
Q = PS .
(15)
Si se considera una cmara de volumen constante V y que ser evacuada por un

sistema con velocidad de bombeo efectiva Se, y suponiendo que la presin fija del
sistema de bombeo es despreciable, se tiene que el gasto est dado por la
ecuacin (15),
12
Q = PS e
(16)
Como resultado del bombeo continuo, la presin dentro la cmara decae de

acuerdo a la siguiente ecuacin,
d( PV )
Q =
dt
(17)
de ambas ecuaciones,
P = Po e
S
et
V
(18)
donde Po es la presin inicial de la cmara.

I.6. Fugas reales y virtuales
Al trabajar con un sistema de vaco se tiene que la principal causa que limita y
mantiene la presin de bajo y alto vaco son las fugas del sistema.
Una fuga se define como un defecto que permite la presencia de gas no deseado
dentro del sistema[8]. Las fugas se clasifican
en reales y virtuales, las primeras son aquellas en las que gases que estn fuera
del sistema aparecen dentro del contenedor de vaco; las segundas son aquellas
en que los gases ya estn en el sistema y una vez que se tienen bajas presiones
aparecen dentro del contenedor de vaco.
Las fugas reales se subclasifican en fugas tipo poro y tipo permeacin: las fugas
tipo poro son agujeros en las paredes del contenedor a travs de las que el gas
puede fluir en estado molecular o viscoso al interior de l. En las fugas tipo
permeacin, el gas debido al gradiente de concentracin, pasa atmicamente por
medio de interacciones electrnicas de tomo en tomo a travs de las paredes
del contenedor de vaco.
13
Un tipo de fugas virtuales aparecen cuando los gases son atrapados dentro del
contenedor de vaco, en cavidades o en canales. Las causas son usualmente por
fallas en el diseo mecnico del sistema de vaco. Otro tipo de fugas virtuales se
originan por adsorcin y desorcin.
En este captulo se discutieron algunos aspectos importantes del comportamiento
de los gases, los efectos de superficie y su transporte en situaciones de bajo y alto
vaco. Esta breve discusin terica tiene como finalidad obtener las bases
suficientes para trabajar en un sistema de vaco real. En el siguiente captulo se
describen los sistemas ms comunes para lograr el alto vaco, as como los
principios de operacin de cada uno de
ellos, sus ventajas y sus principales
aplicaciones.
14
Captulo II. Sistemas de alto vaco

Un sistema de alto vaco (presiones <10-5 Torr) est formado por, una cmara, el
sistema de bombeo, un sistema de medicin y control y un sistema de
alimentacin. En la cmara, que es el principal componente, se llevan a cabo los
experimentos o bien los procesos industriales que requieren de una atmsfera
enrarecida.
La interaccin entre estos sistemas se muestra en la Figura 1.
Figura 1. Diagrama de integracin de un sistema de alto vaco.
Una gran cantidad de investigaciones y procesos industriales se realizan dentro

de cmaras de vaco, por lo que su volumen es variable y tan complejas, como las
tareas que al realizarse lo requieran. En la Tabla II se muestran algunos ejemplos
representativos y la presin a la que se llevan a cabo.
Tabla II. Ejemplos de procesos industriales y cientficos con sus respectivos intervalos de presin.
PROCESOS INDUSTRIALES
INTERVALO DE PRESIN (Torr)
Erosin de metales
Recubrimientos por evaporacin
Produccin de tubos electrnicos
PROCESOS CIENTFICOS
10-6 10-9
10-4 10-9
10-4 10-7
Espectrmetros de masas
Aceleradores de partculas
Produccin de pelculas delgadas
Simulacin espacial
10-4 10-8
10-6 10-9
10-4 10-9
10-4 10-12
15
II.1. Sistema de alto vaco en serie (transferencia de gas)

Su principal caracterstica es que el gas que evacua se expulsa directamente a la
atmsfera por medio de varias etapas de compresin. El sistema est formado por
una cmara para alto vaco y un sistema de bombeo integrado por bombas de
transferencia de gas, medidores de vaco y vlvulas (Figura 2).
Figura 2. Esquema de un sistema de vaco de transferencia de gas. (A) cmara de vaco, (B) vlvula de
alto vaco, (C) trampa fra, (D) bomba de alto vaco, (E) vlvulas de bajo vaco, (F) medidores de
bajo vaco, (G) medidor de alto vaco, (H) vlvula de admisin de aire y (I) bomba de apoyo.
II.1.1. Bomba de pre-vaco

La bomba de pre-vaco y apoyo tiene como primera funcin disminuir la presin
interna desde la atmosfrica, hasta un valor en el que las bombas de alto vaco
comienzan a ser eficientes; una vez que se inicia el proceso de bombeo que
permita obtener alto vaco, la bomba es indispensable para comprimir el gas y
expulsarlo a la atmsfera. La bomba que ms se usa es la rotatoria de paletas
deslizables, que emplea aceite como lubricante y sello dinmico a la atmsfera.
En la Figura 3 se representa el esquema de una bomba rotatoria de paletas.
16
Figura 3. Esquema tpico de una bomba de apoyo: (A) conexin al sistema de vaco, (B) vlvula de
descarga, (C) aceite, (D) lastre de aire, (E) rotor y (F) esttor.
En el espacio limitado por el rotor (E), el esttor (F) y las dos paletas (G) se
encierra un volumen de gas, que al comprimirse por la accin de rotacin, abre la
valvula de salida (B) y se expulsa a la atmsfera. Con este tipo de bombas se
alcanzan presiones de 10-3 a 10-4 Torr iniciando con presin atmosfrica. La
velocidad de bombeo S es en general grande y su compresin Ps/Pe muy alta.
II.1.2. Bombas de alto vaco
Una vez que se alcanza el bajo vaco en la cmara 10-3 Torr se ponen en
operacin las bombas de alto vaco, las ms usuales son las bombas de difusin y
las bombas turbomoleculares.
II.1.2.1. Bombas de difusin

Las bombas de difusin son bombas de chorro, en las que el denso vapor del
orden de 1016 molculas/cm3) del fluido de trabajo ya sea aceite o mercurio sale
de las toberas con una velocidad supersnica en una direccin preferencial hacia
abajo, al encontrarse molculas de gas les transfieren mpetu, arrastrndolas
hacia la regin de bajo vaco en donde son evacuadas por la bomba de apoyo. En
la Figura 4 se muestra el corte de una bomba de difusin de aceite.
17
Figura 4. Esquema de una bomba difusora: (A) partculas de gas, (B) conexin para alto vaco, (C)
serpentn refrigerante, (D) sombrillas, (E) conexin a la bomba de apoyo, (F) cuerpo de la bomba,
(G) hervidor para aceite, (H) calefactor y (I) jet de vapor.
El calefactor de aceite est en la base de la bomba y el vapor generado asciende

por la tobera en forma de chimenea. Vertical y concntrica se encuentran
dispuestas las toberas anulares con sus correspondientes sombrillas. La tobera
superior est diseada para trabajar a presin ms baja y constituye la primera
etapa de compresin. El vapor sale por las toberas y se dirige hacia la pared
enfriada por agua, debido a la forma especial de las sombrillas; all se condensa y
retorna al hervidor, el gas bombeado se evacua a travs de la lnea de vaco
previo. Con estas bombas se han logrado obtener presiones de 3.7x10-9 Torr a
partir de una presin de aproximadamente 10-2 Torr[9].
II.1.2.2. Bombas turbomoleculares

Las bombas turbomoleculares estn compuestas de un rotor y un estator; el rotor
cilndrico tiene en su superficie una serie de aspas con un ngulo determinado,
que comprimen el gas por transferencia de mpetu en una direccin preferencial. A
travs de varias etapas de compresin llegan a la zona de alta presin donde se
capturan y transfieren por la bomba de apoyo a la atmsfera (Figura 5).
18
Figura 5. Esquema de una bomba turbomolecular: (A) rotor, (B) estator, (C) balero de seguridad (D)
sensor radial, (E) electroimn radial, (F) motor de alta frecuencia, (G) electroimn axial, (H) balero
de seguridad, (I) conector, (J) imn permanente, (K) Conexin y (L) sensor axial.
En el esquema de la bomba cada par circular de aspas rotor/estator (A)/(B)

forman una etapa. El gas se atrapa en las etapas de alto vaco (parte superior del
rotor y estator) que son las ms largas, y se comprime por las etapas inferiores
que son ms cortas y tiene un ngulo menor que las primeras. Despus se evacua
a travs de la lnea de comunicacin al vaco previo (K). La velocidad a la que gira
el rotor de las bombas esta dentro del intervalo de 24,000 a 60,000 rpm y se
proporcionan por fuentes de poder de estado slido o conjuntos motor-generador.
La presin mnima que se obtiene con este tipo de bombas es de 3.7x10-11 Torr. A
diferencia de las difusoras, las bombas turbomoleculares son muy limpias y se
construyen en una gran variedad de tamaos, son muy eficientes para el bombeo
de gases y vapores.
II.1.3. Medidores de vaco

Para determinar la presin de trabajo se han desarrollado un conjunto de
medidores de vaco, aprovechando los fenmenos fsicos asociados con el estado
del gas en la cmara.
A la fecha se conoce una gran variedad de medidores de vaco, los cuales
abarcan todos los intervalos de vaco alcanzados, entre estos se encuentran los
medidores de bajo o medio y de alto vaco.
19
II.1.3.1. Medidores bajo vaco

En este intervalo de presiones se conocen varios tipos de medidores, los ms
comunes son los medidores indirectos de conductividad trmica.
La utilidad de los medidores de conductividad trmica se extiende hasta una
presin de aproximadamente 10-3
Torr, donde comienza a predominar la
transferencia de calor por radiacin sobre la transferencia por conduccin

molecular. El lmite superior ocurre en la regin donde la conductividad del gas
cambia muy poco con la presin, cerca de los 100 Torr. El medidor de termopar y
el piran se instalan en el sistema para determinar la presin de arranque de las
bombas de alto vaco.
II.1.3.1.1. Medidor piran

Este medidor emplea un puente de Wheatstone, como se muestra en la Figura 6,
que sirve para calentar un filamento (F) y balancear su resistencia con un resistor
estndar sellado a alto vaco (B). Un cambio de presin modifica la temperatura
del filamento y en consecuencia su resistencia, desbalanceando as el puente.
Entonces la presin se puede medir en trminos del voltaje de desbalanceo (M).
Alternativamente, el potencial necesario para mantener el filamento a un nivel de
temperatura constante es una medida indirecta de la presin. En este caso la
temperatura se mantiene constante por medio de un circuito de retroalimentacin.
Figura 6. Diagrama de un medidor Piran: (a) circuito de medicin y (b) medidor. (A) conexin al
sistema de vaco, (B) resistor sellado a alto vaco, (F) filamento, (I) medidor de corriente y (M) \
medidor de vaco.
20
El ms pequeo cambio de presin detectable, queda determinado de cualquier

forma por una pequea seal que puede ser registrada en el medidor a la salida
del puente. Los errores debidos a las fluctuaciones de fondo y los cambios en la
temperatura de las paredes del medidor llegan a aumentar notablemente a altas
presiones, sin embargo, estos defectos son minimizados trabajando con el
filamento a temperatura constante en lugar de trabajar a voltaje constante o
corriente constante.
II.1.3.1.2. Medidor termopar

El trmino termopar se refiere al punto de unin de dos conductores diferentes
para producir un circuito cerrado. Cuando la unin se calienta, se genera una
diferencia de potencial que depende de los metales y la diferencia de temperatura
entre la unin y las terminales de los conductores que no se calentaron.
Figura 7. Esquema de un medidor termopar: (F) filamento y (T) unin termoelctrica.
En su forma ms simple (Figura 7) el medidor consiste de una unin

termoelctrica (T), cuya temperatura aumenta debido a una corriente elctrica
constante y regulada que se aplica al circuito (F). El cambio de la temperatura de
la unin vara de acuerdo a la cantidad de calor tomada por el gas dentro del
sistema, por lo que el potencial generado a travs de las terminales de la unin
depende de la temperatura y por consiguiente de la presin del gas. Los voltajes
generados por la diferencia de temperatura son del orden de milivolts, suficientes
para alimentar externamente un potencimetro calibrado en un medidor para la
21
indicacin de la presin. El medidor termopar puede ser ms austero que el piran,

pero es ms limitado en su intervalo de sensitividad. El termopar tiene la virtud de
ser muy simple, pero la desventaja de tener una escala no lineal. Sus principales
aplicaciones son en sistemas donde no se requiere gran precisin[2].
II.1.3.2. Medidores de alto vaco

Dadas las limitaciones de los medidores de conductividad trmica, al llegar a
mejores vacos, es necesario contar con otro tipo de medidores. A presiones
menores a 10-3 Torr, se usan los medidores de alto vaco; los ms usados son los
de ionizacin.
II.1.3.2.1. Medidor de ionizacin de ctodo caliente

En este tipo, los electrones emitidos de un filamento caliente, son acelerados
hacia un malla cilndrica cargada positivamente, algunos de ellos pasan entre el
espacio de la malla y un colector negativo, al chocar con las molculas del gas del
sistema de vaco, producen iones positivos que son atrados y capturados por el
colector. Con un voltaje constante en la malla y con una emisin de corriente de
electrones constante, el nmero de iones positivos es proporcional a la densidad
molecular cuando la presin es menor a 10-3 Torr; en consecuencia, la corriente
inica sobre el colector es una medida indirecta de la presin.
Figura 8. Medidor de ctodo caliente: (A) colector de iones, (B) malla aceleradora de electrones y (C)
filmento emisor de electrones.
22
Un medidor de ionizacin de ctodo caliente es el Bayard - Alpert Figura 8, el

filamento (C) est fuera de la malla cilndrica (B), que se mantiene a un potencial
positivo para colectar electrones, mientras que el colector inico est a
un
potencial negativo y consiste de un alambre delgado suspendido al centro de la

malla (A).
II.1.3.2.2. Medidor de ionizacin de ctodo fro

El principio de operacin de estos medidores (Figura 9) es la creacin de una
descarga elctrica autosostenida, aplicando externamente una diferencia de
potencial de miles de Volts a dos placas conductoras (ctodo (A)). Con la ayuda
de un campo magntico exterior, los electrones que se producen por la descarga
son forzados a seguir recorridos elpticos, ionizando las
molculas del gas
circundante. Debido a la gran masa de los iones, stos viajan a bajas velocidades
y el campo magntico tiene un efecto muy pequeo sobre ellos, por lo que una vez
que se producen, son capturados por un colector (B). La corriente inica positiva
es una medida lineal de la densidad del gas y por consiguiente de la presin[2].
Figura 9. Medidor de ctodo fro. (A) ctodo y (B) nodo.
II.1.4. Procedimientos de operacin del sistema

Cuando se cuenta con todos los elementos que componen el sistema de alto vaco
(Figura 1), se tiene especial cuidado en limpiar la cmara de vaco, as como la
lnea de evacuacin del sistema.
23
En primer lugar se inicia la evacuacin de todo el sistema por medio de la bomba

mecnica, esperando llegar a la presin ltima de operacin que es del orden de
10-3 Torr. Esto se hace para garantizar que no hay fuga en el sistema y as poder
alcanzar la presin base de operacin de la bomba difusora o turbomolecular. Si
esta presin no se alcanza, se busca la fuente de gas que puede ser una fuga y se
corrige. Una vez que se ha logrado llegar a la presin lmite, se pone en operacin
la bomba de alto vaco. Si se va a trabajar con una bomba de difusin, lo primero
que se hace es llenar la trampa de la bomba con nitrgeno lquido y enseguida se
enciende el calefactor del hervidor y el sistema de refrigeracin.
Si se usa una turbomolecular, primero se hace circular el refrigerante y en
seguida se pone en operacin la bomba.
Una vez que se logra la presin de trabajo, se realizan los experimentos
planeados. El proceso de apagado de ambas configuraciones es el siguiente:
Si se us un sistema con bomba difusora, se apaga sta y se extrae el nitrgeno
lquido de la trampa. Se espera a que el hervidor de la bomba este fro y la trampa
adquiera la temperatura ambiente; a continuacin se apagar la bomba mecnica
de apoyo y se suspende el suministro de refrigerante.
Para el caso en que se usa una bomba turbomolecular, se apaga la bomba y se
espera a que el rotor disminuya su velocidad, posteriormente se apagar la bomba
mecnica de apoyo y el sistema de refrigeracin.
II.2. Sistema de alto vaco en paralelo (Atrapamiento)

La caracterstica de este sistema, es que el gas de la cmara se atrapa y se
retiene en las bombas mientras estn en operacin. Este sistema, al igual que el
anterior, est formado por una cmara, medidores, una bomba de alto vaco y una
bomba de pre-vaco (Figura 10).
II.2.1. Bombas de adsorcin

Las bombas de adsorcin consisten en un recipiente refrigerado que contiene un
adsorbente activado. Los materiales usados como adsorbentes son en general las
zeolitas o el carbn de coco. Las zeolitas son aluminosilicatos metlicos alcalinos,
24
que tienen una estructura de redes tetraedrales. Que a diferencia de los cristales
ordinarios que contienen agua de cristalizacin, son deshidratadas sin cambiar su
estructura de red cristalina, dando como resultado que las molculas de distintos
gases puedan ocupar los espacios del agua removida, siendo as las zeolitas muy
buenos adsorbentes. Sin embargo, esto es vlido para algunos gases, ya que
estos materiales presentan la propiedad de persorcin; que se define como la
adsorcin en los poros que son ligeramente mayores que el dimetro de las
molculas a adsorber[3].
Figura 10. Diagrama de un sistema de alto vaco en paralelo. (A) cmara de vaco, (B) vlvula de alto
vaco, (C) bomba de alto vaco, (D) vlvula de bajo vaco, (E) vlvula de admisin de aire, (F)
medidor de bajo vaco, (G) medidor de alto vaco y (H) bomba de bajo vaco.
Las caractersticas de adsorcin de un tpico tamiz molecular (con un tamao

promedio de poro de 5 ) se muestran en la Figura 11. En la curva, se grafica la
cantidad de gas que puede ser adsorbido, en Torr x 1litro de gas por gramo de
adsorbente, como una funcin de la presin del gas residual. En apariencia, si la
temperatura del adsorbente es menor, mayor nmero de molculas de gas son
adsorbidas, sin embargo, el nen y el helio son adsorbidos a menor escala que el
nitrgeno. En la atmsfera, las presiones parciales del nitrgeno, nen y helio son
de 595, 1.4x10-2 y 4x10-3 Torr respectivamente.
25
Figura 11. Isotermas de adsorcin para la zeolita 5A. (1) N2 a -195 oC, (2) Ne a 195 oC, (3) N2 a 20 oC y
(4) He a -195 o C.
La isoterma de adsorcin indica que una presin parcial de 10-2 Torr se obtiene
despus de bombear 102 Torr-litro de nitrgeno, 10-3 Torr-litro de nen o 8x10-5
Torr-litro de helio por gramo de zeolita (Figura 11).
Las bombas de adsorcin estn compuestas de un cuerpo de acero inoxidable
con difusores internos de cobre para facilitar la transferencia de calor hacia la
carga de zeolita. Adems llevan asociado un contenedor de nitrgeno
desmontable que se sujeta en tres soportes y con una vlvula por donde se libera
el gas en el proceso de activacin (horneado) (Figura 12).
Figura 12. Bomba de adsorcin (Varian): (a) forma exterior, (b) corte transversal. (A) entrada de la
bomba, (B) \ vlvula liberadora de gas, (C) depsitos de nitrgeno lquido, (D) difusores y (E)
contenedor de tamiz molecular.
26
La bomba de adsorcin se conecta al sistema de vaco y se sumerge en

nitrgeno lquido; como la temperatura de la zeolita disminuye, adsorbe gas del
sistema causando un descenso en la presin. Cuando se alcanza la presin de
equilibrio (la presin ltima de la bomba), la bomba se asla. En esta fase el tamiz
molecular est saturado, para reactivarlo es necesario calentarlo por varias horas;
para este propsito se usan calefactores en forma de cinturn a una temperatura
mayor de 200 oC.
Figura 13. Proceso del bombeo de nen y helio
Una bomba de adsorcin es capaz de bombear sistemas de vaco de 1 a 50

litros, desde atmsfera hasta una presin ltima de alrededor de 10-2 Torr, donde
el medio residual consiste principalmente de nen. Sin embargo, es posible reducir
presin ltima de nen, mediante el uso de bombas subsecuentes[10]. A presiones
mayores a 102 Torr, Figura 13, las molculas de nitrgeno y oxgeno, fluyen hacia
la bomba arrastrando con ellas las molculas de helio y nen, reduciendo as su
presin parcial dentro de la cmara, en proporcin directa con el cambio en la
presin total. Si el proceso de bombeo contina, eventualmente, la presin puede
caer del nivel donde el nitrgeno comprime al helio y al nen en la bomba. Esta
situacin puede provocar un movimiento de regreso a la cmara y su presin
parcial volver a aumentar. Si se cierra la primera bomba, en el momento que la
27
presin del nen pase por un valor mnimo y se pone en operacin una segunda
bomba, se obtendr una presin ltima ms baja. Esto se ejemplifica en la Figura
14.
Figura 14. Proceso de evacuacin de una cmara de 102 litros empleando dos bombas de adsorcin,
(A) en paralelo y (B) en serie.
II.2.2. Bombas de alto vaco

En este tipo de sistema las bombas de alto vaco comnmente usadas son las de
ionizacin y las criognicas.
II.2.2.1. Bombas inicas de Ti

El principio de estas bombas es ionizar el gas que hay dentro de un sistema,
acelerar los iones hacia una placa cargada negativamente, donde son atrapados y
retenidos por combinacin qumica con el material de la placa, siendo as
removido el gas del sistema[11].
En las bombas inicas se genera una descarga elctrica entre un nodo y un
ctodo a un alto voltaje dentro de un campo magntico (Figura 15); este campo
provoca que los electrones de la descarga sigan trayectorias helicoidales. El
28
aumento en el recorrido de los electrones, asegura un aumento de la eficiencia en

la formacin de iones del gas dentro de la cmara. Los iones formados, se
aceleran hacia el ctodo de titanio donde son capturados o qumisorbidos. Debido
a las altas energas que adquieren algunos de ellos, al golpear el ctodo arrancan
material (titanio), que en baja proporcin se sita en la superficie del nodo,
capturando tomos del gas.
Figura 15. Esquema del principio operativo de una bomba inica de titanio. (A) nodo en forma de
paneles, (B) imn permanente y (C) ctodo de placas de titanio.
Las bombas inicas consisten esencialmente de una cmara de acero

inoxidable, conteniendo un nodo construido en forma de paneles, Figura 16, y
unas placas de titanio como ctodo, colocadas a los extremos del nodo. Entre los
elctrodos se mantiene un potencial de 3000 a 7000 volts. Externamente se aplica
un campo magntico de 1500 gauss por medio de imanes permanentes a lo largo
del eje del nodo.
Para esta bombas, la eficiencia se expresa con la razn entre la corriente inica
y la presin i+/P. La corriente inica i+ es proporcional a el nmero de molculas
que entran a la bomba por unidad de tiempo que es el gasto Q[3] . As que,
i+
Q
= K = KS
P
P
(19)
29
y entonces la velocidad de bombeo S es,

i+
S = (l/s)
P
donde =
(20)
1
es la constante de bombeo, i+ es la corriente inica y P es la
K
presin. El valor de K vara de 0.05 a 0.1 dependiendo del gas que se trate y de la
bomba.
Figura 16. Esquema de una pequea bomba inica de titanio. (A) nodo, (B) conector al sistema de
alimentacin elctrica, (C) ctodo de titanio y (C) conexin al sistema de vaco.
II.2.2.2. Bombas criognicas

En estas bombas la accin de reducir la presin se realiza con base en la
condensacin de los gases (vapores) existentes en el sistema, sobre superficies a
temperaturas criognicas. El criobombeo comprende tres mecanismos: la
criocondensacin, la criosorcin y el crioatrapamiento[3]. La criocondensacin
ocurre cuando las molculas del gas inciden sobre molculas de la misma especie
adheridas a la superficie; por este proceso se pueden producir capas de espesor
considerable. La criosorcin es la adsorcin fsica de gases por superficies fras.
El crioatrapamiento es el proceso mediante el cual los gases son atrapados
30
(sepultados) bajo la condensacin de una segunda capa de gas, por ejemplo en

las trampas de hidrgeno.
En general las superficies de criobombeo no pueden ser expuestas directamente
a fuentes de gas a temperatura ambiente, ya que la carga de calor debida a la
radiacin excede a la que se debe a la condensacin de las molculas del gas.
Por tanto, la superficie criognica que se expone a la fuente de gas, debe
protegerse con un bafle pticamente opaco[3].
Las bombas criognicas usualmente consisten de una cmara de vaco, un
refrigerador mecnico criognico y dos conjuntos de condensadores, uno
conectado al sistema refrigerador y el otro a una cmara baja llena de nitrgeno
lquido (Figura 17). Al conjunto de condensadores externos se le conoce como
coleccin 77K y al conjunto de condensadores internos como coleccin 20K.
Figura 17. Esquema de una bomba criognica. (A) condensador 20K, (B) fuente fra, (C) condensador
77K con nitrgeno lquido, (D) conexin de alto vaco, (E) cuerpo de la bomba, (F) compresor de
helio, (G) conexiones de vaco de apoyo, (H) conexin para medidor, (I) sensor de nitrgeno
lquido, (J) vlvula de entrada de nitrgeno lquido, (K) dispositivo de control de flujo de nitrgeno,
(L) medidor de temperatura, (M) lnea de nitrgeno, (N) vlvula de salida de nitrgeno y (O) taque
de nitrgeno.
El refrigerador mecnico est compuesto de un compresor, un par de lneas

flexibles y un dispositivo de expansin llamado fuente fra, todas estas partes se
acoplan para formar un sistema cerrado de transferencia de gas. La cmara baja
31
se llena de nitrgeno lquido por medio de un tanque fijo, esta cmara al igual que
el refrigerador, forma un circuito cerrado de transferencia de gas, que viaja por las
lneas y llega a la coleccin 77K enfrindola. Por otro lado el helio comprimido que
sale del compresor, viaja a travs de la lnea flexible, entrando a la fuente fra,
donde el helio se expande bajo condiciones controladas y circula por la coleccin
20K enfrindola. El helio retorna hacia la unidad de compresin por la otra lnea
flexible.
La coleccin 77K, que normalmente se hace de cobre, se enfra a una
temperatura entre 25 y 80 K que es suficiente para condensar muchos gases.
La coleccin 20K construida tambin de cobre, pero recubierta con un material
adsorbente (carbn de coco activado ente otros) alcanza una temperatura de 10 a
20 K, aqu algunos de los gases ligeros tales como el hidrgeno, el helio y el
argn, son atrapados.
II.2.3. Procedimiento de operacin del sistema

Al igual que en los sistemas en serie, el proceso de operacin se inicia con la
limpieza a fondo de los componentes del sistema, al ensamblar las partes se tiene
cuidado en que todo quede sellado hermticamente para evitar las fugas.
En cuanto se tiene todo armado, se inicia el bombeo con la bomba de adsorcin
hasta alcanzar la presin de equilibrio que dependiendo de la relacin, volumen
del sistema-carga de adsorbente en la bomba debe ser de 10-2 Torr para dos
bombas secuenciales.
Las fallas que se pueden presentar en esta etapa de bombeo son: la relacin
volumen del sistema-carga de adsorbente de la bomba no es el adecuado o que la
bomba est saturada.
En cuanto se corrige la falla y se logra la presin de equilibrio de la bomba, se
asla del sistema, se extrae el nitrgeno lquido del contenedor y se pone en
operacin la bomba de alto vaco al aplicar voltaje entre los electrodos.
Si se cuenta con una bomba inica el procedimiento es el siguiente: se enciende
la fuente de alimentacin de la bomba, se regula manualmente el voltaje aplicado.
Dado que la cantidad de gas existente a esas presiones es an muy grande, la
32
bomba requiere de mucha corriente para mantener la descarga entre los

electrodos. A medida que el vaco mejora la corriente necesaria se reduce y por
tanto el consumo de potencia tambin (ecuacin 19). El proceso para alcanzar el
alto vaco con esta bomba requiere de tiempo, pero se obtienen vacos muy
limpios a diferencia de los sistemas en serie.
Si en lugar de usar una bomba inica se usa una criognica, el procedimiento es
el siguiente: Previamente a trabajar con la bomba, se pone en operacin el
refrigerador mecnico a fin de comprimir helio. Una vez que se alcanza la presin
de operacin de la bomba, se llena la cmara baja de nitrgeno lquido y se hace
circular a travs de la coleccin 77K, hasta alcanzar la presin de equilibrio para
esta temperatura, a continuacin se hace circular el helio comprimido por la
coleccin 20K logrando el alto vaco. Al igual que en el sistema anterior, el proceso
de bombeo requiere de un tiempo considerable.
Los problemas que se pueden presentar en estas bombas son: que las
superficies de condensacin se saturen limitando el bombeo del sistema; que las
lnea de conduccin del refrigerante, sufran desperfectos como que estn parcial o
completamente tapadas, que presenten picaduras o abolladuras ocasionando que
el refrigerante no llegue a las colecciones; que el aislamiento trmico tenga fugas
y en consecuencia no se llega a la temperatura requerida; o que el compresor de
helio no funcione perfectamente y lmite parcial o completamente la obtencin de
helio comprimido.
Cuando se ha completado el proceso de evacuacin del sistema y se han
realizado las actividades que se tenan planeadas, el proceso de apagado es el
siguiente, como la bomba de bajo vaco ya se ha aislado previamente del sistema,
las que hay que interrumpir son las de alto vaco, para el caso de la bomba inica,
solo se corta el suministro de energa, de la fuente de alimentacin y deja de
funcionar. Para la criognica se cierran los conductos del nitrgeno lquido y del
helio comprimido, cuidando de que toda la lnea quede libre de ellos, por ltimo se
apaga el compresor.
Para repetir los procesos de operacin se hornean previamente las bombas de
adsorcin, a fin de que queden nuevamente activadas.
33
II.2.4. Aplicaciones especficas

A pesar de que los vacos que se generan en estos sistemas son muy limpios, las
aplicaciones que se le pueden dar a ellos varan uno del otro, por ejemplo al usar
un sistema bomba criognica-bomba de adsocin, dado que el bombeo se realiza
por enfriamiento, hay algunos procesos trmicos que no se pueden realizar. Las
aplicaciones que se le pueden dar a este sistema son: simuladores espaciales, en
espectrmetros de masas, aparatos de haces moleculares, investigaciones de
bajas temperaturas, aceleradores de partculas etc. En la industria en la
produccin de tubos electrnicos y tubos de descarga etc.
En los sistemas bomba inica-bomba de adsorcin, las aplicaciones no tienen
restricciones, cientficamente se pueden aplicar en: espectrmetros de masa,
aparatos de haces moleculares, aceleradores de partculas, aparatos de difraccin
electrnica, fsica de superficies, investigacin de materiales, etc. En la industria
en aleacin de metales, fundicin por can de electrones, evaporacin por capas,
erosin de materiales, etc.
II.2.5. Ventajas y desventajas de los sistemas

La ventaja primordial de estos dos sistemas, como se mencion antes, es que los
vacos que se generan son muy limpios.
Desde el punto de vista de costo es ms econmico adquirir una bomba inica
que una criognica dado que cuenta con compresores de gas, que esencialmente
es la parte ms costosa de la bomba.
Tomando en cuenta que en el uso de cualquiera de los dos sistemas los
procesos de bombeo son muy largos, se tiene que el sistema de la bomba
criognica consume mayor cantidad de energa, por el proceso de compresin y
circulacin del refrigerante, que involucra muchas transformaciones de energa y
por consiguiente prdidas, mientras que en el sistema con inica, solo es
necesaria energa elctrica.
Por lo tanto para esta clase de sistemas, el tipo bomba inica-bomba de
adsorcin es ms eficiente que el de bomba criognica-bomba de adsorcin.
34
II.3. Comparacin entre los sistemas en serie y en paralelo

Teniendo en cuenta las ventajas y desventajas de las dos clases de sistema por
separado, se hace un balance en el empleo de uno o del otro.
En eficiencia se tiene que los sistemas en serie son mejores que los en paralelo,
en especial el sistema bomba turbomolecular-bomba mecnica.
Si lo que se necesita son vacos muy limpios, los sistemas en paralelo son los
mas indicados, en especial por menor inversin, el sistema bomba inica-bomba
de adsorcin.
Considerando el costo al adquirir un sistema, se tiene que los ms econmicos
son, en serie el sistema bomba difusora-bomba mecnica, y en paralelo el sistema
bomba inica-bomba de adsorcin.
Por lo tanto un sistema econmico en el que se obtienen vacos muy limpios,
aunque sin embargo se invierte, mucha energa por lo prolongado del proceso de
evacuacin, es el sistema bomba inica-bomba de adsorcin.
En el siguiente captulo se hace un anlisis de un sistema de este tipo que se
construy en los talleres del Instituto de Fsica de la UNAM.
35
Captulo III. Caracterizacin del sistema de alto vaco
III. Caracterizacin del sistema de alto vaco

Como se mencion al inicio del trabajo, el objetivo es realizar la caracterizacin y
la optimizacin del sistema de alto vaco que se construy en el Instituto de Fsica.
La caracterizacin del sistema comprende el anlisis de cada uno de los
materiales de los elementos que lo componen; la evaluacin de diseo y de
construccin, as como el estudio de una serie de factores que intervinieron en la
construccin del sistema y que en un momento dado limitan la presin ltima.
En la evaluacin, los factores que se analizan son: las dimensiones del sistema,
las propiedades de los materiales usados en la construccin, las clases de sellos
desmontables con que cuenta y el tipo de soldadura.
La finalidad de esta caracterizacin es la de contar con los parmetros que
permitan hacer una prediccin sobre la presin ltima que se puede lograr.
En la Figura 18 y 19 se muestra un diagrama del sistema de alto vaco que se
construy.
Figura 18. Diagrama del sistema de alto vaco: (A) cmara de alto vaco, (B) seccin de bajo vaco
(bombas de adsocin, termopar y vlvulas), (C) seccin de alto vaco (bomba inica) y (D) medidor
de alto vaco.
36
El diseo y la construccin se realizaron en base a los estndares establecidos,

tomando los siguientes criterios.
Para el diseo y construccin del sistema[12]:
- Presin ultima.
Presin total,
Presin parcial.
- Presin de operacin.
- Gases que intervienen en el proceso.
- Inversin de tiempo en el proceso de bombeo.
- Volumen del sistema.
- rea superficial de la seccin de alto vaco.
- Desgasificacin de las partes que lo componen.
- Dimensiones de las fugas del sistema.
- Procedimientos de operacin.
Figura 19. Diagrama del sistema de alto vaco rotado 90o.
Para la seleccin de materiales[12,13]:

-Presin de vapor.
37
-Temperaturas mximas de horneado, sin perder su resistencia y sin sufrir

efectos de corrosin.
- Propiedades fsicas.
Resistencia a la deformacin por presin atmosfrica.
Conductividad trmica.
Propiedades magnticas.
- Construccin.
Maquinado.
Soldadura.
- Peso.
- Acabado.
- Costo.
- Vida til.
III.1. Cmara de usos mltiples
La cmara del sistema se construy a partir de un tubo de acero inoxidable 304
con costura axial con dimetro interior de 20.5 cm, espesor de 0.65 cm y longitud
de 40 cm (Figura 20). A cada extremo del tubo se soldaron anillos de acero
inoxidable 304 que tienen la caja de aro-sello. Las tapas de la cmara y los anillos
tienen un dimetro exterior de 28 cm y espesor de 1.9 cm. Cuenta con dos
accesos de usuario a 180o construidos con tubo de 10 cm de dimetro, espesor
de 0.40 cm y longitud de 7 cm; los anillos con los aro-sellos y las tapas de stos,
tienen un dimetro exterior de 13 cm y un espesor de 1.2 cm, la cmara tiene un
terminado espejo en la superficie interior y exterior. El volumen de la cmara
incluyendo los accesos es de 14.55 l.
Caractersticas del acero inoxidable 304[12]:
- Desgasificacin menor a 10-13 Torr l/cm2s.
- Alta resistencia.
- No magntico.
- Facilidad para el maquinado.
- Soldable (T.I.G.).
38
- Acabado espejo.
El tipo de soldaduras usadas en las uniones, es a base de arco elctrico con
atmsfera de gas inerte (T.I.G.). Esta tcnica es una de las ms apropiadas ya
que no involucra elementos de relleno, fundentes y la oxidacin es mnima debido
a la atmsfera libre de oxgeno[14]. Los aro-sellos de vitn empleados para los
sellos desmontables tienen las siguientes caractersticas[12]:
-Desgasificacin menor que 10-8 Torr l/cm2s.
-Baja penetracin de helio.
-Temperatura mxima de trabajo 180 oC.
-Horneable entre 100 y 125 oC.
Figura 20. Diagrama de la cmara de alto vaco. (F) unin desmontable con caja para aro-sello de
vitn (S) uniones soldadas por proceso T.I.G. Las dimensiones son en centmetros.
Del anlisis de la construccin y de los materiales empleados en la cmara, los

factores que pueden modificar la presin ltima del sistema son:
La formacin de poros y microgrietas en las soldaduras. En los sellos
desmontables (tapa con aro-sello), aqu se tiene que en el mejor de los casos, de
la presin de vapor que tienen los aro-sellos, la presin ltima que se puede lograr
39
es 10-8 Torr, aunque existe la posibilidad de que por defectos en la caja de stos
o en ellos mismos existan otras fuentes de fuga real.
III.2. Lnea de evacuacin
La lnea de evacuacin se divide en dos partes: la primera va de la cmara a las
bombas de adsorcin y la segunda une la cmara con la bomba inica (Figura 18
y 19).
La lnea que va a las bombas de adsorcin en su primera parte esta construida
con un tubo unido por bridas, el tubo es de acero 304[12] de 2.1 cm de dimetro
interior y longitud total de 25.5 cm. Las bridas tambin de acero 304 (Figura 21)
son del tipo Conflat de 2" con aro-sello de cobre OFHC que tiene las siguientes
caractrsticas[12]:
-Desgasificacin de 10-9 Torr l/cm2s.
-No magntico.
-Alta conductividad trmica.
-Facilidad para el maquinado.
-Facilidad para la soldadura por varios mtodos.
Figura 21. Diagrama de la primera parte de la lnea que va a las bombas de adsorcin. (C) la
conductancia, (F) unin de bridas tipo Conflat estndar 2", (S) uniones soldadas por proceso
T.I.G. Las dimensiones son en centmetros.
Este tramo total de la lnea, se une por un extremo a la cmara (soldadura

T.I.G.), y por el otro a las bombas de adsorcin Figura 19, el tubo de acero de esta
40
lnea tiene un dimetro de 0.5 cm y longitud de 9.8 cm. Al final stas forman un
codo con una vlvula Figura 22.
Las vlvulas estn conectadas a las bombas de adsorcin por bridas con arosello de vitn. El tramo de lnea que va de la vlvula a la bomba de adsorcin tiene
el mismo dimetro que el anterior pero con longitud de 18.4 cm.
Figura 22. Diagrama de la segunda parte de la lnea que va a la bomba de adsorcin. (C1) y (C2) las
conductancias, (E) unin con rosca, (F) unin desmontable con caja para aro-sello de vitn, (S)
uniones soldadas por proceso TIG, (T) medidor termopar y (V) \ vvula. Las dimensiones son en
centmetros.
La lnea de evacuacin que va de la cmara a la bomba inica est construida

de un tubo de acero 304, soldado (T.I.G.) en forma de codo a 90o, con un dimetro
interior de 5.7 cm y una longitud de 11.5 y 20.5 cm (Figura 23).
El codo se conecta a la bomba inica a travs de una unin de bridas de tipo
Conflat de 4" con aro-sello de aluminio con las siguientes caractersticas[12]:
- Desgasificcin menor a 10-9 Torr l/cm2s.
- Alta resistencia.
- No magntico.
- Facilidad de maquinado.
- Baja densidad.
41
- Horneable.
Figura 23. Diagrama del codo que une la cmara con la bomba inica.(C) la conductancia, (F) unin
desmontable con bridas tipo Conflat estandar 4 " y (S) uniones soldadas por proceso T.I.G. Las
dimensiones son en centmetros.
Esta seccin es de gran importancia en la evacuacin del sistema, ya que

durante el proceso de bombeo las conductancias limitan la velocidad de
evacuacin de los gases.
III.3. Sistema de bombeo de bajo vaco
Est constituido por dos bombas de adsorcin criognica (Figura 19). El cuerpo de
la bomba es a partir de tubo de acero inoxidable 304, con espesor de pared de 0.2
cm su dimetro interior es de 11 cm y su longitud 25 cm. Figura 24. Las tapas
superior e inferior estn soldadas con arco de helio (T.I.G.), se construyeron de
placa de acero 304 con espesor de 0.6 cm, el cuerpo difusor es de fundicin de
aluminio 6061-T6. El elemento activo es zeolita 5A (900 gramos/bomba) que para
ser activada se hornea a 240 oC.
Los inconvenientes que presenta el diseo de las bombas son: que al hornearlas
a 240 oC transfieren el calor a los aro-sellos de vitn en la unin de las bombas
con la lnea de evacuacin. Los difusores se hicieron por fundicin y presentan
poros.
42
Figura 24. Diagrama de una bomba de adsorcin. (S) uniones fijas soldadas por proceso T.I.G. Las
dimensiones son en centmetros.
III.4. Sistema de bombeo de alto vaco

El sistema de alto vaco est formado por una bomba inica de 180 l/s diseada
y construida en el Instituto de Fsica[15]. El cuerpo de la bomba es de acero
inoxidable 304 con dos puerto de admisin, su volumen es de 5.35 litros. La
diferencia de potencial aplicada a la bomba es de 5600 Volts, este suministro de
energa lo proporciona una fuente de alto voltaje (tambin construida en el Instituto
de Fsica).
III. 5. Medidores de vaco
La presin que se logra en el primer intervalo de presiones (de presin atmosfrica
a 10-2
Torr) se registra con un medidor de bajo vaco tipo termopar, que se
localiza en la unin de la "T" que forman la lnea que une a la cmara con las
bombas de adsorcin Figura 19. Este medidor tiene una junta caliente tipo E, es
decir, en uno de los extremos tiene un alambre de nicrmel (80% Ni, 20% Cr) y en
43
el otro uno de constantan (45% Ni, 55% Cu),
como filamento incandescente
tambin usa nicrmel. En este medidor registra presiones que van de atmosfrica
a 10-3 Torr[16].
Para censar la presin de la cmara una vez que se alcanzan presiones
menores a 10-3 Torr el sistema cuenta con un medidor de alto vaco desnudo de
ctodo caliente tipo Bayard-Alpert. Este medidor es de adquisicin comercial y
cuenta con dos filamentos de tungsteno reemplazables[17] que se seleccionan por
medio de un controlador en el que se registran las lecturas.
Este medidor se localiza en uno de los puertos de la "T" que est unida a la
cmara ver Figura 18. La "T" esta hecha de acero inoxidable 304 con extensiones
de tubo del mismo acero (soldadas por proceso T.I.G.) sus dimensiones se
muestran en la Figura 25. En cada puerto de esta "T" tiene soldadas dos bridas
tipo Conflat 3", con aro-sellos de cobre OFHC.
Figura 25. Diagrama del acceso en forma de "T" donde se fija el medidor de alto vaco. (F) uniones
desmontables con bridas tipo Conflat estndar 3" y (S) uniones fijas soldadas por proceso T.I.G.
Las dimensiones se expresan en centmetros.
III.6. Evaluacin del sistema

A partir de la informacin existente de las propiedades de los materiales que
integran el sistema, se tiene como resultado que stos cumplen con las normas de
44
seleccin establecidas. Con relacin a las propiedades para construccin los

materiales son maquinables y se logran acabados espejo, son soldables por
diferentes procesos y son de fcil adquisicin en el mercado nacional.
Un factor importante que se debe considerar dentro de las propiedades de los
materiales es la presin de vapor, ya que en primera instancia seala el lmite en
la presin ltima del sistema.
Para el caso del sistema que se construy en el Instituto de Fsica, el material
que tiene mayor presin de vapor es el vitn, y es de 10-8 Torr l/m2s para los arosellos.
Con relacin al diseo, se tiene que: las dimensiones de la cmara son
adecuadas, si se toma en cuenta el tamao de las bombas que se van a emplear.
El mtodo de soldadura que se uso, garantiza la homogeneidad de los materiales
y se evita la presencia de fundentes, que en la mayora de los casos es perjudicial
en la evacuacin del sistema; por otro lado, las bridas tipo Conflat usadas en las
uniones, son confiables porque en pocas ocasiones son fuente de fuga real.
Los problemas que presenta el diseo son: en primer lugar las lneas de
evacuacin son estrechas y eso aumenta el tiempo que se invierte en el proceso
de bombeo; en segundo lugar, el uso de bridas con aro-sello de vitn en el cuello
de las bombas de adsorcin, no permiten que se hornn a temperaturas mayores
de 160 oC, por consiguiente, las bombas no se logran activar completamente
(temperatura de activacin 250 oC). El ltimo problema que se encontr es que la
unin del termopar al sistema es por medio de rosca que no es confiable como
sello para alto vaco, es decir, puede presentar fugas reales que deben corregirse.
III.7. Estimacin de la presin ltima
Para obtener una estimacin de la presin ltima, en el caso de bajo vaco, se
aplica la razn del volumen entre la carga de material adsorbente (14.55l/1800g),
donde se obtiene 8.1x10-3 l/g. Este valor se interpola en la grfica de la Figura
26[3], a una temperatura de 78 K del material adsorbente de la bomba y se obtiene
una presin aproximada de 1.5x10-3 Torr.
45
Figura 26. Presin de equilibrio de algunos componentes del aire como funcin de la carga de
bombeo. (V/W) relacin del volumen de la cmara entre la cantidad de adsorbente en las bombas
medida en gramos, (A) proceso que se inicia con la bomba a temperatura ambiente y (B) proceso
en que la bomba se precalienta a 300 oC y se enfra desde esa temperatura. El adsorbente es
o
zeolita 5A a -195 C.
Para el intervalo de alto vaco, en el reporte de la bomba inica[15], se obtiene

una presin ltima de 8x10-8 Torr; sin embargo, no se mencionan el volumen
evacuado y el tiempo en el que se realiz el proceso. Por lo tanto, se puede hacer
una estimacin de la presin ltima del sistema.
Como resultado de la caracterizacin mostrada en este captulo, se tiene que el
sistema construido, es adecuado para lograr una presin ltima del orden de 10-8
Torr, aunque no se conoce el tiempo que se tiene que invertir, dadas las
conductancias, en algunas secciones de las lneas de evacuacin. En el siguiente
captulo se presenta el proceso de limpieza y ensamble del sistema; las pruebas
para detectar y corregir las fugas; el proceso de evacuacin de las bombas de
adsorcin aisladas y en serie; por ltimo se obtiene el proceso adecuado de
evacuacin del sistema para obtener presin ltima del sistema en el menor
tiempo.
46
Captulo IV. Pruebas de operacin y resultados

Despus de un anlisis del diseo y construccin, de los materiales usados en el
sistema y hacer una estimacin de la presin ltima, en este captulo se describen
los procedimientos iniciales para poner en operacin por primera vez el sistema de
alto vaco, comenzando con la limpieza de todas sus partes; la deteccin de fugas;
la carga y pruebas de las bombas de adsorcin; realizacin de pruebas de
operacin del sistema en conjunto y la obtencin experimental de la presin ltima
del sistema.
En primer lugar, se limpi la cmara, las tapas, la lnea de evacuacin, las
bombas de adsorcin y los aro-sellos de aluminio y vitn, utilizando como
solventes acetona y alcohol. En la bomba inica, el procedimiento fue diferente, ya
que fue usada con anterioridad. Primero se lijaron sus partes: carcaza, placas de
titanio y los dos paneles de nodos; despus se lavaron, se secaron con aire a
presin y se limpiaron con acetona y alcohol.
Se realiz el ensamblado de todo el sistema que comprende: medidores, bomba
inica y bombas de adsorcin. Estas dos ltimas se cargaron cada una, con 900
gramos de zeolita 5A nueva.
Para la deteccin de fugas en el intervalo de presin atmosfrica a 10-3 Torr, se
conect una bomba mecnica de apoyo a una de las bridas que une al sistema
con una bomba de adsorcin. Al obtener la presin ltima del sistema, se
censaron los cambios de presin al aplicar acetona a los posibles puntos con fuga,
localizndose en los sellos desmontables y en la cuerda que une al termopar con
el sistema; se corrigieron apretando los sellos adecuadamente y para el termopar,
agregando cinta de tefln.
Para tener la seguridad en la lectura que se estaba registrando en el termopar
hecho en el Instituto[16] , se calibr con un termopar comercial y se volvi a colocar
al sistema, pero ahora se fij utilizando resina Torr-SealMR, especial para vaco y
que tiene las siguientes caractersticas[18]:
- Presin de trabajo menor a 10-9 Torr
- Forma uniones de gran resistencia mecnica con metales, cermicas y vidrio
- Corrige fugas menores a 10-9 Torr/litro
47
- Mxima temperatura de operacin 120 oC.

El siguiente paso fue detectar fugas en el intervalo 10-3 a 10-8 Torr. Para tal
efecto, se utiliz un detector de fugas marca Varian modelo 936-40[19], que se
conect en el mismo lugar que ocup la bomba de apoyo inicialmente.
El detector consta de una bomba mecnica, una bomba difusora y un
espectrmetro de masa con seal audible. El procedimiento para la deteccin fue
el siguiente: se evacu el sistema con el sistema de vaco del detector, hasta
lograr la presin de operacin del espectrmetro; una vez encendido, se busc la
fuga recorriendo con una boquilla conectada a un tanque de helio las regiones con
posibles fugas (soldaduras de todo el sistema, sellos desmontables y algunos
lugares de los materiales). Se localizaron fugas en la soldadura de uno los
accesos de usuario con la cmara y en el pasamuros de alimentacin de la bomba
inica. Otro punto fue en el sello desmontable que une al codo con la bomba
inica, que se corrigi cambiando el sello metlico y apretando adecuadamente.
Para corregir la fugas en las soldaduras se utiliz como sellador resina lquida
Leak SealantMR, que tiene las siguientes caractersticas[17]:
- Aplicable a sistemas de ultra alto vaco, presiones menores a 10-8 Torr
- Resiste temperatura de 73 a 723 K
- Presenta buena adherencia a temperaturas criognicas
- Excelente resistencia elctrica.
Para el caso de las bombas de adsorcin, la prueba se hizo aislada del sistema.
Se acopl un termopar a una de las bombas, previamente horneada. Se sumergi
en un bao de nitrgeno lquido (temperatura de 78 K[3]) y se registr la presin
desde ese momento, obteniendo la Grfica 1. La presin ltima que se logra es de
2.2x10-3 Torr en 50 minutos de operacin. Este perodo incluye siete minutos de
enfriamiento de las bombas en los que no se registra un cambio de presin en la
cmara (intervalo E en la Grfica 1).
Como segunda prueba, se conectaron las dos bombas y se realiz el proceso de
evacuacin en serie, Grfica 2. Primero se bombea con una de las bombas de
adsorcin (B1) todo el circuito, incluyendo a la otra bomba, al llegar a una presin
48
de 2.7x10-2 Torr se inicia el bombeo con la segunda bomba y se concluye la

evacuacin con ambas (B2). Despus de 70 minutos se obtuvo una presin de
2.2x10-3 Torr (al igual que en el caso anterior, E es el tiempo transcurrido antes de
que se presente un cambio en la presin).
Grfica 1. Proceso de evacuacin de una bomba de adsorcin sin carga. La presin ltima es 2.2x10-2
Torr. (E) intervalo de tiempo en el no hay cambio en la presin.
49
Grfica 2. Proceso de evacuacin secuencial de las dos bombas de adsorcin. La primera parte del
-2
proceso (B1) se realiza con una bomba y a la presin de 2.7x10 Torr entra en operacin la
segunda bomba (B2) y con ambas bombas se concluye el proceso, logrando una presin de
-3
1.5x10 Torr.
Como tercera prueba, se realiz el bombeo secuencial, Grfica 3 (proceso 1),

con la siguiente variante: se inicia la operacin de la segunda bomba, en el
momento que se tiene una presin en la cmara de P1 = 8x10-2 Torr, como
resultado se logr una presin ltima de 1.5x10-3 Torr en 60 minutos.
50
Grfica 3. Proceso de evacuacin secuencial de dos bombas de adsorcin, (1) sin carga y (2) con
carga. B1 esta parte del proceso se realiza con una bomba y B2 con las dos bombas, P1 y P2 son las
presiones a las que se principia la operacin de la segunda bomba. Las presiones que se logran
son 1.5x10-3 Torr para el proceso sin carga y 2x10-3 Torr para el proceso con carga.
Concluida las fases anteriores y con el sistema completamente integrado, se

hicieron pruebas de todo el conjunto:
51
En primer lugar se obtuvo el proceso de evacuacin de bajo vaco que se incluye

en la Grfica 3 (proceso 2) para esta prueba, se pone en operacin la bomba (B1),
hasta obtener una presin de P2 = 4x10-1 Torr; se activa la segunda bomba y con
ambas (B2) se llega a una presin ltima de 2x10-3 Torr en un tiempo de 60
minutos.
El siguiente paso, despus de lograr la presin de bajo vaco Grfica 4 (B1, B2),
fue realizar el proceso de encendido de la bomba inica (B4), donde, en los
primeros intentos la bomba desgasific, aumentando la presin en el sistema, por
lo tanto, se apagaba y se esperaba a que se recuperara el vaco. Este proceso se
hizo a intervalos de 3 a 4 minutos durante 30 minutos (intervalo T1, T2 en la
Grfica 4 (1)). En este intervalo, se cuid no exceder una corriente de 300 mA en
la alimentacin de la bomba con el propsito de no sobrecargarla. En cuanto la
bomba fue eficiente, se aislaron las bombas de adsorcin, y se continu el
proceso de bombeo con la bomba inica (B3). En el perodo inicial, el bombeo es
rpido, lo que da como resultado, una disminucin en la corriente y un aumento
del voltaje aplicado.
Al llegar a una presin de 2x10-5
Torr, la bomba libera gases atrapados,
aumentando la presin hasta 5.8x10-4 Torr, donde nuevamente comienza a

descender hasta una presin de 5.6x10-7 Torr, donde la evacuacin es muy lenta;
despus de un total de 7 horas se logr una presin ltima del sistema de 4.5x10-7
Torr (Grfica 4-1).
El proceso anterior, se realiz iniciando el proceso de bombeo con el sistema
abierto y expuesto al medio ambiente. En la Grfica 4-2, se muestra los resultados
del proceso en el que, el sistema se a horneado al vaco y no hay exposicin al
medio ambiente. Como se observa, en este caso la evacuacin se realiz en un
tiempo menor y el pico de liberacin de gases no aparece.
De los resultados anteriores, se tiene que el sistema trabaja en el intervalo de
alto vaco y que la variante es el tiempo que se invierte en evacuacin y que
depende del procedimiento y las condiciones iniciales del sistema al inicio del
proceso de evacuacin.
52
Grfica 4. Proceso de evacuacin del sistema de alto vaco. (1) primera prueba de evacuacin, (2)
segunda prueba de evacuacin. B1 etapa realizada con una bomba de adsorcin, B2 etapa
realizada con dos bombas de adsorcin, B3 etapa realizada con la bomba inica y B4 etapa en la
que interviene las tres bombas. La presin ltima lograda es de 4.5x10-7 Torr.
53
Por consiguiente despus de las pruebas realizadas, un procedimiento

recomendable para optimizar el funcionamiento del sistema de alto vaco es el
siguiente:
Evitar que el sistema est abierto un tiempo prolongado, con objeto de reducir el
vapor de agua en la superficie.
Para realizar el proceso de evacuacin de manera ms eficiente, se sugiere que
antes de abrir la vlvula de la bomba de adsorcin 1, se enfri hasta obtener el
equilibrio trmico con el nitrgeno lquido. Una vez que se abre la vlvula, se debe
mantener el nivel de LN en la bomba hasta obtener una presin aproximada de
1x10-1 Torr, se activ la bomba de adsorcin 2 y se aisl la bomba 1.
En el momento que se logre una presin de 10-3 Torr, se inicia el encendido de
la bomba inica y se cuida no sobrecargarla (con un potencial de +600 volts y no
excediendo 300 mA), en caso de desgasificacin se recomienda apagarla y
esperar a que se reestablezcan las condiciones de presin para encenderla
nuevamente, este proceso se realiza hasta que la bomba inica sea eficiente,
posteriormente se asla la bomba de adsorcin 2 y se aumenta el voltaje conforme
mejore el vaco, hasta tener un voltaje de alimentacin de +6700 volts y una
corriente de 5 mA.
54
Captulo V. Conclusiones
V. Conclusiones
Al trabajar en sistemas de vaco, el usuario desarrolla un conjunto de tcnicas y
establece los procedimientos especficos que le garantizan una operacin eficiente
y segura de su equipo, as como de su persona. Estas tcnicas incluyen la
limpieza, el mantenimiento, los procedimientos de encendido y apagado de cada
elemento del sistema, hasta el anlisis de los procesos que se desarrollan dentro
del sistema.
El objetivo de este trabajo fue caracterizar y optimizar un sistema de alto vaco
que se construy en el Instituto de Fsica de la UNAM. Para tal efecto fue
necesario contar con el conocimiento de las tcnicas del vaco, la configuracin de
las diferentes opciones de sistemas de alto y bajo vaco para ubicar dentro de
ellos el sistema construido. Tambin fue necesario conocer el principio de
operacin de cada uno de ellos, con sus ventajas y desventajas.
Partiendo de estas bases se realiz la caracterizacin del sistema con base en la
evaluacin del diseo, los materiales y la construccin del equipo. Como primer
resultado de la evaluacin se
Concluy que el diseo, la construccin y los materiales son los adecuados para
obtener y mantener presiones de trabajo en el intervalo de alto vaco (10-4 a 10-6
Torr).
Las pruebas de las bombas, por separado y acopladas al sistema, permitieron
hacer una serie de ajustes en el proceso de bombeo con objeto de establecer un
procedimiento que permita optimizar la operacin del sistema. Con esto se logra
obtener una presin ltima de 4.5x10-7 Torr, en un tiempo relativamente corto si se
toma en cuenta, como se muestra en el captulo III, lo estrecho de las lneas de
evacuacin.
El procedimiento especfico que se determin para el sistema es el siguiente:
Con la cmara de vaco a presin atmosfrica, se inicia el proceso de
evacuacin con la primera bomba de adsorcin; cuando la presin disminuye
hasta 4.5x10-1 Torr en la cmara, se inicia el bombeo con una segunda bomba de
adsorcin, la presin ltima con las dos bombas en operacin simultnea es de
aproximadamente 2x10-3 Torr. Con esta presin en la cmara se enciende la
55
Captulo V. Conclusiones
fuente de la bomba inica, y se alimenta con un potencial de +600 Volts, cuidando

no exceder una corriente de 300 mA. El voltaje mnimo para que la bomba
comience a ser eficiente es de +800 Volts, por lo que durante el perodo inicial, la
bomba sufre un calentamiento debido al plasma que se produce por la alta
presin; cuando la bomba comienza a ser eficiente, se aslan las bombas de
adsorcin y se mantiene en operacin la bomba inica. En estas condiciones, el
potencial aplicado aumenta hasta +6700 Volts y la corriente disminuye hasta un
promedio de 5 mA.
A partir del procedimiento anterior se pueden realizar algunas modificaciones
para mejorar el tiempo de evacuacin asegurando un proceso ptimo.
El procedimiento que se recomienda es el siguiente:
Con el sistema a presin atmosfrica y las bombas de adsorcin previamente
horneadas, se asla la bomba de adsorcin 1 y se enfra hasta la temperatura del
nitrgeno lquido, en ese momento se abre la vlvula y se mantiene el nivel de
nitrgeno en la bomba. Al llegar a una presin aproximada de 1x10-1 se inicia la
evacuacin con la bomba de adsorcin 2 y se asla la bomba 1; en cuanto se tiene
una presin de 10-3 se enciende la bomba inica con un voltaje de alrededor de
+600 Volts cuidando no exceder 300 mA. Al comenzar a ser eficiente la bomba (al
alcanzar los +800 Volts) se asla la bomba de adsorcin 2 y se contina con la
bomba inica. As continua el proceso hasta que el potencial aumenta hasta
+6700 Volts y la corriente disminuye hasta aproximadamente 5 mA.
Se recomienda cambiar la lnea de evacuacin que va de las bombas de
adsorcin a la cmara por otra de mayor conductancia, de igual forma, se sugiere
modificar el tipo de unin del termopar
con el sistema.
Por lo expuesto anteriormente, se puede concluir que es posible construir
sistemas de alto vaco en nuestro pas y con tecnologa propia que son
comparables con equipos comerciales de procedencia extranjera cuyo costo es
mayor.
56
Apndice A
Apndice A
Unidades de presin y equivalencias[20]
Presin
Atmsfera
Bar
Torr
Pascal
Atmsfera
1
9.869x10-1
1.316x10-3
9.869x10 -6
Bar
1.013
1
1.333x10-3
10-5
Torr
760
7.501x102
1
7.501x10-3
Pascal
1.013x105
105
1.333x102
1
1 Bar = 106 dinas/cm2; 1 Torr = 1 mm Hg; 1 Pascal = 1 N/m2.
Unidades de volumen y equivalencias[20].

1 litro = 103 cm3; 1 m3 = 103 litros.
57
Apndice B
Apndice B
Clculo de conductancias[3]
Estado viscoso,
Conductancia de un tubo largo
D4
C aire = 180
L
P l/s
donde D es el dimetro interno, L la longitud del tubo en cm y P el gradiente de

presin en los extremos.
De la Figura 21 (captulo 3):
D = 2.1 cm y L = 25.5 cm, por lo tanto:
Caire = 1.38 P l/s
y de la Figura 22:
D1 = D2 = 0.5 cm, L1 =9.3 cm y L2 =18.4. De donde:
C1 = 1.22 P l/s y C2 = 0.61 P l/s.
As que la conductancia total (ecuacin 13) es:
CT = 0.405 P l/s, donde P = la presin cmara - presin bomba.
Estado molecular
Conductancia de un codo de 90o
C aire
D3
l/s
= 12.1
Le

donde Le = (L1 + L2 ) + 1.33
D cm
180
58
Apndice B
De la Figura 23:
5.7
L1 = 20.5
cm
2
5.7
L2 = 11.5
cm.
2
Por lo tanto
CT = 77.45 l/s
Conductancia de un agujero de seccin circular
C aire = 9.16 D 2 l/s

donde D es el dimetro de la seccin en cm
De la Figura 23:
D = 5.7 cm, as que C = 297 l/s.

Por lo tanto de la ecuacin 13, la conductancia total del agujero de seccin
circular y el codo es:
C = 60 l/s.
59
Referencias
Referencias
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[13] Weston, G.F., "Materials for Ultrahigh Vacuum", Vacuum 25 (1975) pp. 469.
[14] Peacock, R.N., "Tecnicas de Unin para Vaco", Edicin en espaol a cargo
de E.P. Zironi, Sociedad Mexicana de Ciencia de Superficies y de Vaco A.
C.y American Vacuum Society, Mxico D.F., 1983.
[15] Muoz Ledo, J. M., Alba A. F., "Bomba Inica de 80 Litros/Segundo",

Instrumentacin y Desarrollo 2 (1986) pp. 24.
[16] Gonzlez, P.S., Tesis Profesional, "Medidores de Vaco en el Intervalo de 1

ATM, a 10-6 mm de Hg", Facultad de Ciencias, UNAM, 1983.
[17] Kurt J Lesker Co., Catalogo "Vacuum Products '89", E.U.A., 1989.
[18] Varian Co.,"Varian Vacuum Catalog", USA, 1989-1990.
[19] Varian Co., Manual de Operacin "Varian 936-40 Leak Detector", Varian
I.E.G. Vacuum Division, U.S.A., 1987.
[20] Garcia, R., "Sistema Internacional de Unidades", Primera Edicin, Mxico

D.F., 1984.
61

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UNIVERSIDAD NACIONAL AUTNOMA DE MXICO

CARACTERIZACIN Y OPTIMIZACIN DE UN SISTEMA

TESIS PROFESIONAL QUE PARA OBTENER

J. GUADALUPE BAUELOS MUETN

De la misma forma agradezco a los sinodales, M. en C. Enrique Zironi, Dr.

Tambin deseo agradecer: al Dr. Fernando Alba Andrade, el apoyo prestado

II.1.2.1. Bombas de difusin....17

III.5. Medidores de vaco...43

Captulo I. Comportamiento de los gases a presiones bajas

Captulo I. Comportamiento de los gases a presiones bajas

Torr el gas se encuentra en un estado de transicin, donde su

comportamiento est entre viscoso y molecular; a presiones menores que 10-4

I.1. Estado viscoso

I.1.1 Leyes de los gases

ii) Ley de Charles: A volumen constante, la presin del gas es directamente

Captulo I. Comportamiento de los gases a presiones bajas

Anlogamente, para un gas a presin constante, su volumen es directamente

El resultado de la combinacin de las leyes anteriores es una ecuacin con la

Para una mol de gas la ecuacin anterior se escribe como:

donde R es la constante universal de los gases y cuyo valor es:

iii) Ley de Avogadro: En iguales condiciones de temperatura y presin, volumenes

Captulo I. Comportamiento de los gases a presiones bajas

donde m = masa molecular, n =

( = 1.45 [T/M]-1/2 cm/s, M = mNA denominado peso molecular)[4].

sustituyendo en la ecuacin (2) resulta,

Captulo I. Comportamiento de los gases a presiones bajas

sustituyendo este valor en la ecuacin de estado de un gas ideal, se obtiene una

La expresin anterior (ecuacin de estado) es la ms usual para obtener otros

I.1.3. El camino libre medio

en donde n representa la densidad molecular y d el dimetro de la molcula del

Captulo I. Comportamiento de los gases a presiones bajas

de esta ltima expresin, se deduce que el camino libre medio, depende de la

donde u es la velocidad del flujo, d es la distancia a la que se encuentra una

Captulo I. Comportamiento de los gases a presiones bajas

Donde se observa que el coeficiente de viscosidad solo depende de la

I.2. Estado molecular

I.2.1. Fenmenos de superficie

Captulo I. Comportamiento de los gases a presiones bajas

I.1.2.3. Energas de adsorcin

Captulo I. Comportamiento de los gases a presiones bajas

I.2.1.4. Formacin de monocapas

donde d es el dimetro de las molculas del gas, n la densidad molecular, M el

I.3. Regmenes de flujo

Captulo I. Comportamiento de los gases a presiones bajas

donde es la densidad del gas (g/cm3 ), v la velocidad (cm/s), la viscosidad

Captulo I. Comportamiento de los gases a presiones bajas

Estado del gas

Rgimen del flujo

al inverso de la conductancia se le denomina resistencia. Haciendo una analoga

Captulo I. Comportamiento de los gases a presiones bajas

donde CT es la conductancia total.

I.5. Velocidad de evacuacin

de la definicin de velocidad de bombeo,

Si se considera una cmara de volumen constante V y que ser evacuada por un

Captulo I. Comportamiento de los gases a presiones bajas

Como resultado del bombeo continuo, la presin dentro la cmara decae de

donde Po es la presin inicial de la cmara.

Captulo I. Comportamiento de los gases a presiones bajas

ellos, sus ventajas y sus principales

Captulo II. Sistemas de alto vaco

Captulo II. Sistemas de alto vaco

Figura 1. Diagrama de integracin de un sistema de alto vaco.

Una gran cantidad de investigaciones y procesos industriales se realizan dentro