Qs) ike Noooot P| STAREA SUPRAFETELOR Calitatea suprafetei_Notiunea de "calitate a suprafetei" cuprinde doud aspecte fundamentale + Aspectul fizic corespunzator celui de calitate al stratului superficial al materialului raportat 1a cel al metalului de bazi in stabilirea scarii de evaluare a proprietatilor fizico-mecanice, microstructura stratului superficial si tensiunile remanente cauzate de prelucrare sau de tratamentul termic final. + Aspectul geometric care consti in indicarea searii dimensionale dintre suprafata reala si cea ideals, definita in desenele tehnice. Suprafojele reale ale materialelor metalice, oricat de perfecte (netede) sunt in aparent’, , prezint abateri de la forma geometries ideal’ a acestora sau neregularitasi denumiti generic microgeometrie, care este determinat& de procedeele de prelucrare tehnologicd. Forma reala a suprafefei poate fi caracterizata, fat de forma ideal, prin urmatori + indlfimea maxima a neregularitatilor ; + pasul neregularitayilor sau distanja dintre dows neregularititi succesive; + raportul dintre pasul si indlhimea neregulariteilor. Dupa dimensiunile lor, abaterile geometrice pot fi impairjite in patru clase, + abateri de ordinul I la scard macroscopicai (defecte macroscopice sau abateri de forma), + abateri de ordinul IT (ondulatii + abateri de ordinul III la scar microscopica (defecte microscopice sau rugozititi) + abateri de ordinul IV (smulgeri, urme de seul si goluri aperiodice). \dicatori: \ Strat metalic superficial (modificat) forma teoretica a suprafetei ee, LG Sei ies Fig. 3. 4. Abaterile suprafe{ei reale in raport cu supratata teoretic& Abaterile de forma sunt definite prin STAS 7384-85 si sunt caracterizate prin indlime mic& Ry (1.50 um) in raport cu pasul de distribufie (1000...500 000 jum), fig. 5. 1. Pentru suprafeje plane, acestea reprezinta defecte de planeitate, convexitate sau concavitate, iar pentru suprafefe cilindrice ele includ ovalizarea, forma de butoi si hiperboloidala. Macrogeometria suprafejei de frecare depinde de factori legati de precizia geometrica realizata de magina unealtd, precizia einematica si precizia de masurare si control, respectiv de deformatiile elasto- plastice, termice sau cauzate de tensiunile interne care apar in substratul suprafefei prelucrate. Ondulayiite sunt caracterizate de indljime mick '%o (4...8000 jun) care se repetd periodic cu un pas de 4500... 500 000 ym. Acestca se produc in timpul proceselor de aychiere datorita de formatiilor plastice din zona de lucru, prin vibrafiile complexului masina/unealtd, cat si datoritd altor factori. Rugozitafile definite prin STAS 5730/2-85 sunt defecte de indljime foarte mick Ry 1(0..500 ym) si cu pas inferior celui al ondulatitor (4...8000 ym), Rugozitatea se formeaza in timpul procesului de aschiere datorité forme uneltei de aschicre, a deformatiilor elasice si plastice le metalulu Jndepirtat prin aschiere, parametrilor diferifi ai regimului de asehiere i altorfactorilegafi de procesul de prelucrare. Rugozitatea poate fi consideratd atat intr-o seetiune longitudinalé a suprafete, in direesia de migcare principala de agchiere, denumité rugocitate fongitudinald, e&t si int-o secfiune transversala, in directa migedrii de avans, denumit& rugozitate transversald. in general, rugozitatea transversala este mai mare decdt cea longitudinala, ca urmare aprecierea calitatii suprafejei se face prin considerarea rugozitati transversal in fenomenele superficiale, rugozitatea are 0 importanja deosebiti asupra fenomenelor de adsorbjie, de frecare, de coroziune ete. [68]. ‘Aceste abateri geometrice ale suprafejelor prelucrate prin agchiere se disting prin marimea raportului P/R, astfel defectele microgeometrice corespund la 0 < P/R < 50, ondulatiite la 50 < P/R < 1000, iar defectele macrogeometrice la P/R > 1000 Parametri si sisteme de evaluare a rugozitati La definirea rugozitiyii sunt considerate: suprafaja reald, suprafaja efectiva (suprafata rmisuratt), care d& imaginea apropiaté a suprafejei reale objinutA prin masurare si suprafafa geomerrica (Guprafaja ideala sau constructiva), definita de desen sau procedeul de fabricate. Prin sectionarea suprafefei cu un plan convenional se obtine profilul efectiv, profitul real si profilul geometric, Masurarea si evaluarea numericd a rugozitafii suprafetelor se efectueaza in baza a doua sisteme de referinga: sistemul Msi sistemul E, dar poate se poate folosi si sistemul diferentelor variable Sistemul ‘Mare la baza linia medie a profilului, iar sistem E se bazeazA pe curba inftiyurdtoare generati prin rostogolirea unei sfere pe suprafaja misurata “tra tie eeiaa \ linie medie ™ tinie interioara on angimea de baza Fig. 3. 2. Schema de principiu pentru defiirea parametrilor ‘suprafefei prelucrate prin agchiere. in Romania prin STAS 5730/2-85 s-a adoptat sistemu! M, fig. 3. 2, care foloseste ea baz de refering& linia medie a profilului. Aceast linie imparte profilul efectiv in dou domenii egale, astfel ined suma ordonatelor (yi, Yis-="» Ya) 88 fie minima, in limitele lungimit portant, J. Aprecierea calitativa a rugozitai in sistemnul M se face prin urm&torii parametri ‘Abaterea medie aritmetied a profilului, Ry se defineste ca valoarea medie a ordonatelor punctelor profiluluiefectiv y.yi, 5 Ya fat de Kinia medie defini prin lungimea limits portante / if R, = ("pI 7 hblexsau print-o sum discret de termeni etd bh ia indifimea neregularitatilor, R., se defineste ca diferenta medie aritmetica a ordonatelor celor mai tnalte cinci puncte de varf si media celor mai joase einci puncte de fund ale profiluluiefeetiv. Aceste ordonate sunt masurate, in limitele lungimi de bazi, fafa de o linie paralela cu linia medie situata in afara liniilor exterioara 51 interioara. inaltimea neregularitajilor este data de relatia: 3 in baza acestei relatii R, este un indicator al adéncimii totale a asperitatii suprafetei. indlfimea maxima a neregularitizilor, Ryo care este definité ca distanfa dintre liniile cexterioara si interioar STAS $730/2-85 stabileste valorile preferenfiale ale parametrilor R, si R; si lungimii portante /, tabelul nr. 3. 1. Tabelul 3.1 Valorile prefereniale ale parametrilor Ry Re Clasa de Re Re Tangimea portant rugozitate _|_ym bm 1mm NO 0,012 0,063 0,08 NI 0,025 0,125 NI 0.05 025 025 N2 0,10 0,5 NB 0,20 10 NS. 0,40 2.0 N6 080 40 08 N? 1,60 80 NB. 3.20 125 ND) 63 5 25 Nio 5 50 Ni 25 100 80 NI2 50 200 NIB 100 400 Pe ling parametrii Ry R.$i Rw Se mai definese i sistemul M si alte marimi. Abaterea medie pitratica, r:m.s. (root mean square), definita prin relatia: ihe Lungimea portant (bearing length) definits prin relai Ely: o=rms. 0 Adancimea medie definité ca diferenja dintre linia medie si lini rior’, 3& Factorul de umplere definit ca raportul dntreadancimea medie indljimea asperitagilor, R, in general, pentru un Profil oarecare nu exist o corespondenga intre parametrii definiti anterior, dar in literatura de specialitate se pot intalni unele relafii empirice: Ras ~ 4,5 Ryo” Sat Real R, = 3.5 sau a =1,15 R, De asemenea, intre mirimea tolerant 7 si tndltimea neregularitifilor R, existd urmatoarele corespondente : . imensiuni intre | $i 18 mm: R.= (0,20., 0,25) 7, (0,15., 0,20) 7; (0,10..0,15) T. * pentru dimensiuni mai mari de 50 mm: R, Pentru 0 caracterizare ct mai completa a rugozittii unei suprafefe sau mai propus si alte marimi btinute pe baza derivate de ordinul I sia profilului (Myers 1962) Astfel, se folosese alaturi de r.m.s. si marimile: Thay? iiftas Marimile Zi si Z3 aatf(Je 2 “il (Bye. consider exstentamshitor FJo\ ox o ox ascutite ale profilului real. Astfel pentru un profil triunghivlar Se obtine ms. = 0,017 wm 22 = 3,73 um 5i Z3 =, iar daca varfurile Profilului se rotunjese atunci rms. S LOIS um, 22 = 3.16 um si 23 = 0,44 um. Se remarcd c& desi amber profile au acelasi rms, ele se deosebese prin valorile lui Z2 si 73, Cercetirile pentru constituirea unui criteriu de evatuare al indltimii asperitaqilor si orienta Freferentiale a ondulatilor (neregularititior) sunt dirijate spre modul da influent’ a diversilor factori din procesele de obfinere a suprafeelorasupra caracteristiilorpleselor tn timpul exploatarii (rezistenta la Au, Ia coroziune, la oboseald ete) sia straturilor superficie Aceasta teeta cercetarea legilor de crmare & microdurti staturilor supeficale in func de modul si regimul de lucru al prelucrarilor tehnologice,legilornasteri tensiunilor din timpul procesclor de elaborvea si prelucrare asupra comportirii Pieselor in exploatare, cit sia altor legi care includ starea fiziea suprafetei metalice. Fugozitatea suprafejei nu existé o corelatie stricta ie starea fizicd gi 33 Modificir ale structuri stratului superficiale al suprafefelor metatice Suprafejele metalelor prezintd un grad ridicat de eterogenitate, ca forma si energie Super tcils, datoritd modului de formare si al modificirlorulterioare. Granulelecristelng de la suprafaja imetalelor, avind planurile reticulare orientate difert, cu proprietti fizice si chimice anizotrope, permit aparitia fenomenelor superficiale Structura stratului superficial se modifies, prin fragmentarea sau smulgerea unor cristale sub acfiunea tensiunilor de forfeeare, prezentind vn caracter amort, Mai mult Pe suprafaja apar o serie de oxizi,nitrur sau particule desprinse din scula aschietoare, Perturbarea structurii superficiale este dependent de parametri operatiilor de finisare prin deformare plasticd la rece (tragere, rulare) sau aschiere Deformarea plasticd la rece asigurd orientarea convenabilé a cristalelor din structura straturilor speriiviale in raport cu directa tensiunilor de frecare, dar si aparijia stiri de eeruicne sia fisurilor la nivelul microasperitajilor Prin prelucriri mecanive (strunjir, frezare, rabotare,rectficare, honuire, etc), in functie de valorile ‘Reimului de prelucrare (vteza de agchiere, adncime de tiiere, avans, gecmetna aie; aschietoare), fubrafaja este acoperta cu neregularitaji inegale ca indltime si pozife, in relajie directa cu modul in care se formencl aschia. Cresterea gradului de fnisare prin ajchiere nu reduce intenstane perturbarii structurii Superficiale, ci numai profunzimea pe care se manifesté aceasta, 4ve Skoi_ sraradorbit 280K rugozitate strat amorf sau strat Beilby WON! strat cu structura modificata 1,5...80 wm strat cu structura intacta, accesibi tensiunilor de frecare Fig, 3. 3. Modificarea structuril stratului superficial prin prelucrari mecanice Modificarea structuri stratului superficial prin "prelucrari mecanice este prezentat in fig, 3.3. La exterior exist un strat adsorbit de gaze, care nu poate fi indepartat, indiferent de metoda de prelucrare folositi. Formarea stratului de oxid este favorizati de temperatura dezvoltata in timpul prelucrfrii, prin marirea vitezei de reactie iar proprietitile acestui strat sunt cu atat mai apropiate de materialul de baz cu cat procedeul de objinere a suprafefei este mai putin intens. Stratul urmator format din material amorf, numit strat Beilby, are o grosime care depinde de regimul de preluerare al ultimei treceri a seulei aschietoare. ‘Sub stratul amorf se afld un strat cu structurd perturbata, caracterizat prin existenta de cristale deformate, fragmentate si eventuale fisuri si incluziuni din materialul sculei. Deformarea grauntilor se produce atat sub actiunes temperaturilor inalte rezultate in urma procesului de preluerare mecanic&, cit siprin prezenqa cristalelor fragmentate, microfisurilor si ineluziunilor intergranulare Mai mult, in acest strat pot patrunde oxigenul sau azotul din straturile superioare. Daca adaosul de prelucrare al ultimei treceri este mai mic decat adncimea stratului cu structura perturbata, obtinut Ia trecerea anterioara, se impune efectuare unei recouceri de recristalizare. Sub straturile afeotate de eforturile de aychiere se afla un strat cu structura intact accesibil tensiunilor de contact, Proprietajile lui sunt determinate de natura materialului si de tratamentele termice aplicate. in tabelul 5. 2 se prezintt grosimile straturilor mentionate mai sus si rugozitijile suprafejelor pentru céteva metode de prelucrare clasice si speciale. ‘Tab.3.2 Grosimile straturilor superficiale pentru diverse prelueriri mecanice Metoda de Rugozitaiea |Stratul Beilby] __ Stratul prelucrare Re perturbat, Prelucriri de degrogare | —25...50 peste 50 30... 80 ‘Strunjire de finisare 15.20 10..20 15.20 Strunjire find 5,0...10 3,0...10 15..20 Rectificare ou dise 2.0...5,0 | 3,0..8,0 | 4,0..9,0 Honuire. 1,0..1,5 | 3,0..8,0 | 3,0...5.0 [Lepuire 0.5...1.0 03 2,0...2.5 Superfinisare mecanicd | _0,2...0,02 02, sub 1,7 {Lustruire electroliticd | 0.01...0,2 - = La prelucrarea finald prin rectificare, honuire sau lustruive structura cristalind a suprafejei este modificata profund, atét datorité tensiunilor mecanive dezvoltate intre sculd si suprafala metalicé (presiune de contact si tensiuni de frecare), cat si a temperaturilor ridicate din zona taigului, Presiunea de contact 5dintre sculd si pies ajunge pana la 5000 MPa, in timp ce temperatura de la nivelul tAisului poate depisi 300..700°C Pe de alta parte, temperatura care apare in timpul operatiei de rectificare conduce Ia caliri secundare si reveniri Cilirea secundard apare la varful asperitajilor, caracterizata printr-o microduritate de 1200 daN/mm?, iar la fundul asperitatilor apare revenirea secundara, realizind o microduritate medie de 550 daN/mm?, Ca urmare, distrugerea prin uzurd se produce mai pronunfat in zonele de revenire secundard, unde microduritatea este mai mici. Efectul distrugerii zonelor cu revenire secundari scade cind temperatura de revenire a materialului este mai mare decat temperatura care se dezvolta in procesul de aud. Rezultd necesitatea reducerii la minim a grosimii stratului amorf si a stratului cu structur& perturbat Structura superficiald confine constituenti metalografici dispusi intamplator pe suprafaya si prezinté 0 orientare diferitd faj% de direcjia de alunecare sau rostogolire. Ca urmare, proprietatile materialului se modifica de la 0 zond la alta. Neomogenitatea structural are o importanfi deosebité in procesele tribologice, deoarece ea acfioneazd direct asupra marimii tensiunii superficiale, puterii de adsorbtie sau tendinjei de udare, stabilitgii la coroziune, posibilititi re-orientarii cristalelor dupa direcyia de alunecare, afinitatii metalurgice ete. 3.5 Metode pentru determinarea rugoy suprafetel Suprafefele reale ale materialelor metalice, oricat de perfecte (netede) sunt in aparenta, , prezinta abateri de la forma geometrici ideali a acestora sau neregularitai denumiti generic microgeometrie, care este determinata de procedeele de prelucrare tehnologica. Forma reald a suprafefei poate fi caracterizats, fayd de forma ideald, prin urmatorii indicatori © indlfimea maxima a neregulariteyitor ; © pasul neregulariteyilor sau distanta dintre doua neregularitati suecesive; 2 raportul dintre pasul si inaljimea neregularitailor. strat metalic superficial (modificat) 77 forma teoretica a suprafetei au ssl “i 4 YLRES PBYIDGS Z bai Fig. 3.6. Abaterile suprafefei reale in raport cu suprafaja teoretic& Caracterizarea microgeometriei suprafefei se face prin ridicarea unor profilograme pe zone caracteristice Masurarea si inregistrarea parametrilor microgeometriei se realizeazd prin rugozimetre cu palpator, cand palpatorul aparatului urmareste inf’surarea profilului real pe © anumit& distanfé de palpare, respectiv cu aparate optice prin metode optice speciale (metoda cémpului intunecat, metode de interferenta etc.) jin cazuri speciale cand suprafetele de frecare sunt inaccesibile sau exist pericolul modificarii microgeometriei de ctre organul de palpare se foloseste metoda replicilor De asemenea, se mai pot utiliza gi alte metode moderne de masurare si inregistrare a parametrilor microgeometriei suprafejelor prin aparate cu traductoare de tip pneumatic, hidraulic sau capacitiv, respectiv cu. microscopia prin transmisie de electroni, care permite o putere de marire de peste 3000:1, iar proba examinatd, plasata in camera microscopului, apare maiita pe un tub catodi 6Masurarea rugozitatil cu palpatoare mecanice (profilometre mecanice). Rugorimetrele cu urmirire ‘mecanicé a profilului unei suprafeje sunt folosite pentru misurarea variatiilor de rugozitate ale suprafey Prin deplasarea palpatorului deasupra probei, variafile suprafefei determina o translatie verticalé a Senzorului, prin care se genereazi un semnal electric ca raspuns (feedback) al inaltimii locale. Senzorul este reprezentat de un ac din diamant (Diamond Tipped Stylus) sau din safir, care are un unghi Ia varf de 60° $i 0 raz de rotunjire de 1... 10 um. Viteza de deplasare a acului este de 5... 1000 ures Transformarea deplasirii acului pe verticala intr-o marime electric’ proportionala se realizesza, in special, cu traductori inductivi si piezoelectrici Traductorul inductiv transform variafiile inalimii ugozititilor suprafefei prin modificarea intrefierului dintre armatura i clectromagnesiiunel_punti inductive, care conduce la un dezechilibru de tensiuni electrice Ja nivelul puntii de compensatie, fig. 3.7 prin care mérimea rugozitafi este redati de un aparat indicator. Utilizarea unui traduetor piezoelectric se IA fan bf bazeazh pe [ 7 solicitarile de 1D | A | incovoiere @ 1 ik bot OY lamele de J | I ale unor 5 i titanat 15 de bariu, ot “Tak ey 1 incastrate la uncapat, | c/. car | Y Suprajaa —frniesci la iegire AIA) tensiuni MM soporte cu ‘neovoierea indus prin deplasairile verticale Fig. 3.7 Schema de principiu @ rugozimetru mecanic cu senzor piezoelectric ale acului de Trae de palpare; 2 -parghie; 3 - armatur&; 4 - electromagnet; L-bobina, _palpare. C - condensator; R - rez'stenta; T- transformator. Masurarea rugozititii cu palpatoare optice. Rugozimetrele optice interpretea2d informariile optice ale unui fascicul luminos reflectat de suprafaja metalicd, prin cantitatea de lumin& reflectatd sau pe baza defazirii radiatilor luminoase (imerferometre) jin cazul rugozimetrelor optice cu inregistrare fotoelectricd a cantitatii de lumin& reflectata suprafaja metalicd impristie fascicolul incident cu atat mai mult cu edt marimea rugozittii este mai mare. Focalizarea extrema a luminii se poate realiza cu fascicole de lumink monocromatica, care poate fi asigurata, in general, de o dioda laser si un sistem automat de focalizare a lumini, format dintr-un servomotor liniar (Piezoelectric sau inductiv) si armaturi mobile fig. 3. Ca urmare, punctul discret cercetat de pe suprafaja probei se giseste permanent in punctul focal al lentielor optic, prin metoda comparatieiamplitudi punctului curent cu cel masurat anterior. Sistemal de ceptare a cantitait de Tumind reflectata este format bin doud fotodiode, care capteazi fiecare atat lumina reflectatd sub un anumit unghi, eat si lumina normal fa suprafaja probei. Semnalele emise de fotodiode sunt preluate de un port USB (Universal Serial Bus) al unui calculatorului,Fig. 3.8 Schema de principiu al unui rugozimetru optic 4 = servomotor liniar, 2 - armatura mobila; 3 - lentia; 4 - divizor, 5 — prisma divizoare; 6 -fotodiode 7 - dioda laser. Aceste rugozimetre reprezint& un sistem complex comandat de c&ire un microprocesor care reste semnificativ prejul intregului sistem. Totusi, se pot gasi solutii ieftine, care constau in folosirea Sistumului de eitire a CD-urilor ca unitate optoelectronic de bazi pentru constructia unor rugozimetre. O fsemenea unitate, reprezinta o serie de avantaje: sistem laser realizat cu diode laser performante; pret de cost seiizut; dispune de sistem de autofocalizare, Culegerea semnalului de pe bucla de reactie a sistemului de focalizare automata furnizeazi 0 marime electricd (tensiune) proportional’ cu adancimea rugozitajii in acel punct. Prin combinarea si corelarea deplastrii probei cu suecesiunea punctelor examinate se objine profilograma suprafetei examinate ‘Masurarea rugozitajii suprafejelor cu rugozitayi de 0,03... 1,0 wm se poate efectua eu tehnici interferentiale. Principiul de functionare al unui interferometru este relativ simplu, fig. 4 Astiel, lumina emisi de o sursa este tansformata intr-un fascicul telecentric, folosind un filtm interferometric, diafragme de aperturé si de cdmp, respectiv obiective. Fasciculul este divizat de lamela divizoare in doua fascicule. Unul dintre fascicole ajunge pe suprafaja masuratd, iar celtlalt trece lamela de compensatie si este concentrati de obiectiv pe oglinda referinjé. Prin recombinarea fascicolelor reflectate de cele doua suprafefe, se formeaza un model de franjuri de interferenf’, care se pot Ke prin de observa cu un ocular sau pot fi fnregistrate pe un film. Contrastul maxim dintte franjuri se produce pemiru cea mai bund pozitie de focalizare pentru fiecare punct dat suprafetei al Fig. 3.9 Schema de principiu @ unui interferometru J surs de lumin8: 2 - condensator, 3 -fitru interstitial 4 - diafragme de apertura 5 -diafragme de camp, 6 - obiectiv; 7 - lamela divizoare; 8 - lamela de compensatie; 9 - oglinda de referinta; 10 - ocular; 11 - oglinda, 12 -fm; 13 - sistem lenticular.Mésurarea rugozititii cu palpatoare cu fascicule de electronii ioni sunt tebnici hibride care combind caracteristicile palpatoarelor cu ac si a tehnicilor de scanare SPM (Scanning Probe Microscopy), find capabile s& vizualizeze textura tridimensionald a suprafefei si cercetarea acesteia pana la scar nanometricd, fara posibilitatea evaluadrii cantitative a microgeometriei. Aceste tehnici sunt microscopia cu tunel de seanare (STM = Scanning Tunneling Microscopy), microscopia prin forta atomicd (AFM - Atomic Force Microscopy), microscopia prin forid magnetica (MFM - Magnetic Force Microscopy), microscopia prin forta electronilor (EFM ~ Electron Force Microscopy), microscopia prin scanare capacitive (SCM = Scanning Capacitance Microscopy) si microscopia prin scanare termica (STHM - Scanning Thermal Microscopy). a, Microscopia cu tunel de emisie (STM - Scanning-Tunneling Microscopy) poate reda imaginea suprafejei materialului cu rezolutie la scalf atomica. Acesta foloseste un varf ‘metalic ascujit adus foarte aproape de suprafaja. Cénd varful si proba sunt in contact cu o surs de curent, fluxuri mici de cureni de scanare (small tunneling current) tree intre varf si suprafaja probei. Acest curent poate fi masurat, iar marimea depinde de distanja dintre varf gi suprafafa. Cand varful este deplasat lateral peste suprafafd, un mecanism de réspuns deplaseazi varful in sus sau in Jos pentru mentinerea constant& a curentului de scanare (tunneling current). Prin trecerea varfului peste suprafafé se produce o hart topografica a suprafejei probe b, — Microscopia cu forté atomicd (AFM - Atomic Force Microscopy) este similar cu microscopul cu tunel de emisie (STM - Scanning-Tunneling Microscopy) prin care se poate fotografia suprafaja metalului 1a scara de rezolutie atomicd. AFM spre deosebire de STM nu solicit ca proba sa fie un material conducitor de electricitate. Ca gi la STM, varful foarte ascufit este adus in imediata apropiere a suprafejei de studiat. Varful va determina o atracjie sau repulsie chimic& si va deplasa in sus sau in jos oglinda suport. Secretul sensibilitaii AFM const in urmarirea deplasdrii varfului, Un procedeu foarte uzual de urmarire a deplasarii varfului este folosirea unei raze laser care este reflectatd sau diffactati de varf sau de oglinda in consoli. Deplasirile varfului sunt detectate prin modificarea pozitiei razei laser. Asem&ndtor STM, prin trecerea varfului deasupra suprafefei produce © harta topograficd a suprafefei cu rezolutie la scald atomica in principiu, suprafaja este palpata de un varf de diamant atagat la capétul liber al unei lamele, care permite urmérirea modificdrilor de inalfime ale profilului, in functie de parametrul fizic masurat (atomic, electric sau magnetic), un rAspuns puternic gi controlat menjine controlul varfului palpatorului situat deasupra suprafetei in timp ce imaginea furnizeaza informatii asupra variatiei proprietajilor suprafejei. Datorita varfului ascutit si fortelor mici de palpare, rezolutia este imbundtait’ comparativ cu tehnicile conventionale. Rezolugia dupa axele x si y este de ordinul nanometrilor, iar rezolutia dupa axa z este de ordinul angstromilor. Probele de studiat sunt asezate pe un suport magnetic si sunt scanate in modul contact, fig. 5 Raza laser emis de o diodé laser ajunge pe spatele unui suport din care este reflectata spre o oglinda si apoi reflectata spre un fotodetector cu 4 puncte (4-point photodetector). Fotodetectorul emite un semnal la bucla de raspuns (feetback) formand o imagine datorita comprimarii si amplificdrii unui piezoscanner, Fig.3.10. Schema de principiu a rugozimetrului cu raze de electronilioni: 1 = dioda laser; 2 - sistem de lentile; 3 -palpator cu varf de diamant; 4 senzor piezoelectric; 5 - oglinda; 6 - fotodetector.