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Figure 12.23 A schematic drawing of the 1 atm glow discharge plasma reactor system.
Si la frecuencia de RF es tan baja que tanto los iones como los electrones pueden
alcanzar los lmites y recombinarse, el plasma no iniciar ni formar unas cuantas
descargas filamentosas gruesas entre las placas. Si la frecuencia aplicada est en una
banda estrecha en la que los iones oscilan entre la pantalla mediana y una placa de
electrodo, no tienen tiempo para alcanzar ninguno de los dos lmites durante un medio
perodo de oscilacin. Si los electrones ms mviles siguen siendo capaces de
abandonar el volumen de plasma e inciden sobre las superficies lmite, entonces se
produce el plasma uniforme deseable. Si la frecuencia de RF aplicada es an ms alta
de modo que tanto los electrones como los iones queden atrapados en la descarga,
entonces la descarga forma un plasma filamentoso.
Se dispone de una teora aproximada que produce una relacin entre la separacin del
electrodo, el voltaje del electrodo rms y la frecuencia aplicada, lo que resulta en
atrapar iones pero no en electrones entre las dos placas, y produce el plasma de
descarga deseado uniforme de 1 atm. En la figura 12.24 se muestra un esquema de la
cmara superior del reactor de plasma de descarga de 1 atm. El lmite inferior de este
espacio es la pantalla del plano intermedio, cuyo potencial flotante debe permanecer
cerca del suelo si la salida de la fuente de alimentacin de RF est conectada como un
circuito push-pull a los dos electrodos con una toma central conectada a tierra. En la
configuracin de la figura 12.24, se aplica un sistema de coordenadas cartesiano como
se muestra, con el campo elctrico aplicado en la direccin x. La amplitud mxima del
campo elctrico entre la pantalla mediana conectada a tierra y el electrodo superior es
Eo, y la separacin de la pantalla de los electrodos es la distancia d. Se supone que la
pantalla mediana, con una muestra expuesta en ella, no permite que los iones
atraviesen el plano mediano desde la cmara superior hasta la parte inferior, o
viceversa.
Figura 12.24 Esquema del reactor de plasma de descarga de 1 atm, con transformador
de RF secundario, red de adaptacin y los electrodos del reactor.
El campo elctrico entre los electrodos mostrado en la figura 12.24 est dado por
Figura 15.7. Fotografa de un OAUGDP de placa paralela que opera en helio a 1 atm;
Altura vertical del plasma es de 2,5 cm.
Para algunas aplicaciones de procesamiento por plasma, una capa superficial de
plasma relativamente delgada (unos pocos mm) puede ser ms til que los volmenes
relativamente grandes de plasma proporcionados por un reactor de placa paralela. El
reactor de plasma de placas paralelas puede transformarse geomtricamente en un
reactor plano de la manera ilustrada en la figura 15.8 (Roth 1997, Roth et al., 1998). En
esta configuracin, los electrodos de banda paralela de una polaridad de RF conectada
por un bus estn situados en la superficie superior de un panel dielctrico y el
electrodo de polaridad opuesta es una lmina conductora por debajo del dielctrico.
Los iones quedan atrapados en las lneas de campo elctrico arqueadas entre los
electrodos superior e inferior, y se genera una capa de plasma de superficie en la
regin donde ocurre el atrapamiento de iones.
Figura 15.8. La fuente de plasma de capa superficial OAUGDP, que consiste en una
disposicin paralela de tiras de electrodos para la generacin de una capa superficial
plana OAUGDP. Los iones quedan atrapados a lo largo de las lneas de campo elctrico
entre los electrodos de tira adyacentes, que se mantienen con polaridades de RF
opuestas.
15.4.2 Parmetros de funcionamiento independientes
La fuente OAUGDP se ha operado a presiones nominales dentro del 5% de una
atmsfera estndar en la configuracin de placa paralela de la figura 15.6 en el rango
de parmetros indicado en la tabla 15.1. La potencia mostrada en la tabla 15.1 es la
potencia neta suministrada al plasma, y no incluye la potencia reactiva (potencia
reflejada desde la carga de plasma hasta la fuente de alimentacin). Las densidades de
potencia volumtrica mostradas en la tabla 15.1 son muy inferiores a las de los arcos
elctricos o antorchas de plasma, pero mucho ms altas que las asociadas con las
descargas de corona fuera de su regin activa.
Dichos parmetros plasmticos como la energa de los electrones y la densidad de los
nmeros en la OAUGDP son poco conocidos. Se espera que la energa de los iones y de
las especies activas aparte de electrones y fotones sea cercana a la de los gases a
temperatura ambiente con los que chocan frecuentemente a presin atmosfrica. Los
electrones permanecen numerosos y lo suficientemente enrgicos como para excitar
los tomos neutros del fondo, haciendo de esto una descarga lumnica. La existencia de
estados excitados que emiten fotones visibles implica que la poblacin de electrones
tiene una temperatura cintica de al menos unos pocos electrones durante una parte
del ciclo RF. Esta expectativa es consistente con el modelo computacional de Ben Gadri
(1997, 1999).
Otros factores que pueden afectar la produccin de especies activas para el
procesamiento de plasma incluyen si el gas de trabajo se recicla ms all de la pieza de
trabajo expuesta (algunas especies activas importantes son de larga vida y su
concentracin se incrementa tras la recirculacin); La temperatura del gas; La
temperatura de las superficies del electrodo; La humedad del gas; Y el caudal del gas
ms all de la pieza de trabajo. Como se discutir en la seccin 18.6, la transferencia de
momento de Lorentzian de los iones al gas neutral puede dar lugar a importantes
efectos de aceleracin de flujo.
El campo elctrico de RF aplicado entre los electrodos debe ser lo suficientemente
fuerte como para romper elctricamente el gas utilizado, aproximadamente 8,5 kV /
cm para el aire. Este campo elctrico es ms de un factor de tres ms bajo que el
campo elctrico de chispas para el aire seco, pero es tambin un factor tres ms alto
que el campo elctrico requerido para iniciar una OAUGDP en helio y argn. La
frecuencia de RF debe estar en el rango ptimo para la captura de iones, como se
discute en la seccin 12.5.2 del Volumen 1. Esta frecuencia est caractersticamente en
el rango de kilohertz. Para fines de investigacin exploratoria, las dos placas de
electrodo paralelas ilustradas en la figura 15.6 pueden ser accionadas por una fuente
de alimentacin capaz de funcionar en el intervalo de parmetros indicado en la tabla
15.1.
Tabla 15.1. Caractersticas de la fuente de plasma para la OAUGDP. Gases de trabajo
caractersticos: He, Ar, N2O, CO2, aire.
Las entradas totales de potencia a las OAUGDP pueden ser tan poco como unos pocos
vatios, o hasta kilovatios para los reactores prototpicos industriales. Las densidades de
potencia de plasma en el volumen de descarga entre placas paralelas pueden variar
desde unos pocos mW / cm3 a 1 W / cm3, con 0,5 W / cm3 de valor nominal. Mientras
se mantenga el campo elctrico mnimo para la descomposicin del gas de trabajo
(aproximadamente 8,5 kV / cm para el aire), la separacin entre los electrodos
OAUGDP est determinada por restricciones geomtricas y la tensin mxima que se
puede manejar convenientemente en una aplicacin particular.
15.4.3 Fenomenologa de la OAUGDP
La gama de parmetros de funcionamiento sobre los que se ha operado una OAUGDP
se indica aproximadamente en la tabla 15.1. Los valores nominales indicados no son
necesariamente valores simultneos. A continuacin, se resumen algunas
observaciones relacionadas con la fenomenologa operativa de la OAUGDP.
15.4.3.1 Mecanismo de atrapamiento de cargas
Los campos elctricos empleados para crear la OAUGDP son normalmente inferiores a
10 kV / cm, incluso en el aire, valores demasiado bajos para conseguir una interrupcin
elctrica de la DC (chispas) del gas de funcionamiento. El OAUGDP se forma y asume
sus caractersticas normales de brillo, cuando los iones, pero no los electrones, quedan
atrapados en las lneas del campo elctrico entre los electrodos. La distancia entre
electrodos, el campo elctrico y la frecuencia se ajustan de acuerdo con la ecuacin
(15.6), de manera que la deriva de la movilidad de los iones en el campo elctrico RF
oscilante los atrapa entre los electrodos durante un ciclo RF. Este mecanismo de
atrapamiento de iones permite que gases como el helio, el argn y el aire se
descompongan bajo campos elctricos tan bajos como 2 o 3 kV / cm para argn y helio
y 8,5 kV / cm para el aire. Durante el atrapamiento de iones, los electrones son libres
de viajar a los electrodos donde se recogen, recombinan o acumulan una carga
superficial.
Si la frecuencia de RF es tan baja que ambos iones y electrones alcanzan los electrodos
y se recombinan, el plasma no se iniciar ni formar muy pocas descargas filamentosas
gruesas entre las placas. Si la frecuencia RF aplicada es demasiado alta, de manera que
tanto los electrones como los iones quedan atrapados en la descarga, entonces la
descarga se polariza y sufre una inestabilidad filamentaria que forma filamentos
relativamente gruesos de gran dimetro (100 m) comparados con los de un DBD.
15.4.3.2 Frecuencias de trampeo
En la seccin 12.5.2, se demostr que el desplazamiento rms de un electrn o de un
ion durante un semiciclo en la geometra de la placa paralela de la figura 15.6 est
dado por
Si las partculas cargadas de inters estn confinadas entre las placas de electrodo de
descarga durante un ciclo completo, entonces
La ecuacin (15.4) indica que el desplazamiento rms de una especie de carga particular
debe ser menor que la mitad de la separacin clara con el fin de tener una
acumulacin de esa especie de carga entre las placas. En la geometra mostrada en la
figura 15.6, la distancia d es la distancia clara entre las placas de electrodo.
Sustituyendo las ecuaciones (15.2) - (15.4) en la ecuacin (15.1) se obtiene la relacin
As, para el helio, la mayor parte del poder se entrega a la poblacin de electrones,
donde es ms eficaz en la produccin de ionizacin y especies activas.
Los procesos fsicos responsables del flujo de gas paraelctrico se pueden visualizar con
la ayuda de la figura 18.24, un plasma de plancha bidimensional confinado entre placas
paralelas. Este plasma de bloque polarizar de la manera indicada, dando como
resultado un campo elctrico de polarizacin en el volumen del plasma, cuyas lneas
de campo elctrico terminan en las cargas en el lmite del plasma. Estas lneas de
campo elctrico actan como bandas de goma en tensin y dibujan los dos lados del
plasma juntos, pero el plasma permanecer en equilibrios mientras el campo
elctrico externo permanezca en su lugar. La presin electrosttica se manifestar
por una fuerza por unidad de rea que tiende a arrastrar los dos electrodos juntos,
como resultado de la fuerza entre las cargas en el lmite del plasma y las cargas sobre
los electrodos. No hay gradientes de campo elctrico en la mayor parte del plasma,
por lo que permanecer en un equilibrio estable. Los campos elctricos de franjas en
los lados actan para tirar del bloque polarizada de vuelta a su posicin de equilibrio,
sin tendencia a moverse hacia la derecha o hacia la izquierda.
Figura 18.25. Reactor de plasma de placa inclinada con cua de plasma polarizado en
equilibrio inestable debido a fuerzas del cuerpo paraelctricas.
Si la geometra de la figura 18.24 cambia inclinando los dos electrodos como se
muestra en la figura 18.25, un gradiente de campo elctrico existir horizontalmente.
El plasma se acelerar hacia la izquierda, en la direccin del aumento del gradiente
del campo elctrico, por la tendencia de las lneas de campo elctrico del campo
elctrico de polarizacin al contraerse. Esto se puede entender como un desequilibrio
en la presin electrosttica que proporciona una fuerza paraelctrica neta del
cuerpo. Las colisiones Lorentzianas de iones y electrones con el gas neutro
arrastrarn este ltimo a la izquierda en la figura 18.25, junto con las especies
cargadas. Esta fuerza del cuerpo electrosttico hacia la izquierda es independiente de
la direccin del campo elctrico y, por lo tanto, es tan fuerte en campos elctricos de
RF como en campos de DC de la misma magnitud. Adems, esta fuerza es
independiente del signo de la especie de carga que se acelera, y ambas especies se
mueven en la misma direccin.
Las fuerzas EHD en los plasmas de descarga lumnica se estudian mejor con una
partcula individual que con un formalismo fluido continuo, y el formalismo Lorentziano
es con frecuencia un enfoque terico productivo. En el formalismo lorentziano, se
asume que cada colisin de los iones o electrones devuelve al gas de trabajo neutro
todo el momento y la energa que cada carga gan, en promedio, desde su ltima
colisin. Como se ver ms adelante, en los plasmas de descarga lumnica la gran
proporcin de neutros a iones no diluye el momento perdido por los iones, porque el
gran nmero de colisiones por segundo compensa la fraccin de ionizacin pequea.
En el aire atmosfrico, la frecuencia de colisin de iones es de aproximadamente 7
GHz; La de los electrones de unos 5 THz. Estas altas frecuencias de colisin son la
razn por la cual los campos elctricos estn bien acoplados al gas neutro a travs de
las poblaciones de iones / electrones y por eso las velocidades del gas neutro
inducido son comparables a la velocidad de desplazamiento de la movilidad inica.
18.6.1.2 Teora de la aceleracin del flujo paraelctrico
La fuerza del cuerpo electrosttico sobre un plasma con una densidad de carga neta c
est dada por
Obsrvese que la ecuacin (18.24) es la diferencia entre las densidades de carga inica
y electrn. Es un trmino usualmente ignorado en las formulaciones tericas
quasineutrales. Esta densidad de carga neta est relacionada con el campo elctrico en
el plasma a travs de la ecuacin de Poisson,
Los dos ltimos trminos de la ecuacin (18.26) son iguales para la geometra
unidimensional de inters aqu. La expresin entre parntesis en el ltimo trmino de
la ecuacin (18.26) es la presin electrosttica pE ,
La fuerza del cuerpo dada por la ecuacin (18.28) se debe a que la presin
electrosttica se transmite a los iones y electrones por aceleracin en el campo
elctrico, y el tomo adquirido por los iones / electrones se transmite a su vez al gas
neutro por colisiones lorentzianas.
La presin gasdinmica ordinaria del gas neutro est dada por
Si las fuerzas de viscosidad, las fuerzas centrfugas, etc. se descuidan, las fuerzas del
cuerpo debidas a los gradientes gasdinmicos y electrostticos estarn
aproximadamente en equilibrio, como se describe por
Figura 18.28. Perfiles de velocidad de soplado medidos con un tubo de pitot sobre la
superficie de un panel plano con mltiples electrodos de banda asimtrica como los
mostrados en la figura 18.27 (b) (pero con la asimetra invertida para inducir el flujo a
la derecha). Los tres perfiles se tomaron para tensiones de excitacin de electrodos
rms de 3, 4 y 5 kV.
Figura 18.29. Las velocidades mximas de soplado de la figura 18.28 se representan en
funcin de la tensin de excitacin del electrodo rms en kilovoltios.
18.6.2 Flujo EHD inducido por la deriva de la movilidad DC
El segundo mecanismo de aceleracin de flujo de gas neutro relacionado con EHD es
inducido por colisiones Lorentzianas de electrones o iones a medida que derivan en un
campo elctrico DC. Esto puede implementarse con la geometra ilustrada en la figura
18.30, un panel plano que contiene electrodos de tira, que est cubierto por plasma
OAUGDP. La superficie inferior del panel est cubierta por un plano slido de tierra de
cobre, y la superficie superior contiene electrodos de tira paralelos. Estos electrodos
estn conectados a una fuente de alimentacin de RF que genera el OAUGDP y una
fuente de alimentacin de CC de alto voltaje que, a travs de una cadena de
resistencias de cada de voltaje, mantiene un campo elctrico a lo largo del panel
perpendicular al eje de los electrodos individuales. Este campo elctrico de DC hace
que iones y electrones se desplacen en direcciones opuestas. A medida que se
desplazan, que la transferencia de impulso a los gases neutros como resultado de las
colisiones Lorentzian.
18.6.2.1 Flujo inducido por la deriva de movilidad de electrones
Ahora se derivar el flujo de gas neutro inducido por el momento transferido a l por
colisiones electrnicas. El trmino lorentziano para la prdida de momentum por
electrones individuales en un campo elctrico DC es
Figura 18.30. Un panel plano de electrodos de tira, cada uno con un voltaje DC
progresivamente ms alto para imponer un campo elctrico de CC a lo largo de la
superficie del panel, e inducir as la deriva de la movilidad de CC de las especies
cargadas del plasma.
La prdida volumtrica del momento de Lorentzian se da multiplicando la ecuacin
(18.36) por la densidad del nmero del electrn,
Combinando las ecuaciones (18,40) y (18,41), se obtiene el momento total recibido por
unidad de volumen y por segundo por el gas neutro de las colisiones lorentzianas con
los electrones,
Del cual se deduce que la velocidad de desviacin de gas neutro inducida debida a la
transferencia de momento de electrones Lorentziano al gas neutro est dada por
La ecuacin (18.44) indica que la velocidad de deriva del gas neutro inducida por
electrones es igual a la velocidad de deriva de movilidad de electrones, modificada por
la relacin de la masa de electrones a la masa de tomos neutros media. La velocidad
de desplazamiento de la movilidad de electrones puede escribirse en trminos del
campo elctrico, la movilidad de los electrones y la frecuencia de colisin entre el
electrn y el neutro como
Con vdi la velocidad de deriva de movilidad de iones inducida por el campo elctrico. Si
se ignora el calentamiento, los efectos viscosos y los efectos centrfugos, este impulso
se transfiere de los iones a la poblacin neutra para producir una velocidad de
conveccin del gas neutro inducida por iones voi. El impulso adquirido por el gas
neutro de las colisiones de Lorentz con los iones est dado por
Figura 19.1. Colisiones de iones en una vaina entre el plasma y una pieza de trabajo.
(A) El rgimen de "baja presin", para el cual el recorrido libre medio neutro de iones
es mayor que el espesor de vaina S; Y (b) el rgimen de "alta presin", para el cual el
recorrido libre medio neutro en iones es ms corto que el espesor de la vaina, dando
lugar a que iones dispersados alcancen la capa grabada con velocidades paralelas a la
mscara.
DE LA TESIS 2004-Thesis-Roth-Boundary
Layer Flow Acceleration by Paraelectric
and Peristaltic SE OBTIEN LA SIGUIENTE
INFORMACIN.