Dvoslojna traka kao mikro-relej

Mikropokretač je realizovan
kao dvoslojna traka od
slojeva Si i SiO2 preko koje je
nanet sloj otpornog filma koji
služi za zagrevanje. Odrediti
pomeraj slobodnog kraja
trake pri zagrevanju za
T=10C. Dimenzije
pojedinačne trake su:
5m5m1000m.

Parametri materijala su:

E1=ESiO2=385 GPa; E2=ESi=190 Gpa; ν1=νSiO2=0.17; ν1=νSiO2=0.3

1= SiO2= 0.5∙10-6 1/ C 2= Si=2.33∙10-6 1/ C

Uporediti rezultat dobijen simulacijom sa analitički izračunatim.

t1  t 2  5 m 1 24  2  1  T

m 1   1 
h 14   n   
E   n 
n  1  2.026   376  m
E2

L 360L
 rad     0.1524
 2
     cos   1.33 m
Postupak simulacije u ANSYS 13 Workbench softveru.

1. Pokrenuti ANSYS
2. Iz liste Analysis Systems dvostrukim klikom na Static Structural postaviti tip
analize. (Tip analize se može izabrati i prevlačenjem Static Structural ikone iz
prozora Analysis Systems u prozor Project Schematic).
3. U prozoru analize (unutar Project Schematic-a) klikom na strelicu pored
oznake analize (A) izmeniti naziv analize u Dvoslojna traka – profili.
4. Dvostrukim klikom na Engineering Data otvoriti prozor za definiciju materijala.
Definisati materijale na osnovu tabele:

Toolbox Property Parameter Si SiO2

Physical Isotropic Secant Coefficient 2,33E-6 5E-7 (Tref=25
Properties Coefficient of of Thermal (Tref=25 C) C)
Thermal Expansion 
Expansion (1/C)
Linear Elastic Isotropic Young’s 1,9E11 3,85E11
Elasticity Modulus E
(Pa)
Poisson’s 0,17 0,3
Ratio ν

5. Refresh Project; Return to Project

6. Dvostrukim klikom na Geometry otvoriti Design Modeler(DM) modul za
definiciju geometrije sistema.
7. Postaviti Micrometers za jedinicu mere. OK
8. U Tree Outline-u DM-a selektovati XY plane i u toolbaru kliknuti na ikonu
NewPlane. U prozoru Details view pojavljuju se parametri nove ravni koja se
bazira na XY ravni. Tu se mogu definisati vrednosti parametara po kojima se
nova ravan razlikuje on bazne. Nova ravan treba da se poklapa sa XY, tako da
se ne postavljaju parametri transformacije već se samo klikne na dugme
Generate
9. Selektovati novo-formiranu ravan i kliknuti na ikonu New Sketch.
10.Selektovati novo-formirani sketch i preći na tab Sketching.
11.Kliknuti na ikonu Look at Face/Plane/Sketch.
12.U prozoru Draw izabrati Rectangle.
13.U prozoru Graphics nacrtati proizvoljan pravougaonik koji leži na X-osi
14.Otporiti pane Dimensions, selektovati General izabrati jednu stranicu
nacrtanog pravougaonika, povući kotne linije i u Details View definisati njenu
 vrednost na 5m. Istim postupkom definisati drugu stranicu na takođe 5m.
Izabrati Horizontal dimensions, selektovati Y-osu i od nje dalju vertikalnu
stranicu kvadrata, povući kotne linije i u Details View definisati njenu vrednost
na 2,5m. Po potrebi definisati i Vertical dimension između X ose i gornje
stranice kvadrata na 5m.
15. Preći u tab Modeling i kliknuti Extrude. U Details prozoru proveriti da li je:
Base object kreirani sketch, Operation Add Material; Direction 
Reverse (zbog smera Z ose) ; Extent Type Fixed; Depth  1000m
16. Kliknuti Generate i proveriti u prozoru Graphics da li je kreirana traka.
17. Iz glavnog menija izabrati Tools i Freeze. Time se kreirana struktura
“zamrzava“ i sve naredno kreirane strukture ostaju samostalne. (Komanda
Freeze se može izbeći ako se u prethodnom koraku za Extrude uzme operacija
AddFrozen umesto AddMaterial).
18. Ponovo selektovati kreiranu ravan i na njoj formirati novi sketch klikom na
ikonu New Sketch.
19. Selektovati novo-formirani sketch i preći na tab Sketching.
20. Kliknuti na ikonu Look at Face/Plane/Sketch.
21. Ponavljanjem koraka od 12 do 16 uz izmenjene dimenzije u odnosu na X i Y
osu formirati drugu traku.
22. Preći u prozor sa projektima i dvostrukim klikom na Model otvoriti
Mechanical (M) modul za ANSYS Multiphysics simulaciju.
23. U Modelu pod Geometry izabrati gornju traku, preimenovati je u Gornja
traka i u delu Details dodeliti joj Materijal SiO2
24. Izabrati donju traku, preimenovati je u Donja traka i u delu Details dodeliti joj
Materijal Si.
25. Pod Connections pregledati postojeći Contact Region
26. Selektovati Mesh, obrisati PatchIndependent i na desni klik izabrati Insert
Sizing. Selektovati obe trake u prozoru modela i pod Geometry u Details
kliknuti Apply. Pod Element Size postaviti 2e-6. Na desni klik Mesh-a
selektovati Generate.
27. Pod Static Stuctural Options Environment Temperature postaviti 30C.
28. Selektovati leve bočne površine obe trake i dodati SupportsFixed Support.
29. Selektovati obe trake i dodati LoadsThermal Condition. Definisati
temperaturu na 40C.
30. Desnim klikom na Solution izabrati Solve.
31. Kad se simulacija završi, desnim klikom na Solution izabrati
InsertDeformationTotal. Pod Total Deformation na desni klik izabrati
Evaluate All Results i pregledati rezultate.
32.Uporediti rezultate sa vrednostima dobijenim analitičkim proračunom.
33. Pogledati i animirane rezultate.
Alternativna realizacija modela

1. U prozoru projekta prevlačenjem Static Structural ikone iz prozora Analysis

Systems u prozor Project Schematic dodati još jednu Static Structural analizu.
2. U prozoru dodate analize (unutar Project Schematic-a) klikom na strelicu
pored oznake analize (B) izmeniti njen naziv u Dvoslojna traka – box.
3. Kliknuti na Enegineering Data u analizi A i držeći taster miša prevući do
Enegineering Data u analizi B. Uspostaviće se veza koja označava da se isti
podaci o materijalima koriste i u analizi B.
4. Dvostrukim klikom na Geometry u analizi B otvoriti Design Modeler(DM)
modul za definiciju geometrije sistema.
5. Iz menija Create izabrati PrimitivesBox.
6. U Details dodati kao koordinate početne tačke (Point1) X;Y;Z 0;0;0. Kao
komponente dijagonale (njene dužine po osama) dodati X;Y;Z 5;5;-1000.
7. Kliknuti Generate i proveriti u prozoru Graphics da li je kreirana traka.
8. Iz glavnog menija izabrati Tools i Freeze. Time se kreirana struktura
“zamrzava“ i sve naredno kreirane strukture ostaju samostalne.
9. Iz menija Create izabrati PrimitivesBox.
10.U Details postaviti Box Type na From Two Points, dodati kao koordinate
početne tačke (Point1) X;Y;Z 0;5;0. Kao koordinate krajnje tačke dijagonale
dodati X;Y;Z 5;10;-1000.
11. Kliknuti Generate i proveriti u prozoru Graphics da li je kreirana druga traka.
12. Preći u prozor sa projektima i dvostrukim klikom na Model u analizi
Dvoslojna traka – box otvoriti Mechanical (M) modul za ANSYS Multiphysics
simulaciju.
13. Ponoviti korake 23-34 iz prvog načina rešavanja problema.