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热 超 声 引 线 键 合 换 能 系统 振 动 特性 仿 真 研 究 —— 隆 志 力　 吴 运 新　 韩　 雷 等　

热 超 声 引线 键 合 换 能 系 统振 动 特 性仿 真研 究　
隆 志 力　 吴 运 新　 韩　 雷　 钟　 掘　
中南 大 学 ，
长沙 ，
４１００８３
　

摘要 ：
在 建立 热超 声 引线键 合换 能 系统各 子部 分运 动 方程 的基础 上 ，
利 用有 限元 方法建 立　
空 载情 况下换 能 系统 的振 动特 性仿 真模 型 ，并采 用正 弦扫频 方法验证 仿 真模 型 。结果表 明 ：
换　
能 系统 以 第 ２阶 变幅 杆 轴 向 振 动 与 劈 刀 径 向 振 动 的 模 态 作 为 其 工 作 状 态 下 的 主 振 型 ；
换 能 系　
统 工作 频 率 附近 包含 多种 振动 模 态 ，
键 合过 程极 易被 激发 而表 现 出多模 态性 ，由此会 消耗 部分　
超 声能量且 对 芯 片键 合 界 面造成 负面影响 ，
这 些振 动模 态必 须得 到抑 制 ；
仿 真计 算 与试验 结 果　
相 吻合 ，
其 中 工 作 频 率 的 相 对 误 差 只 有 １．２
　 。
　
关键 词 ：
换 能 系统 ；有 限元模 型 ；
振 动 特性 ；
热超 声 引线键 合　
中图分类 号 ：
ＴＮ６０５
　 文章 编号 ：
１Ｏ０４— １３２Ｘ（２００６）１
５— １
６１３— ０５
　

Ｖｉ
ｂｒａｔｉ
ｏｎ　Ｓｉ
ｍ ｕｌ
ａｔｉ
ｏｎ　ｏｆ　
Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ　
Ｓｙｓｔｅｍ 　ｉ
ｎ　Ｔｈｅｒｍ ｏｓｏｎｉ
ｃ　Ｗ ｉ
ｒｅ　Ｂｏｎｄｉ
ｎｇ　

Ｌｏｎｇ　Ｚｈｉ
ｌｉ
　 Ｗ ｕ　
Ｙｕｎｘｉ
ｎ　 Ｈ ａｎ　
Ｌｅｉ
　 Ｚｈｏｎｇ　
Ｊ　ｕｅ
　
Ｃｅｎｔｒａ１
　Ｓｏｕｔｈ　Ｕ ｎｉ
ｖｅｒｓｉ
ｔｙ．Ｃｈａｎｇｓｈａ，４　
１００８３
　
Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔ ｈｅ　ｖｉ
ｂｒａｔｉ
ｏｎ　ｓｉ
ｍ ｕｌａｔｉ
ｏｎ　ｍ ｏｄｅ１
　ｏｆ
　ａ　ｔ
ｒａｎｓｄｕｃｅｒ
　ｓｙｓｔｅｍ 　ｉ
ｎ　ｔｈｅｒｍ ｏｓｏｎｉ
ｃ　ｗ ｉ
ｒｅ　ｂｏｎｄｉｎｇ　
ｗ ａｓ　
ｅｓｔａｂｌ
ｉｓｈｅｄ　ｂｙ　ｆｉ
ｎｉｔｅ　ｅｌｅｍ ｅｎｔ
　ｍ ｅｔｈｏｄ　ａｎｄ　ｖｅｒｉ
ｆｉｅｄ　ｂｙ　ｅｌ
ｅｃｔｒｉ
ｃａｌ
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ｎｅ　ｓｗ ｅｅｐｉ
ｎｇ　ｅｘｃｉ
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ｍ ｅｎｔ
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ｒｅｓｕｌｔ
ｓ　ｓｈｏｗ　ｔｈａｔ．ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ　ｓｙｓｔｅｍ　ｏｆ
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　ａｘｉ
ａ１　ｖｉｂｒａｔｉ
ｏｎ　ｏｆ
　
ｃｏｎｃｅｎｔｒａｔｏｒ
　ａｎｄ　ｒａｄｉ
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ｂｒａｔｉ
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ｍ ａｎｙ　
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ｅｘ—
　
ｃｉ
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ｏｓｅ　ｔｏ　ｗｏｒｋｉ
ｎｇ　ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ． Ｔｈｅｓｅ　ｕｎｄｅｓｉ
ｒａｂｌ
ｅ　ｍ ｏｄｅｓ　ｗｏｕｌ
ｄ　ｗａｓｔｅ　ｕｌ
ｔｒａ—
　
ｓｏｎｉ
ｃ　ｅｎｅｒｇｙ　ａｎｄ　ｂａｄｌ
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ｕｅｎｃｅ　ｏｎ　ｂｏｎｄｉ
ｎｇ　ｑｕａｌ
ｉｔｙ　
ｂｅｔ
ｗ ｅｅｎ　
ｇｏｌ
ｄ　ｂａｌ
ｌ　ａｎｄ　ｓｕｂｓｔｒａｔｅ，ＳＯ　ｔｈｅｙ　ｓｈｏｕｌｄ　ｂｅ　
ｗ ｅｌ１
　ｃｏｎｔｒｏｌ
ｌｅｄ　ｉ
ｎ　ｂｏｎｄｉ
ｎｇ． Ｇ ｏｏｄ　ａｇｒｅｅｍ ｅｎｔ
　ｂｅｔ
ｗ ｅｅｎ　ｓｉ
ｍ ｕｌ
ａｔｉ
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ｗｈｅｒｅ
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　ｏｆ
　ｗｏｒｋｉ
ｎｇ　ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ　ｉ
Ｓ　ｏｎｌ
ｙ　１．２　 ．
　
Ｋ ｅｙ　ｗｏｒｄｓ：ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ
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ｅｒｉ
ｓｔｉ
ｃｓ； ｔｈｅｒｍ ｏｓｏｎｉ
ｃ　ｗ ｉ
ｒｅ　ｂｏｎｄｉ
ｎｇ　

０　 引 言　 量 传递 的部 件 ，
其 超声 振 动 特 性 直 接 影 响 系统 的　
当前 ，
引线 键 合 与 倒装 键 合 构 成 半 导 体 器 件　 能量输 出 ，由此 影 响芯 片与基 板之 间 的键 合 质量 。
　
制造 后半 序 ，即芯 片 一级 封装 的 主体 工 艺 。引 线　 换 能 系 统 综 合 了 电 场 、力 场 、声 场 等 不 同物 理 系　
键合 工艺 简单 且 已相 当成 熟 ，占据 芯 片 封装 领 域　 统，
其 振 动 特 性 相 当 复 杂 ，Ｏｒ等　 曾经 预 测 换 能　
７０
　 的份额 。倒 装 键 合 是 新兴 的芯 片 互 连 工 艺 ，
　 系统 包含 多种 振 动 模 态　当这 些振 动 模 态 处 于 超　
它 包 括 回流 焊 、
热 超 声倒 装 键 合 、
热 压 倒 装键 合 、
　 声锁 相 环范 围之 外时 ，
换 能 系统 可能 会产 生“随机　
环 氧树 脂导 电胶 等 ４种 封装类 型 。倒装 键 合工艺　 振动 模式 （
ｒａｎｄｏｍ　
ｖｉｂｒ
ａｔｉ
ｏｎ　
ｍｏｄｅ）”。因此 ，
研 究　
的主 要 特点 是 多 点 键合 ，
互 连效 率 非 常 高 ，因此 ，
　 与 分析 换能 系统 的振 动 特性 ，对 换 能 系统 的性 能　
倒 装键 合 工艺 是芯 片封 装工 艺 的发展 方 向 。
　 评 判 与设计 依据 具有 重要 意 义 。
　
作 为超声 引线 键合 和热 超声 倒装 键合 系统 的　 当前 ，
换能 系统 超声 振 动 的研 究方 法 包 括 解　
重 要 组 成部 分 ，
换 能 系统 充 当 电声 转 换 与 超声 能　 析法 、
传递 矩 阵法 、
等效 电路法 以及 有 限元法 。解　
析法 简单 直接 ，
但边 界条 件难 于确 定 ，
且不适 合 多　
收 稿 日期 ：
２０Ｏ５
　 Ｏ５
　 １１
　 物理 系统 的建 模 ；
传 递 矩 阵 法存 在 计 算 量 过 大 的　
基金项 目：
国 家 自然 科 学 基 金 资 助 项 目 （５
０３９
００６
４）；国 家 重 点 基　
缺点 ；
等 效 电路法 适合 整体 系统模 型 的建 立 ，
但 参　
础 研 究 发 展 计 划 资 助 项 目（２００３ＣＢ７１６２０２）
　

［１１］
　 周 上 祺 ．ｘ 射 线 衍 射 分 析 Ｉ
－Ｍ］．重 庆 ：重 庆 大 学 出　
版社 ，
１９９１．
　 作者简介 ：
奏 哲 ，女 ，
１９７３年 生 。 广 东 工 业 大 学 机 电 工 程 学 院　

Ｅ
ｌ２］
　 马如璋 ，
许 祖 雄 ．材 料 物 理 现 代 研 究 方 法 ［Ｍ］
．北　 讲师 、
博 士 研 究 生 。主 要 研 究 方 向 为 难 加 工 材 料 切 削 加 工 。 发 表　

京：
冶 金 工 业 出 版社 ，
１９９７．
　 论 文 １Ｏ余 篇 。 王 成 勇 ，
男 ，１
９６４年 生 。 广 东 工 业 大 学 机 电 工 程　

（编 辑 卢湘帆）
　 学 院教 授 、
博 士 研 究 生 导 师 。 袁　 墓 ，女 ，１９５０年 生 。广 东 工 业　
大学 机 电工 程 学 院副 教 授 。
　

・　
１６１３　・
　
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中 国 机 械 工 程 第 １７卷 第 １５期 ２００６年 ８月上 半 月　

数太 多且 计算 复 杂 ；
有 限单 元 法 是 分 析 和设 计 换　 应 。压 电 陶瓷 的运 动 状态 由压 电方 程　 描 述 ，
即　
能 系统 的 一 种 有效 方 法 。Ｏｒ等　 建立 了 引线 键　 Ｔ 一　 一 ｅＥ 、
　

合 变 幅杆 一劈 刀 系统 的有 限元 仿 真 模 型 ，获 得 了　 Ｄ：ｅ
ＴＳ＋￡
Ｅ｝　 （
１）　
式中，
Ｔ为 应 力 矢 量 ；
Ｃ为 弹 性 矩 阵 ；
Ｄ 为电通 密度矢 量 ；
ｅ　
该 系统 谐 振频 率 及变 幅杆 轴 向振 动 的位 移 分 布 ；
　
为压电矩阵 ；
ｓ为应 变 矢 量 ；
￡为 介 电 常 数 矩 阵 ；
Ｅ 为 电 场　
Ｐａｒ
ｒｉｎｉ
ｌ３
　结合 有 限元模 拟和 阻抗 测试 设 计 了用 于　
强度矢量 。
　
楔焊 的 １２５ｋＨｚ换 能 系统 ；
Ａｍｉ
ｎ等　 利 用计 算 机　
１．２．２　 变 幅 杆 运 动 方 程 　
辅助 方法 分 析 了用 于 超 声 加工 的变 幅杆 ，
并 提 出　
假设 变 幅杆 由均 匀 、
各 向同性 的材料 构成 ，
能　
优化 变 幅杆性 能 的方 法 。
　
量 在变 幅杆 中传 递没有 受 到热 弛豫 、
粘滞 、
热 传导　
本文 针 对生 产线 上使 用 的某一 热超 声 引线键　
等 内部 因素 的影 响 ，由此 可 以忽 略 能 量 的 材料 内　
合机，
在 建立 换 能 系统 各 子 部 分 运 动 方 程 的基 础　
部 机械 损耗 。同时 ，
变 幅杆 的横 截 面尺寸 远小 于声　
上，
利 用 有 限 元 法 在 ＡＮＳＹＳ平 台上 建 立 压 电 陶　
波波长，
所 以声 波 传 递 可 以视 为 平 面 纵 波 在 变 幅　
瓷 一过 渡段 一变 幅杆 一劈 刀 整个换 能 系统 的超声　
杆 中的传 递 ，由此 ，
其波 动方 程 可定 义为　
振 动 特性仿 真 模 型 ，并 分 析 系 统谐 振 频 率 与 振 动　
模态 。
　 尝
３
　
ｘ０＋
’　
Ｓ（
ｚ）
　３
—
Ｏ
Ｓ（
—
ｘｘ
　３
）一
３ｙ＋
ｘ’　
’
　一ｏ
　 （
２
～）
　
１
　 工 艺 过 程　 ｙ
（ｘ，
ｔ
）＝　 詈　
１．１
　 系 统 组 成 及 工 艺 过 程　
ｃ
ｓ一√　 厂
　
图 １所 示 为典 型 的 热 超声 引线 键 合 系统 ，其　
式 中 ，Ｙ为 ｚ位 置 的 质 点 振 动 位 移 ；
　 为声 波 在 杆 件 传 递 时　
键 合参 数为 ：
超 声频 率 ６２ｋＨｚ，
压 力 ０．５８８Ｎ，
温 度　
的波 数 ；ｃ
　为 声 波 在 杆 件 传 递 时 的 波 速 ；
Ｅｇ为 变 幅 杆 材 料　
２２０℃ ，
键合 时 间 ５０ｍｓ。它 主 要 由 超 声 发 生 器 、
　
的弹 性 模 量 ；
ｐ　为 变 幅 杆 的 密 度 ；ｆ为 质 点 的振 动 频 率 ；
　
ＰＺＴ换 能器 、变 幅 杆 、劈 刀 等 部 分 组 成 。超 声 发　 Ｓ（ｚ）为 圆截 面变 幅 杆 的 横 截 面 面 积 。
　
生 器 的 电能量 通 过 ＰＺＴ 换 能 器 的 逆 压 电效 应 转　 安 装 过渡部 分 和换 能器 前后 盖板 属 于等截 面　
换 为 纵 向机械 振动 ，
然 后经 过变 幅杆 的放 大作 用 ，
　 杆件 ，
可 以将 其 当成 圆锥变 幅杆 的特 例处 理 。
　
再经 过劈 刀转 化 为 与 芯 片 平行 的横 向振 动 ，由此　 １．２．３　 劈 刀 运 动 方 程　
劈 刀尖端 带动 金 线 （
或 铝丝 ）与基 板 发生 相互 摩擦　 考 虑劈 刀横 截面 的转 动惯 量和 剪切 变形 对高　
振动 ，
从 而将 超声 能量 传递 到键 合 界面 。
　 频振 动 的影 响 ，
根 据 Ｔｉ
ｍｏｓｈｅ
ｎｋｏ梁 理论 ，劈 刀 的　
横 向弯 曲波 动方 程　 为　

Ｅ
ｄ
　Ｙ　＋
ｐｄ
Ｓ（
Ｙ）
等－－ｐ
ｄ
Ｉ（
　）
（１
＋而Ｅ
ｄ）
　 ＋
　
Ｋ　
Ｇ　 ３ 一 ｏ
　 ㈦ 　
… 　
ｖ　

式中，
Ｚ（ｙ，
￡）为 劈 刀 横 向振 动 的位 移 函数 ；Ｊ（
　）为 劈 刀 横　
（ａ）换 能 系 统 组 成　
截 面 的转 动惯 量 ；
ｓ（　）为劈 刀 横 截 面 的 面 积　 为 劈 刀 材　
料密度 ；
Ｅａ为 劈 刀 材料 的 弹 性 模 量 ；
Ｇ 为 劈 刀 材 料 的 剪 切　
模量 ；
Ｋ　为 劈 刀 横 截 面 剪 切 力 分 布不 均 匀 系 数 ，
矩 形 截 面　
Ｉ压力　
时 Ｋ　＝ １
／１．２，
圆 形 截 面 时 Ｋ　一 １／１．１。
　
ｔ
　
… 动　
Ｄ舢 】
　 ２
　 有 限元 模 型　

利用 ＡＮＳＹＳ　
８．０平 台建 立 如 图 ２所 示 的换　
萋　 童
　 誊　 能 系统 有 限元模 型　］。整个 系统 由 ＰＺＴ压 电陶 瓷　
ｆ温 度　
片、
前后 盖 板 、
过 渡段 、
变 幅杆 及劈 刀等 部分 组成 。
　
（ｂ）键 合 点 局 部 图　
为 了简 化模 型 ，
建模 过程 忽略 了安 装肋 环 的影 响 ，
　
图 １ 热 超 声 引 线 键 合 系 统　
将 劈 刀 当成 实 心 圆柱 体 处 理 ，
而 且 暂 不 考 虑 一 些　
１．２
　 运 动 方 程　
间 隙因素 的影 响 。表 １和 表 ２为模 型 的材 料 特 性　
１．２．１
　 压 电方 程 　
参数 、
单 元类 型 以及模 型 的部分 尺寸 。
采 用扫 掠方　
压 电 陶瓷是 一 种 智 能材 料 ，当 受 到 电场 作 用　
法 网格划 分 模型 ，
整 个 模 型包 含 １９
　７１６个 单 元 及　
时发生 压 电效应 ，当 受 到力 作 用 时 发 生 逆压 电效　
３８；
９０５个 节 点 。
　
・　
】６】４　・
　
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热 超 声 引 线 键 合 换 能 系 统 振 动 特 性 仿 真 研 究 —— 隆 志 力　 吴 运新　 韩　 雷 等　

动 而损 耗所 传递 的超 声 能 量 ，
并 直 接 影 响 芯 片 与　
基板 的键 合质 量 。
　
３．１ 工 作 频 率 与 主 振 型 分 析　
仿真 计 算 得 到 ，
在 ０～２００ｋＨｚ频 率 范 围 内 ，
　
换能 系统 包 含 ３阶变 幅杆轴 向振动 与劈 刀径 向振　
动 的 模 态 ，其 固 有 频 率 分 别 为 ４４．２９１
ｋＨｚ、
　
６２．１
８９ｋＨｚ和 ８６．１５７
ｋＨｚ。图 ３为 利 用 正 弦 扫　
频 ＰＺＴ换 能器 的方 法测 试 得 到 的换 能 系 统 Ｂｏｄｅ
　
图，
表 ３为仿 真分析 与试 验 的对 比结果 ，
可 以看 出　
二者 吻合得 很 好 ，仿 真 误 差 可能 来 源 于 材 料 特性　
（ａ）换 能 系统 模 型　
误差 、
尺 寸测 量误 差 以及 有 限 元建 模 时简 化 了的　
一

些 细节 等 因素 。
　
２０　
一

３Ｏ　
—

号 －４
０　

（ｂ）单 元 划 分 及 约 束 加 载　 菩一
５０
　
馨　
图 ２　 换 能 系统 有 限元 模 型　 一

６０　

表 １
　 材 料 特 性 参 数 、单 元 类 型 及 部 分 尺 寸　
７Ｏ　
—

组 成　 材 料　 密度 ｐ
　 弹 性　 泊 松　 部 分 尺 寸　
部 分　 单 元　 类 型　 （
ｋ 模 量 Ｅ　
ｇ／
ｍ３）
　（ＧＰ 比　 （ｒ
ａｍ ）
　 ８Ｏ　
一

ａ）
　 ４Ｏ　 ５Ｏ　 ６Ｏ　 ７Ｏ　 ８Ｏ　 ９０　 １００　 ｌｌＯ　

外 径　 ｌ
３．４４
　 冁率 ｆ
　７ｋＨｚ
　
压 电　ＰＺＴ
陶 瓷 片　 ４
　Ｓｏｌ
Ｅｄ５
　 ７７００
　 内径　 ８．００
　
一

图 ３ 实 测 的 换 能 系统 Ｂｏ
ｄｅ图　
厚 度　 ｌ
４．８Ｏ
　
预 紧　 直 径　 ｌ
２．８Ｏ
　
螺 栓　 长 度　 ｌ
４．８Ｏ　 表 ３ 仿 真 与 实 测 的 固有 频 率 对 比　
前盖 板　 直径　 ｌ２．８Ｏ　 模 态 序 号　 仿 真 谐 振 频 率　 实测 谐 振频 率　 相 对 误 差 （％ ）
　
后盖 板　 长 度　 ５．１Ｏ　 （ｋＨ ｚ）
　 （ｋＨ ｚ）
　
不 锈 钢　Ｓｏｌ
ｉｄ４５
　 ７９３Ｏ
　 ２２６
　 ０．２８
　
安 装　 直 径　 ｌ
Ｏ．６６
　 ｌ４　 ４４．２９ｌ
　 ４９
　 ９
　
部 分　 长 度　 ４Ｏ．４７
　
２３　 ６２．１８９　 ６３　 １．２　
变幅 杆　 大 端 直 径　ｌＯ．６６
　
３２　 ８６．１５７　 ８３　 ３．８　
小 端 直径　３．０
０　
劈 刀　 ＡＩ
２Ｏ３
　 Ｓｏｌ
ｉｄ４５　 ４ＯＯＯ　 ３９３　 ０．２７　
直 径　 ｌ
＿５６
　 图 ４、图 ５及 图 ６分 别为 不 同谐振 频率下 的 ３
　
长 度　 ７．Ｏ５
　
阶变 幅杆 轴 向振 动与劈 刀径 向振 动 的模态 及 相应　
的位 移 振型 图 。当谐 振 频 率 为 ４４．２９１ｋＨｚ时 ，
变　
表 ２　 ＰＺＴ一 ４材 料 特 征 参 数　
幅杆 节 点 有 ２个 ，当 谐 振 频 率 为 ６２．１８９ｋＨｚ时 ，
　
介电常数矩阵 压电矩阵 ｅ
　
８　 （Ｃ／
ｍ ２）
　
弹性 矩 阵 ｃ（ＧＰａ）
　 变 幅 杆 节 点 为 ３个 ，当 谐 振 频 率 为 ８６．１
５７ｋＨｚ
　
时，
变 幅杆 节点 为 ４个 ，
而 劈 刀在这 三种 谐振 频率　
—

０
　 — ５．２
　 ０ —　 －１３９
　７４
　３　７７
　８　 一　

一 ７２８　５　 ０　 ０ —　
０　 ｌ　
５． １
　
０　 — ５　２　 ０　
０　 ｌｌ
　５　 ７４．３　
ｌ
　３９　
下 的 位 移节 点 只 有 １个 。从振 型 图可 得 到 ，通 过　
０　 ６３４．７　 ０　

Ｏ　 Ｏ　 ７２８　５　
ｌ　
２　７　

０　
０　

０　 ｌ
０　

　２．７　
２５．６　

２５　６　
换 能 系统 的放大 作 用 ，
劈 刀末 端 的位 移 都 得 到放　
０　 ０　 ０　 ３０　６　
大 。在 实 际键合 过程 中 ，当超 声 发 生 器 以 ６３ｋＨｚ
　
左 右 的 电 信 号 激 励 换 能 系 统 时 ，换 能 系 统 的　
３
　 结 果 与分 析　 ６２．１
８９ｋＨｚ的固有 频 率 ，即第 ２阶固有 频 率 被 激　
发而 成 为整个 系 统 的工 作 频率 ，其 相 应 的振 型成　
有 限 元 仿 真 结 果 发 现 ，换 能 系 统 在 ０～　
为工 作状 态下 的主振 型 。可见 ，
在键 合 过程 中 ，
换　
２００ｋＨｚ频 率范 围 内包 含 ５０种振 动 模 态 ，
其 中包　
能 系统 主要 以 ３个节 点变 幅 杆轴 向和 １个节 点劈　
括轴 向 、
弯曲、
扭 转 以及 多种模 态耦 合 等类 型 的振　
刀径 向振动 的模 态将 超声 能量 传递 到芯 片与 基板　
动模 态 。当受 到适 当 的外 部 激 励 信 号 时 ，这些 振　
的键合 界 面 。
　
动模 态都 有可 能 被 激 发 ，由此会 产 生 不 必 要 的振　
・　
１
　６］５
　・　
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中 国机 械工 程第 １７卷 第 １５期 ２００６年 ８月 上 半 月　

一
　 一
　 一
　 一
　
６　 ４ 　 ２ 　 Ｏ 　 ２　 ４　 ６ 　 ８ 　

（ａ）系统 振 动模 态　
（ａ）系 统 振 动 模 态　
Ｏ　

＼　
　
＿
一

５　

趟　
靛　
ｌ一１
０　
．

Ｅ　
罂　 Ｅ　
稃　 一

１５　

《　 一

２０　

馨　
橡 －
：
　
２５　
Ｒ　
橡　

３Ｏ　
—

０　 ２５　 ５０　 ７５　 １００ ——２０ ——１０　 ０　 １０　

变 幅杆长度 Ｌ。
／ｒ
ａｍ　 劈刀 质点振动相 对位移ｓ
ａ　 一

２Ｏ一 １Ｏ　 Ｏ　 １Ｏ　 ２Ｏ　

变 幅杆 长 度 Ｌ。／ｒ
ａｍ　 劈 刀 质 点 振 动 相 对 位 移　
（ｂ）变 幅 杆 系统 振 型　 （ｃ）劈 刀 振 型　
（ｂ）变 幅 杆 系 统 振 型　 （
Ｃ）劈 刀 振 型　
图 ４ 谐 振 频 率 为 ４４．２９１ｋＨｚ的 振 动 模 态 与 振 型　
图 ６ 谐 振 频 率为 ８６．１５７ｋＨｚ的振 动模 态 与振 型　

合条件 下 ，由于这 些 谐振 动 频 率 都 没 有远 离 工作　

频率 ，
它们 极有 可 能被激 发 ，
一旦这 些振 动模 态被　
激发 ，
将会 浪 费超声 能量 ，
并 破坏 芯片 与基板 之 间　
的正常键 合 ，
所 以这 些 振 动模 态在 工 作 情 况 下应　
该 被抑 制 。而抑 制 非 工作 模 态 ，
保 留单 纯 的 工作　
模 式 ，以提高 换能 系统 超声 能量传 递 效率 ，
实现 途　
径 包括 以 下 几个 方 面　 ：使 用 新 型 压 电陶 瓷 材　
（ａ）系 统振 动模 态　 料，
如 压 电复合 材料 ；
合理 控制 劈刀 与变 幅杆 的连　
Ｏ　
接方式 ；
进 一步 优化 换能 系统 的节点 安装 方式 ；
抑　
２．５　 制超 声发 生器 的谐 波成 分 。
　
一
　
＿

趟　 ，
　 Ｅ　
霞　 Ｅ 一 ５．Ｏ　 表 ４ 工 作 频 率 附近 的振 动 模 态 及 影 响　
罂　

Ｖ＼
　／　
稃　 －

７，５　 模 态　谐振 频 率　 振 动　
序 号　 （ｋＨｚ
）　 模 态　 对 芯 片 与 基 板键 合 的影 响　
《　
Ｒ 一 １Ｏ．０　
．

橡　 ２１
　 ５７
．８２０
　 弯 曲　 前 后 往 复 拉 扯 金 线 ，
使 金线 脱 离基 板　
馨　 一

１２．５　
２２
　 ６
０．０３３
　 扭 转　 变 幅 杆 “扭 弯 ”运 动 ，
卷扯 金 线　
１５．Ｏ　
—

０　 ５０　 １００　 ２Ｏ 一 １Ｏ　 ０　 １Ｏ　 ２Ｏ　 ２

４　 ６２ 弯 曲与　 破 坏 ＰＺＴ压 电陶 瓷 ， 　
４７
５　扭转 耦 合　 上 下 往 复 拉 扯 金 线　
一

变 幅 杆 长 度 Ｌｃ／
ｍｒ．　 劈 刀质点振动 相对位移 ５
ｄ　

（ｂ）变 幅 杆 系 统 振 型　 （ｃ）劈 刀 振 型　 ２５
　 ６３ 弯 曲 与　 破 坏 ＰＺＴ 压 电 陶 瓷 ，
　
．

４６８
　扭 转耦 合　 前 后往 复 拉 扯 金 线　
图 ５ 谐 振 频 率 为 ６２．１８９ｋＨｚ的 振 动 模 态 与 振 型　

４
　 结 论　
３．２ 工 作 频 率 附 近 的 振 动 模 态 分 析　
图 ７为 ５６～ ６４ｋＨｚ范 围 内提 取 换 能 系 统 在　 （
１）引线键 合 系 统 换 能 系统 包 含 多 阶变 幅 杆　
工作频 率 （６３ｋＨｚ）附 近 的振 动 模 态 。可 以 看 到 ，
　 轴 向与劈 刀径 向的振动 模态 。对 于本 研究 键合 系　
在工作 频 率 （
６３ｋＨｚ）附 近 ，
换 能 系统 的振 动 模 态　 统，
在 Ｏ～ １００ｋＨｚ范 围 内 ，换 能 系 统 包 含 ３阶 变　
非 常丰 富 ，
除 了纵 向振 动 之 外 ，系 统还 包 含 弯 曲 、
　 幅杆轴 向与 劈刀 径 向的 振 动模 态 ，而 实 际工 作 中　
扭转 及多 模态 耦 合 等类 型 ，表 ４详 细列 举 了这 些　 以第 ２阶 ６２．１
８９ｋＨｚ固有 频 率 的 振 动 模 态作 为　
振 动模 态及 对芯 片与 基板键 合 的影 响 。在 实 际键　 工 作状 态下 的 主振 型 ，即 以 ３个 节 点 变 幅杆 轴 向　
・　
１
　６１
　６　・
　
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热 超 声 引 线 键 合 换 能 系 统振 动 特性 仿 真 研 究 —— 隆 志 力　 吴 运 新　 韩　 雷 等　

种振 动模 态 ，
键 合 过 程 极 易 被激 发 而 表 现 出 多模　
态性 ，由此会 消耗 部 分 超 声 能量 且 对 芯 片 键 合界　
面 造成 负面 影响 ，
这些 振动 模态 必须得 到 抑制 。
　
（
３）通过 采用 新 型 压 电 陶瓷 材 料 （如 压 电复　
合 材料 ）、
合 理控 制 劈 刀 与 变 幅 杆 的连 接 方 式 、进　
一

步优 化换 能 系 统 的节 点 安 装 方 式 、抑 制 超声 发　
生器 的谐 波成 分等 方式 可有 效抑 制非 工作模 态 的　
影响，
提 高换 能 系统超 声能量 的传 递效 率 。
　

参考文献 ：
　
（ａ）谐 振 频 率 为 ５７．８２０ｋＨｚ的 模 态　
［１］ Ｏｒ
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ｃｏｎａｔｅ
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ｔａｎａｔ
ｅ／Ｅｐｏｘｙ　１—３　Ｐｉ
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ｏｍｐｏｓ
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ａｎ　Ｕ ｌ
ｔｒａｓｏｎｉ
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ｄｕｃ
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ｅｄ　ｆ
ｏｒ　Ｗ ｉ
ｒｅ　Ｂｏｎｄｉ
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［Ｊ］．Ｉ
ＥＥＥ　Ｔｒ
ａｎｓ
ａｃｔｉ
ｏｎｓ
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ｏｃｅｓ
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ｚａｔ
ｉｏｎ　ｆ
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１２５ｋＨｚ
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ｒｅ　Ｂ
ｏ ｎｄｅｒ
　Ｕｌ
ｔｒａｓｏｎｉ
ｃ　Ｔｒ
ａｎｓｄｕｃｅｒ
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Ｉ
ＥＥＥ　Ｔ ｒ
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—
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　Ａｃｏｕｓｔ
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Ｍａｃｈｉ
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Ｊｏｕｒ
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Ｍ ｏｄｅｌ
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ｍｕｌ
ａｔｉ
ｏｎ　ｏｆ
　Ｕｌ
ｔｒａｓｏｎｉ
ｃ／　

Ｓｏｎｉ
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ｉｌｌ
ｅｒ／Ｃｏｒ
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ａｎｓ
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ｔ
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［１Ｏ］ 隆 志力 ，
吴 运 新 ，韩 雷 ，
等 ．热 超 声 键 合 ＰＺＴ 阻 抗 和　
功 率 动 态 特 性 研 究 ［Ｊ］．中 国 机 械 工 程 ，２００６，１７
　
（４）：
２９３—
４００．
　

（编辑 郭 伟）
　

作者简介 ：
隆志 力，
男 ，１
９７６年 生 。 中 南 大 学 机 电 工 程 学 院 博 士　
（ｄ）谐 振 频 率 为 ６３．４６８ｋＨｚ的模 态　
研究生 、
讲 师 。 研 究 方 向 为 微 电 子 封 装 工 艺 。 发 表 论 文 １Ｏ篇 。
　
图 ７　 工 作 频 率 （
６３ｋＨｚ）附 近 的 振 动 模 态　
吴运 新 ，
男，１９６３年 生 。 中 南 大 学 机 电 工 程 学 院 教 授 、博 士 研 究　
振 动 与 １个 节点 劈 刀径 向振 动 的模 态将 超 声能 量　 生 导 师 。韩　 雷 ，
男 ，１
９５９年 生 。 中 南 大 学 机 电工 程 学 院 教 授 、
　
传递 至芯 片键 合界 面 。
　 博 士 研 究 生 导 师 。钟　 掘 ，
女，１９３６年 生 。 中 南 大 学 机 电 工 程 学　

（２）换 能 系统 工 作频 率 （６３ｋＨｚ）附 近 包 含 多　 院教 授 、
博 士 研 究 生 导 师 ，中 国工 程 院 院 士 。
　

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１６１７
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