维普资讯 http://www.cqvip.

com

第４
３卷第１
０期　 机　 械　 工　 程　 学　 报　 ｖ
０１＿
４３
　Ｎｏ
．１０
　
２００７ 年 １
　０ 月　 ＣＨＩ
ＮＥＳＥ　
ＪＯＵＲＮＡＬ　
ＯＦ　
Ｍ ＥＣＨ ＡＮＩ
ＣＡＬ　
ＥＮＧＩ
Ｎ ＥＥＲＩＮＧ　 Ｏｃ
ｔ．
　 ２
　０　
０　
７　

热超声键合换 能系统 阻抗／导纳模型水

　
隆志力　 吴运新　 韩　 雷　 段吉安　 钟　 掘　
（
中南大 学机 电工 程学 院 长沙 ４１
００８３）
　

摘要：采用等效电路方法建立换能系统的阻抗／
导纳集总参数模型 ，包含各子部分 的材料特性 、尺寸 、系统损耗 因　
子 、谐振频率 、激励 电信号 以及 不同负载 下系统阻抗和导纳等动力学特性 。以无键 合工具与有键合工具两种不 同　
负载为例计算得到，在 １
００　
ｋＨｚ范 围内系统包含 ４阶轴向谐振频率；相 比于无键合工具条件 ，有键合工具负载条件　
下的各阶谐振频率增大 ，其 电阻值增大 ，电导值降低。阻抗分析仪试验与有限元 分析结果均验证系统阻抗／
导纳模　
型的正确性。
　
关键词 ：阻抗／
导纳 等效 电路模型 换能系统 热超声键合　
中图分类号：ＴＮ１
４　
参 数之 间的关联 。本 文采 用等 效 电路方 法 建立换 能　
０ 前言　 系统各 子部 分机械 阻抗 ，建 立换 能系 统 的整 体 阻抗／
　
导纳模 型 ，构建 系统 阻抗／
导纳 与系统 材料 、尺 寸 、
　
在 热超 声芯 片键合 工艺 中 ，换能 系统 是引线 键　 谐振频 率及 不 同负载 之 间 的关 系 。最后 分析 换 能系　
合和 倒装 键合 系统 的核 心部 件 ，包括 电场 、力场 、
　 统在 不 同负载 下 的谐振 频率 、阻 抗与 导纳特 性 ，数　
声场 等 不 同物 理系 统 ，系统 振动特 性 相 当复杂 ，超　 值 计 算结 果得 到试验 与仿 真 的验证 。
　
声 能量输 出方 式直 接影 响芯 片与 基板 之 间的键合 质　
量 。 因此 ，研 究 与分析 换 能系统 的动 力学 行为 ，对　 １
　 系 统 组 成　
设 计合 理 的超 声能量传 递 路径 、系统 振动 模 式等 具　
有 重要 意义 【
ｌ
　Ｊ。
　 热超 声键 合工 艺原 理 为 ：在 一定 的超 声能 量 、
　
当前 ，换 能系统超 声振 动 的建模 方法 包括 解析　 压力 能量 、以及热 量 的相互 作用 下 ，芯片 金球 凸 点　
法 、 传递矩 阵法 、有 限元 法 以及 等 效 电路 法 。解析　 与 基 板 之 间 产 生 金 属 原 子 相 互 扩 散 ， 实 现 芯 片　
方法不适于多物理场的建模。传递矩阵法存在计算　 Ｉ
／Ｏ（
Ｉｎｐｕｔ
／Ｏｕｔ
ｐｕｔ
）端 口之 间的互 连 。热超 声键合 系统　
量 过 大 的缺 点［
４１
。有 限元法 是 分析 和 设计 换 能系统　 主要 由超 声 发生 器 、压 电晶片 、变 幅杆及 键合 工具　
的有 效方法　。
６Ｊ，但难 于获得 系统 的 阻抗 。等 效 电路　 等 部分组 成 ，如 图 ｌ所示 。超 声发 生器 的 电能量通　
方法 可 以建立 系统 阻抗 与各子 部件 材料特 性 、固有　 过 压 电晶片 的逆 压 电效应 转换 为轴 向机械 振 动 ，经　
频率等 参 数之 间 的关联 ，适合 于 系统 的整体 建模 。
　 过 变 幅杆 的放大 作用 ，再 经过键 合 工具转 化 为与 芯　
等 效 电路 方法 广泛应 用 于换 能器 设计 、超 声加工 及　 片 平行 的横 向振 动 ，键 合 工具末 端 带动 金线 与基板　
超 声焊接 等领 域 。美 国航 空 公司 ＳＴＥＷＡＲＴ 等【
７　Ｊ
　 发 生相 互摩擦 运 动 ，从而 将超 声 能量传 递到 键合 界　
采用 等 效 电路 方法 建立 用于 行星矿 物采 集 的超 声换　 面 。热超 声键 合 典型键 合参 数为 ：超 声频率 ６２　
ｋＨｚ，
　
能器 阻抗 模型 ，获 得系 统 的幅频 与虚 频 曲线 。赵 福　 压 力 ０．
６０Ｎ，温度 ２２０℃ ，键合 时 间 ５０ｍｓ。
　
令等 ［
９１
推 导 指数 形变 幅杆 频率 方 程和 放大 系 数 的一　
般 公式 ，为变 幅杆 的设 计提 供 了理论 论据 。顾煜 炯　
等【１０
１建 立超 声变 幅系统 的数 学模型 ，计算 超 声手术　
刀振 动 系统 的振 型及应 力分 布 。
　
键 合　
工 业界 一般 使用包 括 电感 、 电容 及 电阻 的系统　 工 具　
动 态 电参数 分析 换能 系统 的性 能 ，这 是 一种定 性方　
法 ，无 法 建立 系统 导纳与 材料特 性 、尺 寸及 频率等　
图 １
　 热超声芯片键合系统　

・ 国 家 自然科学 基金 （５０３９００６
４，５０６０
５０６
４）、 国家重 点基础 研 究发展 计　 ２ 换能系统阻抗／
导纳模 型　
划（ ９７
３计划 ，２００３ＣＢ７１６２０
２）、教育 部博 士点基 金（２００６０５３３０
６８）
和 长　
江 学者 创新 团队发 展计 划（ Ｉ
ＲＴ０５
４９）
资 助项 目。２００６１２０６收 到初稿 ，　
２００７０７２１收到修 改稿　 力 学 与 电学 系 统之 间 的等 效 电路 方法 于 １
９４６
　
 维普资讯 http://www.cqvip.com

２
００７年 １
０月　 隆 志 力 等 ： 热 超 声 键 合 换 能 系统 阻抗 ／
导 纳模 型　

年 由英 国人 ＭＡＳＯＮ提 出并 至今 沿用在 压 电换能 器　 ２．

１．２ 变幅 杆等 效 电路　
研 究领域 ，它 利用 力学 与 电学现象 存在 的规 律及 微　 圆锥 形变 幅杆波 动 方程 为㈣　
分 方程数 学表 述上 的相似 性 ，将 力学和 声 学系统 转　 １ ０ｓ Ｏｙ
Ｏ ＋ 一
ｘ　 Ｓｈ
—

　Ｏｘ　
＋七：
Ｏｘ　
—

　：０
　 （
３）
　
化 为 已熟悉 的 电路 系统 ，成 为研 究 多种物 理系 统 的　
有 效方法 。
　 式 中 ｙ（
ｘ，ｔ
）＝ｙ（
ｘ）ｅ
ｘｐ（
ｊｃｏ
ｔ）； ｋｈ为 声波 在 杆 件 传 递　
等效 电路方 法 的基 本 原 理 为【
１
　：对 于如 图 ２ａ
　 的波数，
ｋ　＝
　ｃ　，
ｃ　为变幅杆声速，
ｃ　＝４－
ｆ￣
／ｐｈ，
　
所 示 的杆件 ，通过 其 一维运 动方 程推 导变 换 ，将 杆　 Ｅ　为材 料复 弹性模 量 ， Ｐ　为变 幅杆密 度 。
　 为变　
件 变换 为如 图 ２ｂ的 Ｔ形等效 电路 图，其 中 Ｚ　、Ｚ，
　
幅 杆 的横 截 面面积 。
　
及 ｚ　为杆件 的机械阻抗 ，其与杆件本身的尺寸、材　 对 于 圆锥变 幅 杆，
　 ｈ（
　）＝Ｓｌ
（１一ａｘ）
　， Ｓ　为大　
料 参数 及杆 件 固有频 率有关 。因此可 得　
端面积，
　 ＝（
Ｍ －１
）／（
ＭＬｈ
），Ｍ ＝Ｒｌ
／Ｒ２，Ｒｌ
和　２
　
Ｚｈ　：Ｚ１
　＋　 兰
　 ±
　 ｆ
１１ 分 别为 大端和 小端 截 面半径 ，
　 为 杆件长 度 。
　
Ｚ３＋（
Ｚ２＋ＺＩ
　）
　
波 动方 程 式（
３）的解 析解 为　

ｙ
（ｘ）
：÷、
／
　（ｃｌ
　
ｓｉ
ｎ（
ｋｈ
　）＋Ｃ２
　
ｃｏｓ
（ｋｈ
　））
　 （
４）
　

（
ａ１任 一杆 件形 状　
位 置 的某 一质 点速度　
ｖ　）＝ｊｃ
ｏｙ（
ｘ）＝　

÷ （
ｃｌ　
ｓｉ
ｎ（ｋ
ｈ　）＋Ｃ２
　ｃ
ｏｓ（
ｋｈ　）
）　 （
５）
　
位置 的某 一质 点应 力　

（
ｂ）等 效 电路 图　 ｏ
ｒ
（　Ｅ
ｈ　：
　ｌ“　｛
Ｃ
【
　
Ｉ
　
　 Ｌ
　
ｃｏ
ｓ（
ｋｈ
　 一

图 ２ 任 一杆件及其等效 电路 图　

２．
１ 各 子部 分等效 电路　
２．
１．１
　 ＰＺＴ压 电 陶瓷等 效 电路　
ａ
ｓ
ｉ
ｎ
　（
ｋ
ｈｘ
）
　
１
　ｃ２
［
ｓ
ｉｎ
（
ｋｈ
Ｘ
）＋
　 ］
｝㈣　
因此　位 置 的截面 受力　
图 ３为根据 压 电方 程推 导得 到 的压 电陶瓷轴 向　
Ｆ（
　）＝ｃ
ｒ（ｘ）
Ｓｈ（
　）　 （
７）　
振动 的 等效 电路 ｌ
１
　。其 中 ， Ⅳ 为机 电耦 合 系 数 ，
　
Ⅳ ＜１； Ｃ　为压 电 陶瓷 的静态 电容 ，
　 为压 电陶瓷　 利用 边界 条件¨　：
　 ＝一Ｆ（
０），
　 ＝－Ｆ（
Ｌｈ），
　

的静 态 电阻 ，
　 通 常很 大 ，其影 响一般 不予 考虑 ；
　 Ｖｌ：ｖ（
Ｏ）， ｖ：＝一ｖ（
Ｌ　），将 圆截 面杆件 等效 为 Ｔ型　
ｔ和　 分 别 为压 电陶瓷 的厚度 和 截面积 ，ｎ 为 压 电　 等效 电路 图 ，如 图 ２ｂ所 示 。其 中， Ｚ１、Ｚ，及 Ｚ　与　

陶 瓷 的 片数 ； ｖ　为 压 电 陶 瓷 的声 速 ， ｋ
　为波 数 ，
　 材料 特性及 尺 寸有关 。
　

ｋ
。＝ｏ
）
／ｖ。，
　 ＝２
　；　３
ｓ
３、ｄ
３３及　品为压电陶瓷的　 １
　

］
＿
　Ｐ
ｈ
Ｃｈ
　
１
　
ｃ　
一 　

介 电常 数 、应 变常 数及 弹性顺 度 常数　 ｊ
ｋｈ

Ⅳ　
鲁争　 “
　 ｊ
ｓ
ｉ
ＰｈＣｈ　
ｚ　 ： ＿
ｎ（
—

ｋｈＬｈ）
　
（
８）
　
、
　

Ｚ
ｏ＝Ｐ
ｐＶｐ
Ｓｐ
　Ｖｐ
　（Ｃ／
ｐｐ
　 ｚ ＝ＰｈＣｈＳｌ
（
面　＋
　
ａＮ
）＿
面
Ｐｈ
Ｃ
ｈ
怨　
２．
１．３ 等截 面杆 等效 电路　
等截 面耦合 杆 是 圆锥 形变 幅杆 的特 殊形 式 ， 由　
圆锥形 变 幅杆 的机械 阻抗 表达 式可 得　

Ⅳ ：　 ：１
　 ：　 ：０　 ｆ
９）　
Ｒ２
　 ＮＬ　

图 ３ 压 电陶 瓷 轴 向振 动 的 等效 电路 图　 式 中　 为等截 面杆 长度 ，可得 等截 面杆 等效 电路 的　
 维普资讯 http://www.cqvip.com

１
６　 机 械 工 程 学 报　 第 ４３卷 第 １
Ｏ期　

机械 阻抗 为　 ，。则工 具边 界条件 简化 为 如下形 式 。 　

０位 置 ，扰 度 为 ０，即 Ｙ　
：
（０）＝Ｙｏ；
　
江　 一　 ＝
０位置，转角为 ０，即　：
（０）＝０；
　
：
，位置 ，弯矩 为 ０，即　 ｔ
（１）＝０；
　
： 盟 　 ：
，位置 ，剪 力 为 ０，即　 ，
）：０；
　
Ｉ
　 ｊ
ｓｉ
ｎ（ｋ
　Ｌ　
）　
可 得键合 工具 的输 入机械 阻抗　
式 中　 为截 面积 。
　
２．
１．４ 键合 工具 等效 电路　 ｚ　－Ｚ（
　 ＝ｊ
　 ×
　
当系 统处 于有键 合工 具条 件下 时 ，将键 合工 具　
（
图 ４）当成 均质 欧拉梁 。欧拉 梁扰度 曲线 微分 方程 式　 １＋　
ｃｏｓ
ｈ（２１
　 ）ｃ
ｏ　
ｓ（
２１）
　 （１
４…
）　
为㈣ 　
ｄ４ｙ（
ｘ） ２．
２ 换 能系 统阻抗 ／
．
导纳 模型　
—丁
了
４
一＾　ｙｌ
（
ｘ、
）：０
一

ｕ　　

（ｌ
Ｌ１ｌ
１
）
Ｊ　
假 设换 能 系统 满足 ：压 电陶瓷 一变幅 杆 一工 具　
，

式中　 ＝竺　 各 部分 耦合 良好 ；安 装环 没 有 影 响超 声能 传递 ；系　

，
　 为键合 工具 密度 ，
　 ｔ
为横 截面　
统 材料 与 尺寸 不 随着 外 界 改变 而 改变 ，则在 一 定 的　
积 ， Ｅ　
Ｉ为弯 曲刚度 ， Ｅ　为键 合工 具弹 性模量 。
　 电信 号激 励下 ，换 能系 统可 当成线 性 系统 。在 以上　
各 子部 分 阻抗 的基础 上 ，建立 换 能 系统超 声 振 动 的　
等 效 电路 图 ，如 图 ５所 示 。其 中，后 盖板 、压 电陶　
瓷 、前 盖 板 、以及 过渡 段 均 为等 截 面杆 ，其 机 械 阻　
抗 由式（１
０）所 示 ，而 圆锥变 幅杆 的机械 阻 抗 由式（
８）　
所 得 。假 设 键 合 工 具 的输 入 阻 抗 为 Ｚ　。对 于 不 同　
的 键合 条 件 ， ｚ　具 有 不 同的 表 达 形 式 ： 当系 统 没　
有键 合 工具 时 ，Ｚ　＝０。当系 统有 键 合工 具但 空载　
图 ４ 键 合 工 具　 工 作 时， ｚ　如 式（１
４）所 示 。当系统 有 工具 且键 合 工　

式（
１１）
的通 解 为　
作时， ｚ　为键合工 具本身与键合界面的等效机械　
阻抗。
　
Ｙ　
（　）＝Ａｓｉ
ｎ（２ｘ）＋Ｂｃ
ｏｓ（
２ｘ）＋　
由此 ，圆锥变 幅杆 输入 机械 阻抗 为　
Ｃｓ
ｉｎｈ（
２ｘ）＋Ｄｃ
ｏｓｈ（
２ｘ）
　 （
１２）
　
ｚ　＿Ｚ　＋　 （１
５）　
可得 欧拉梁 的转 角 函数　
Ｙｉ
（Ｘ）＝２（
Ａｃｏｓ
（２ｘ
）一Ｂｓ
ｉｎ（
２ｘ）
＋　 安装环 等截 面段 机械 阻抗 为　
Ｃｃｏｓ
ｈ（２ｘ）＋Ｄｓ
ｉｎｈ（
２ｘ）
）　 （
１３）
　
（
１６）
　
假 设键合 工具 输入 位移振 幅 为 Ｙ。，工 具长度 为　

后盖板　 ｌ
　 压 电晶片　 ｌ
　 前盖板　 ｌ
　 过渡段　 ｌ
　 圆锥杆　 ｌ工具　

图 ５ 换能系统超 声振动的等效 电路图　

 维普资讯 http://www.cqvip.com

２０
０７年 ｌ
Ｏ月　 隆志力等：热超声键合换 能系统阻抗／
导纳模型　 １
７　

月Ｕ盂 枚 机 械 ｐ
且玩 为 　 表 １ 材料特性参数、单元类型及部分尺寸　

此 时 ，Ａ位 置右 边 的机 械 阻抗 为　

Ｚ　
＝Ｚ；＋Ｚ
　＋Ｚｆ
　
Ａ 位 置左边 的机械 阻抗 为　
１
　 ３
　
２＋　
（１
）无 键合 工 具 。此 时 ，换 能 系统 等 效 电路 图　
中，Ｚ　＝０。从导纳模型计算换能系统在无键合工　
因此 ，换 能 系统 的总机械 阻抗 为　 具条件 下 的 电导 、电纳及 导纳 圆 图，如 图 ７所 示 。
　

数 值 计算　
和 　
— —

实测　
＿ 　

换 能 系统等 效模 型如 图 ６所 示 ，它 由静态 支路　

一 　

ｎＣ。和 动态支 路 Ｎ　Ｚ　组 成 。换 能 系统 的 电阻抗 为　 西　

一 　

Ｉ
　 Ｚ
： 　
＿Ｒｅ
（Ｚｅ
）　 （
Ｚｅ） （
２１）
　
ｃ　 ＋ Ｎ　Ｚ　

Ｉ
　
一 　

式中 Ｚｃ
ｏ　丽１
　
． ．
　 　
． 　
．

频 率 ｆ／
ｋＨｚ
　
则系 统 电导 纳 为　 （
ａ１电导 图　

。
＝
÷　 （
２２）
　

式（
２１）、（
２２）分别 为 换 能 系 统 的 阻抗 与 导 纳 模　
∽ 　

型 ，其包 含压 电陶 瓷 、变幅 杆 、以及 键合 工具等 部　 话　

蛋　
分 的材料 特性 、尺 寸 、系统 损耗 因子 、系统 谐 振频　
率 、压 电陶瓷端 激励 电压 和 电流 以及 系统 阻抗／
导纳　
特 性等 系统动 力学 特性 。
　

频率 ｆ／
ｋＨｚ
　
２ｚｍ　
ｆ
ｂ１电纳 图　

图 ６ 换 能系统等效模型　

∽ 　

菌　
３ 数值计算及验证　 蛋　

３．
１ 计算 及试验 结果　
以无键 合 工具和 有键合 工 具为 实例 ，计算 这 两　
种 不 同负载 下系 统 的谐振频 率及 导纳 特性 ，表 １为　
材 料特 性参 数 、单元 类型 及部 分 尺寸 。使用 阻抗 分　 电导 Ｇ／
Ｓ　

析 仪对换 能 系统进 行扫 频试验 ，试 验基 本参 数 ：起　 （

ｃ）导纳圆图　

始 频 率为 ２０ｋＨｚ，终止 频率 １
００ｋＨｚ，步距 ５
　Ｈｚ。
　 图 ７ 无键合工具时 的系统导纳特性　
 维普资讯 http://www.cqvip.com

１
８　 机 械 工 程 学 报　 第４
３卷第 １
０期　

从 图可 得 ，在 １
００ｋＨｚ范 围 内系 统 由 ２４．
５３０　ｋＨｚ、
　 ３．
２ 有 限 元法验 证　
４８．
５１２
　ｋＨｚ、６１
．８１
　ｋＨｚ以及 ８７．
３５８
　ｋＨｚ等 ４阶轴 向　 利 用有 限元法 ，在 Ａｎｓ
ｙｓ平 台对 换 能系统 建立　
振 动谐 振频 率组 成 。表 ２列 出 了数 值计 算与 阻抗分　 有 限元模 型 ，系统 包含 １
９７１
６个 单元及 ３８９０５个节　
析 仪 扫频试验 结果 的对 比，可 见二 者吻合 得 比较好 。
　 点，采用 Ｂｌ
ｏｃｋ　
Ｌａｎｃｚ
ｏｓ方 法计 算系 统振 动模 态 。从　
（
２）有 键合 工 具 。此 时 ， ｚ　为 式 （
１４）
所 示 ，代　 表 ２对 比得到 ，有 限元 方法 与等效 电路 方法 的计算　
入 系统 导 纳模 型 可 得 到如 图 ８所 示 的 电导 、 电纳　 结 果 比较 一 致 ，验 证 了系 统 阻 抗 ／导 纳 模 型 的 正　
以及 导 纳 圆 图 。可得 ， 当 系 统 处 于 有 键 合 工 具 负　 确性。
　
载 时 ，各 阶 谐 振 频 率 增 大 ，相 应 的 电阻 值 增 大 ，
　 表 ２ 等效 电路方法 、扫频实测与　
电导值 变 低 ，从表 ２可 以得 到 ，数 值 计 算 与 阻抗　 有 限 元 法计 算结 果 的对 比　

分 析 仪 扫频 试 验 结 果相 吻 合 。
　

无　
键　
曲　
１ 　 合　
２ 　 ３ 　 ４ 　

工　
阶 阶 阶 阶　
具　
５ 　 驰
５ 　
　 ００　 盯
１Ｊ　
　
３ 　 １ 　 １ 　 ５ 　
０ 　 ２ 　 ０ 　 ８ 　

●　 ６　 ４‘　
， ６　
１ 　 ４ 　 ８ 　 ３ 　

０ 　 ３ 　 ２ 　 ５ 　
５ 　 ０ 　 ０ 　 ０ 　

频率 ｆ／
Ｉｄ－
Ｉｚ
　

（
ａ）电导 图　
ｍ
　仍　
９ 　
４　 结 论　
５ 　
８ 　
２
３
２ 　
　
　 ５ 　
４ 　
５ 　 ７ 　 ５ 　 ５ 　
５ 　 ０ 　 ０ 　 ０ 　

２ 　 ４ 　 ６ 　 ８ 　
６
１
　
　
５
３
　
　
基 于 等 效 电路 方 法 的阻 抗／
● 　
２ 　
６
６
　
　
导 纳 模 型 是研 究 换　
１
０ 　 ０
２ 　 １ 　
３ 　 ２
１ 　

能 系统动 力学特 性 的有 效理 论依据 。

　
（
１）采 用等 效 电路 方 法建 立热 超 声键 合 系 统 的　
２ 　 ２ 　 １ 　 ９ 　

４ 　 ５ 　 ３ 　 ４ 　
７ 　 ４ 　 ０ 　 ０ 　

换 能系 统 阻抗／
导纳 模型 ，模 型包含 压 电陶 瓷、变 幅　
３ 　 ９ 　 ５ 　 ５ 　
５ 　
７ 　
杆 、以键合 工 具等部 分 的材料特 性 、 尺寸 、系统 损　
５ 　
４ 　
２ 　
０ 　
３ 　
０ 　

耗 因子 、系统 固有频 率 、系 统导纳特 性 以及 激励 电　

压和 电流 等 系统动 力学特 性 的丰 富信 号 ，建立 了系　
统 阻抗／
导 纳与 各部分 尺寸 、材 料 以及 负载 等参 数之　
频 率 ｆ／
ｋＨｚ　
间的关联 。
　
（
ｂ）电纳 图　
（
２）基于 阻抗／
导纳 模型 ，数 值计 算得 到无 键合　
工 具 与有键 合工 具两 种不 同负 载条 件下 系统 的 固有　
频 率 分布 以及 相应 的导纳 值 。结果 为 ，在 １
００ｋＨｚ　
范 围 内系统 包含 ４阶轴 向谐 振频 率 ；相 比于无键 合　
工 具条件 ，有 键合 工具 条件下 的换 能系统 各阶谐 振　
频率 与相 应 阻抗增 大 。实测 结 果及有 限元 计算 均验　
证 了 阻抗／
导纳模 型的正确 性 。
　

参 考 文 献　

［１
］ＲＡＯ　Ｒ　 Ｍｉ
ｃｒｏｅｌ
ｅｃｔ
ｒｏｎｉ
ｃｓ　ｐａｃｋａ
ｇｉｎｇ　ｈａｎｄｂｏｏｋ［
Ｍ］．
　
电导 Ｇ／
Ｓ　 Ｎｅｗ 、
　Ｉｒ
ｋ：Ｍ ｃＧｒ
ａｗ．
Ｈｉｌ
ｌ　Ｐｕｂｌ
ｉｓｈｅｒ
，２００１
．　

（
ｃ）导纳 圆图　 ［
２］ＫＡＮＧ　
Ｓ　 Ｗ Ｉ
ＬＬＩ
ＡＭＳ　Ｐ　Ｍ，ＬＥＥ　
Ｙ　Ｃ．Ｍｏｄｅｌ
ｉｎｇ　ａｎｄ　
‘
　

图 ８ 有键合工具时的系统导纳特性　 ｅｘｐｅｒ
ｉｍｅｎｔ
　ｓｔ
ｕｄｉ
ｅｓ　ｏｎ　ｔ
ｈｅｒ
ｍｏｓｏｎｉ
ｃ　ｆ
ｌｉｐ　ｃｈｉ
ｐ　ｂｏｎｄｉ
ｎｇ［
Ｊ］．
　
 维普资讯 http://www.cqvip.com

２０
０７年 ｌ
０月　 隆 志 力 等 ： 热 超 声键 合 换 能 系 统 阻 抗／
导纳 模 型　

Ｉ
ＥＥＥ　 Ｔｒ
ａｎｓ
ａｃｔ
ｉｏｎｓ
　 ｏｎ　 Ｃｏｍｐｏｎｅｎｔ
ｓ， Ｐａｃｋａｇｉ
ｎｇ　 ａ
ｎｄ　 【
ｌ３］应 崇福 ．超声学【
Ｍ］．北京 ：科学 出版社 ，１
９９０．
　
Ｍａ
ｎｕｆ
ａｃｔ
ｕｒ
ｉｎｇ　
Ｔｅｃ
ｈｎｏｌ
ｏｇｙ－
Ｐａｒ
ｔ　Ｂ，ｌ
　
９９５，ｌ
　８（
４）：７２８－
７３３．
　 【
ｌ４］倪 振华．振动力 学［
Ｍ］．西安：西安交通 大学 出版社 ，
　

【
３］ＯＲ　
Ｓ　Ｗ ，ＣＨＡＮ　
Ｈ　Ｌ　
Ｗ ，ＬＯ　Ｖ　
Ｃ，ｅｔ
　ａ１
．Ｄｙｎａｍｉ
ｃｓ　
ｏｆａｎ　 ｌ
９８９．
　

ｕｌ
ｔｒａｓｏｎｉ
ｃ　ｔ
ｒａ
ｎｓｄｕｃｅｒ
　ｕｓｅｄ　ｆ
ｏｒ　ｗｉ
ｒｅ　ｂｏｎｄｉ
ｎｇ［
Ｊ］．ＩＥＥＥ　
Ｔｒａ
ｎｓａｃｔ
ｉｏｎｓ
　ｏｎ　
Ｕｌｒａｓ
ｔ ｏｎｉ
ｃｓ，Ｆｅｒ
ｒｏｅｌ
ｅｃｔ
ｒｉｃｓ
　ａｎｄ　
Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ　 Ｉ
Ｍ ＰＥＤＡＮ ＣＥ／
ＡＤ Ｍ ＩＴＴＡＮＣＥ　
Ｍ ｏＤＥＬ　
ｏＦ　
Ｃｏｎｔ
ｒｏｌ
，１９９８，４５（
６）： ｌ
　４５３－ｌ
　４６０．
　 ＵＩ
　 ＲＡＳｏ ＮＩＣ　
ＴＲＡＮＳＤＵＣＥＲ　
ＳＹＳＴＥＭ 　
【
４］梁 召峰，林 书玉．余弦形 过渡段阶 梯形变 幅杆研究 ［
Ｊ］．
　 ＩＮ　
ＴＨ ＥＩ　 ｏＳｏ ＮＩＣ　
ＢｏＮＤＩＮＧ　

陕西 师 范 大 学 学 报（自然 科 学版 ）
，２０
０３，３ｌ
（４）
：３２．
３５．
　
【
５］ＰＡＲＲＩ
ＮＩ　Ｌ．Ａｄｖａｎｃｅｄ　ｐｒｏｃｅｓｓ
　ｃｈａｒ
ａｃｔ
ｅｒ
ｉｚａｔ
ｉｏｎ　ｆ
ｏｒ　１
　
２５　 ＬｏＮＧ Ｚｈｉ
ｌｌ　 ＷＵ Ｙｕｎｘｉ
ｎ　 ＨＡＮ Ｌｅｔ
　

ｋＨｚ　
ｗｉｒ
ｅ　ｂｏｎｄｅｒ
　ｕｌ
ｒａｓｏｎｉ
ｔ ｃ　ｒａ
ｔｎｓｄｕｃｅｒ
ｓ［Ｊ
］．Ｉ
ＥＥＥ　
Ｔｒｎｓ
ａ ａｃ・
　 ＤＵＡＮ Ｊｉ
ａｎ　 ＺＨｏＮＧ　
Ｊｕｅ　

ｔ
ｉｏｎｓ
　ｏｎ　
Ｕｌｒａｓ
ｔ ｏｎｉ
ｃ，Ｆｅ
ｒｒｏｅｌ
ｅｃｔ
ｒｉｃｓ
　ｎ ｄ　
ａ Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ　
Ｃｏｎｔ
ｒｏｌ
，　 （
Ｃｏｌ
ｌｅｇｅ　
ｏｆＥｌ
ｅｃｔ
ｒｏｍｅ
ｃｈａｎｉ
ｃａｌ
　Ｅｎｇｉ
ｎｅｅｒ
ｉｎｇ，Ｃｅ
ｎｔｒ
ａｌ　
２００１，４８（
６）： ｌ
　６３２－ｌ
　６３９．
　 Ｓｏｕｔ
ｈ　Ｕｎｉ
ｖｅｒ
ｓｉｔ
ｙ，Ｃｈａｎｇｓｈａ　
４１　
００８３）
　
【
６］ＡＨＭＥＤ　Ｍ　Ｈ，ＹＯＵＳＳＥＬ　Ｈ　Ａ．Ｃｏｍｐｕｔ
ｅｒ－
ａｉｄｅｄ　ｄｅｓ
ｉｇｎ　
ｏｆ　ａｃｏｕｓ
ｔｉｃ　ｈｏｒ
ｎｓ　ｆ
ｏｒ　ｕｌ
ｒａｓ
ｔ ｏｎｉ
ｃ　ｍａ
ｃｈｉ
ｎｉｎｇ　ｕｓｉ
ｎｇ　ｆ
ｉ・　 Ａｂｓｔ
ｒａｃｔ： Ａｎ　
ｉｍｐｅｄａ
ｎ ｃｅ　
ｎ ｄ　
ａ ａｄｍｉ
ｔｔａ
ｎｃｅ　
ｍｏｄｅｌ
　ｏｆ
　ｒａ
ｔｎ ｓｄｕｃｅｒ
　

ｎｉ
ｔｅ・
ｅｌｅｍｅｎｔ
　ａ
ｎ ａｌ
ｙｓｉ
ｓ［Ｊ］
．Ｊｏｕｒ
ｎａｌ
　ｏｆ
　Ｍａｔ
ｅｒ
ｉａｌ
ｓ　Ｐｒ
ｏｃｅ
ｓｓｉ
ｎｇ　 ｓ
ｙｓｔ
ｅｍ，ｗｈｉ
ｃｈ　ｉ
ｎｃｌ
ｕｄｅｓ
　ｓｙｓ
ｔｅｍ　ｆ
ｅａｔ
ｕｒｅｓ
　ｓｕｃｈ　ａｓ
　ｍａｔ
ｅｒｉａｌ
，ｓｉ
ｚｅ，
　

Ｔｅｃ
ｈｎｏｌ
ｏｇｙ，ｌ
　
９９５．５５： ２５４－
２６０．
　 ｌ
ｏｓｓ
　ｆａｃｔ
ｏｒ，ｒ
ｅｓｏｎａ
ｎ ｃｅ
　ｆｒ
ｅｑｕｅｎｃｙ，ｅｘｃｉ
ｔｉｎｇ　ｅｌ
ｅｃｔ
ｒｉｃａｌ
　ｓｉ
ｎ ａｌ
ｇ 　ａ
ｎ ｄ　

【
７］ＳＴＥＷＡＲＴ　Ｓ，ＢＥＮＪ
ＡＭ Ｉ
Ｎ　Ｐ＇ＹＯＳＥＰＨ　
Ｂ　Ｃ．Ｍｏｄｅｌ
ｉｎｇ　
ｏｆ　 ｄｉ
ｆｅｒ
ｅｎｔ
　ｌｏａｄｓ，ｉ
ｓ　ｅｓ
ｔａｂｌ
ｉｓｈｅｄ　
ｂｙ　
ｅｑｕｉ
ｖａｌ
ｅｎｔ
　ｃｉ
ｒｃｕｉ
ｔ　ｍｅ
ｔｈｏｄ．Ｆｏｒ
　

ｈｏｒ
ｎｓ　ｆ
ｏｒ　ｓ
ｏｎｉ
ｃ／ｕｌ
ｒａｓ
ｔ ｏｎｉ
ｃ　ａｐｐｌ
ｉｃａｔ
ｉｏｎｓ［
Ｃ］／
／ＩＥＥＥ　Ｕｌ
ｒａ－
ｔ 　 ｔ
ｗｏ　ｄｉ
ｆｅｒ
ｅｎｔ
　ｌｏａｄｓ
　ｗｉ
ｔｈ／
ｗｉｔ
ｈｏｕｔ
　ｂｏｎｄｉ
ｎｇ　ｔ
ｏｏｌ
，ｔｈｅ
　ｉｍｐｅｄａｎｃｅ　

ｓ
ｏｎｉ
ｃｓ　
Ｓｙｍｐｏｓ
ｉｕｍ，Ｌａｋｅ　
Ｔａｈｏｅ，Ｃａ
ｎ ａｄａ，ｌ
　
９９９： ６２　
ｌ－６２６．
　 ｎ ｄ　ａｄｍｉ
ａ ｔａｎｃｅ
　ｏｆ　
ｒａ
ｔ ｎｓ
ｄｕｃｅｒ
　ｓｙｓｔ
ｅｍ　ａ
ｒ ｅ　ｃａｌ
ｃｕｌ
ａｔｅｄ　ｂａｓ
ｅｄ　ｏｎ　

【
８］ＢＡＯ　Ｘｉ
ａｏｑｉ
，ＹＯＳＥＰＨ　Ｂ　Ｃ，ＣＨＡＮＧ　Ｚ．Ｍｏｄｅｌ
ｉｎｇ　ａ
ｎ ｄ　 ａｂｏｖｅ
　ｍｏｄｅ１
．Ｔｈｅ　
ｎｕｍｅｒ
ｉｃａｌ
　ｃｏｍｐｕｔ
ａｔｉ
ｏｎｓ
　ｓｈｏｗ　
ｔｈａ
ｔ，ｔ
ｈｅｒ
ｅ　ｒ ｅ　
ａ

ｃｏｍｐｕｔ
ｅｒ　ｓｉ
ｍｕｌ
ａｔｉ
ｏｎ　ｏｆ
　ｕｌ
ｒａｓｏｎｉ
ｔ ｃ／ｓ
ｏｎｉ
ｃ　ｄｒ
ｉｌｌ
ｅｒ／
ｃｏｒｅ
ｒ［Ｊ
］．
　 ｆ
ｏｕｒ
　ａｘｉ
ａｌ　ｖｉ
ｂｒａｔ
ｉｏｎ　ｍｏｄｅｓ
　ｏｆ　
ｒａ
ｔ ｎｓ
ｄｕｃｅｒ
　ｓｙｓ
ｔｅｍ　ｉ
ｎ　１
　
００　ｋＨｚ．
　

Ｉ
ＥＥＥ　Ｔｒ
ａｎｓ
ａｃｔ
ｉｏｎｓ
　ｏｆ
　Ｕｌ
ｒａｓｏｎｉ
ｔ ｃｓ，Ｓｏｎｉ
ｃｓ　ａ
ｎ ｄ　
Ｆｒｅ
ｑｕｅ
ｎｃｙ　 Ｃｏｍｐａ
ｒｉｎｇ　
ｔｏ　
ｎｏ－
ｔｏｏｌ
　ｃｏｎｄｉ
ｔｉｏｎ，ｅ
ａｃｈ　
ｒｅｓ
ｏｎａ
ｎ ｃｅ
　ｆｒ
ｅｑｕｅｎｃｙ　
ｎ ｄ　
ａ

Ｃｏｎｔ
ｒｏｌ
，２００３，５０（
９）： ｌ
　１４７・ｌ
　１６０．
　 ｉ
ｔｓ　ｉ
ｍｐｅｄａｎｃｅ　ｉ
ｎｃｒ
ｅａｓ
ｅ　ｗｈｅｎ　ｗｉ
ｔｈ　
ｂｏｎｄｉ
ｎｇ　ｔ
ｏｏ１
．Ｔｈｅ　
ｒｅｓ
ｕｌｔ
　ｏｆ　

【
９】赵福令，冯冬菊 ，郭 东明，等．超声变幅杆 的四端 网络　 ｓ
ｗｅｅ
ｐｉｎｇ　
ｍｅａｓ
ｕｒｅｍｅｎｔ
　ｂｙ　
ｉｍｐｅｄａ
ｎ ｃｅ
　ｎ ａｌ
ａ ｙｚｅｒ
　ａｎｄ　
ＦＥＭ　
ｍｏｄｅｌ
　

法设计［
Ｊ］．声 学 学报 ，２０
０２，２
７（６
）：５５
４－５
５８．
　 ｒｅ
ａ 　
ｕｓｅｄ　
ｔｏ　
ｖｅｒ
ｉｆｙ　
ｔｈｅ　
ｉｍｐｅｄａｎｃｅ／
ａｄｍｉ
ｔｔａｎｃｅ
　ｍｏｄｅ１
．　

【
ｌ０】顾 煜 炯 ，周 兆 英 ，姚 健 ．超 声振 动 系统 的 四端 网络 设 计　 Ｋｅｙ　
ｗｏｒｄｓ： Ｉ
ｍｐｅｄａ
ｎｃｅ／
ａｄｍｉ
ｔｔａｎｃｅ
　 Ｅｑｕｉ
ｖａｌ
ｅｎｔ
　ｃｉ
ｒｃｕｉ
ｔ　ｍｏｄｅｌ
　

方法及其应用［
Ｊ］．机械工程学报 ，１
９９７
，３３（
３）：９
４－１
００．
　 Ｕｌ
ｒａｓ
ｔ ｏｎｉ
ｃ　ｔ
ｒａｎｓｄｕｃｅｒ
　 Ｔｈｅｒ
ｍｏｓ
ｏｎｉ
ｃ　ｂｏｎｄｉ
ｎｇ　

【
ｌ１］左鹤声．机械阻抗方法与应用【
Ｍ］．北京：机械 ｌ，
ｌｋ，
ｍ，
版　 作 者 简介 ：隆志力 ，男 ，１
９７６年 出生 ，博士研 究 生 ，讲师 。主 要研究 方　

社 ， ｌ９８７．
　 向为 微 电子封 装工 艺及 装备研 究 。
　

【
ｌ２］张福 学．压 电学 【
Ｍ］．北 京 ： 国防 ｌ ，
ｌｋ，
ｍ，
版社， １
９８４．
　 Ｅ—
ｍａｉ
ｌ：ｌ
ｏｎｇｚ
ｈｉｌ
ｉ＠ ｍａ
ｉｌ．
ＣＳＵ．
ｅｄｕ．
ｃｎ