ALUMNOS: Jess Javier Alcntar Pea Martn Jimnez Moreno Rodolfo Rodriguez Davila

En la microscopa ptica, fsicamente se desplazaba las lentes de forma vertical con el propsito de controlar la intensidad de iluminacin y enfocar la magnificacin de la imagen. Para ese caso la distancia focal de una lente ptica est fija.

En los microscopios electrnicos, la posicin de las lentes son fijas, y el enfoque se lleva a cabo mediante el cambio de la fuerza electromagntica de los mismos. Adems se emplean aperturas en los lentes para el control de la corriente de electrones y la convergencia del haz sobre la muestra.

Las lentes electromagnticas son empleadas para demagnificar la imagen hacia un punto que finalmente tiene un dimetro de 10 nm. Los electrones son enfocados mediante campos magnticos, pero los microscopios emplean electrones dado que tienen menos aberraciones.

Los electrones en un campo magntico homogneo tienen componentes de velocidad paralelas al campo, mientras estas no viajen a 90 de la direccin de B, esto es provocado por la fuerza de Lorentz, la cual limita el movimiento de los electrones en un sentido.

fuerza de Lorentz es la fuerza ejercida por el campo electromagntico que recibe una partcula cargada o una corriente elctrica

Al salir el rayo de electrones, este conlleva cierta divergencia y dispersidad, por lo cual debe ser colimado y renfocado

Conforme la cantidad de corriente aumente en el primer lente, la longitud focal disminuye y, en consecuencia, el dimetro del rayo disminuye. Disminuye el tamao del rayo, pero con una considerable

perdida de electrones, lo que se traduce en un menor ataque de electrones secundarios, es decir, se pierde resolucin
Un valor pequeo de Longitud focal provoca una alta divergencia del rallo, teniendo como consecuencia que existan muchos electrones dispersados que no entran a ala siguiente fase.

La apertura tiene el objetivo de ayudar en la diminucin del tamao del rayo, reduciendo la aberracin esfrica al excluir los electrones que se encuentran en la periferia.

Si se cuenta con mas de un lente de condensacin, este tendr el mismo objetivo que el primero.

CONDENSADOR

En (a) no hay corriente, por lo tanto el rayo esta desenfocado, (b) corriente pequea, la longitud del foco es grande, (c) corriente grande, la longitud del foco esta optimizada

Es el lente mas fuerte y hace la de-magnificacin final del rayo de electrones. Tiene como objetivo ajustar el tamao del rayo sin perdida de electrones. Esta constituido por dos juegos de bobinas deflectoras y un astigmador. Las bobinas deflectoras estn conectadas a un generador de barrido para rastrear el rayo de electrones a travs de la muestra.
Con el rastreo no solo se mueve el rayo en el eje XY, si no que tambin lo mueve en el eje Z.

Aperturas pequeas son usadas para generar una densidad de electrones menor en el rayo, con el objetivo de disminuir la generacin de electrones secundarios. Aperturas grandes. Son usadas para generar rayos con gran numero de electrones. Se debe de tener cuidado ya que esta gran cantidad de energa puede daar muestras frgiles. Las aperturas son importantes ya que no solo afectan al tamao y la corriente del rayo, si no que tambin afectan la profundidad del campo y disminuyen la aberracin esfrica.

La gran ventaja en SEM es la gran profundidad de foco (D). Dentro de la regin D, la imagen ser ntida, esta regin es la profundidad de campo y foco. Por encima o por debajo de D/2, el dimetro del haz es dos veces mayor a la del pixel para la magnificacin empleda. Por lo tanto, cada pixel afecta al vecino, superponindose y obteniendo una imagen borrosa.

Los factores que determinan la profundidad de campo son los siguientes (para ngulo muy pequeo): tan ) ( Por trigonometra: 2 = = 2 Donde A es apertura diametral, P es dimetro de pixel, D es profundidad de foco/campo y W es la distancia de trabajo.

Asumiendo que la distancia de trabajo se mide en milmetros y que el dimetro de pixel es P = 100 um/Mag: 200 = = 2 103 Despejando: 4 105 = Para incrementar profundidad de campo: -Reducir la abertura final de los lentes A. -Reducir la magnificacin. -Incrementar la distancia de trabajo W.

Valores de D, asumiendo que la distancia de trabajo se

mantiene a 10mm.

El rea sombreada es la densidad de electrones la cual no atraviesa por la apertura final. La apertura tiene un dimetro usual de 50-500 m. A mayor apertura, menor ngulo divergente 1. La apertura influye en:
-La minimizacin de los efectos provocados por aberraciones. -El control del ngulo de convergencia 2, que controla la profundidad de campo. -La determinacin de la cantidad de corriente final incidente.

Al aumentar W, la magnificacin est dada por: 2 = = 2 2 Aumentado la magnificacin, pero se pierde resolucin, al analizar el rea puntual 2 ha incrementado.

El ngulo convergente 2 disminuye, aumentando la profundidad de foco. Se incrementan las aberraciones por efecto de los lentes.

Tanto el primer como segundo condensador, determinan la corriente final del haz incidente. En el ejemplo, la lente dbil (izquierda) permite que ms electrones incidan sobre la muestra. Sin embargo, el pixel es grande a comparacin de la lente fuerte. Sin embargo, a mayor fuerza,, una mayor porcin del haz es detenido por la apertura.